JPH0363412B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0363412B2 JPH0363412B2 JP58196963A JP19696383A JPH0363412B2 JP H0363412 B2 JPH0363412 B2 JP H0363412B2 JP 58196963 A JP58196963 A JP 58196963A JP 19696383 A JP19696383 A JP 19696383A JP H0363412 B2 JPH0363412 B2 JP H0363412B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- membrane
- liquid
- gas
- ethylene
- film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
Description
本発明は気体の選択分離膜に関する。詳しくは
気体分離の際に液体の炭化水素を多孔質基体に形
成したビストリメチルシリルアセチレンのプラズ
マ重合膜の上に支持させてなるオレフイン化合物
の分離に適した気体分離膜に関する。 従来気体混合物の分離膜としては各種の高分子
膜が知られているが、この様な固体の膜の場合に
はこれらに対する気体の透過係数が比較的小さい
という欠点があつた。気体の透過係数を大きくす
る為には膜が液状であることが望ましくこの様な
膜の場合には気体の拡散係数が大きくなり、従つ
て透過係数を大きくすることが可能である。又膜
の選択性能は、膜への気体の溶解度の差、膜中で
の気体の拡散速度の差によつて与えられるが、あ
る気体と選択的に可逆的相互作用を有する物質を
液状の膜に溶解し、この物質との相互作用を利用
して膜へのある気体の溶解度を大きくして選択性
能を高めることが可能である。従来液状の膜を用
いて気体混合物を分離した例として金属塩の水溶
液を用いて炭酸ガス、一酸化炭素、オレフイン類
等の分離膜が知られている。（例えば特公昭45−
1176、特公昭53−31842）又有機化合物の液膜の
例として塩化第一鉄のホルムアミド溶液を用いた
一酸化窒素の分離膜が知られている（AICh Ｅ
Journal Vol 16No.３ 405ページ、1970年）。こ
れらの液膜の支持体として均質膜や多孔膜が用い
られているが、均質膜の場合には、この支持体の
部分が透過の律速段階にならない為には気体の透
過係数が非常に大きい素材の膜を非常に薄い膜厚
で使用する必要がある。又液体の支持体として多
孔膜を使用する場合には透過速度が大きくこの部
分が透過の律速段階にはならないかわりに膜の１
次側（流入側）と２次側（流出側）の圧力差が大
きい場合には、液膜が液適として漏出する可能性
がある。従つて膜の２次側に他の気体や液体を流
して１次側の圧力と均衡を保つて使用される。以
上の様に液膜はその支持体をどの様にするかが重
要な問題であるが、特に液体が有機化合物の場合
には支持体の膜が有機化合物に溶解したり、溶解
しなくても膨潤したり何らかの変化を生じ、良い
方法がない。しかるに気体と選択的に可逆的相互
作用を有する物質の中には各種の錯体など水に溶
けないが有機溶媒に可溶の物質が多く存在し、液
状の有機化合物を液膜として使用しうる良い方法
が望まれる。 本発明は、この様な液体の炭化水素を構成成分
とする、膜両面の圧力差の存在下にも使用しうる
気体分離膜を供するものである。詳しくは多孔質
の基体上にプラズマ重合法により多くの架橋構造
を有する薄膜層を形成し、その上に液状の炭化水
素を保持した気体分離膜に関する。 多くの架橋構造を有する膜は有機溶媒等の有機
化合物に浸かされず好適であること、しかも可能
な限り薄い膜厚の膜が望まれることからグロー放
電によるプラズマ重合がこの様な膜の形成方法と
して適していることに思い至り本発明に到達し
た。 次に本発明を詳細に説明する。 本発明は多孔質基体に形成したビストリメチル
シリルアセチレンのプラズマ重合膜の上に液体の
炭化水素を支持してなるオレフイン化合物用気体
分離膜である。 本発明に使用し得る炭化水素としては特に限定
しないが沸点が高く非揮発性の化合物が、蒸発し
て失われる量が少なく好ましい。他方、高沸点で
固体に近い高粘稠の炭化水素の場合には、その中
を透過する気体の拡散速度が低下し、それに伴
い、気体の透過速度を低下するので有機溶媒の揮
発性と気体の透過速度を考慮し最適の化合物が選
ばれる。この様な炭化水素の例としてヘキサン、
ヘプタン、オクタン、イソオクタン、ノナン、デ
カン、ドデカン、トリデカン、テトラデカン、ペ
ンタデカン、ヘキサデカンなどの脂肪族飽和炭化
水素、トルエン、キシレン、パラシメン、インデ
ン、スチレン、αメチルスチレン、メシチレン、
ｐ−ジエチルベンゼン、プレニテン、イソジユレ
ン、ｎ−ブチルベンゼン、ジフエニルメタン、ジ
フエニルエチレンなどの芳香族化合物、インデ
ン、メチルナフタリンなどの縮合多環炭化水素、
流動バラフイン、α−オレフイン、α−オレフイ
ンオリゴマー、液状ポリプロピレン、低分子量ポ
リブテン、ポリイソブチレン、液状ポリブタジエ
ン、液状ポリブタジエンの水添物、液状のポリブ
タジエン共重合体、液状のポリブタジエン共重合
体の水添物、液状ポリペンタジエン、液状ポリス
チレン、液状のポリスチレン共重合体、液状ポリ
ペンタジエン、などが例示される。 本発明の使用条件に於て液状の炭化水素を支持
する為に多孔質基体に形成したビストリメチルシ
リルアセチレンのプラズマ重合膜を使用するが、
プラズマ重合膜を形成する方法は物質をプラズマ
状態に励起し化学反応を進行させる方法であり、
特に低温プラズマ法が好ましく、中でも主として
ブロー放電を利用する薄膜製造技術が利用出来
る。 多孔質膜基体表面に形成するプラズマ重合膜の
厚みは0.001〜100μ、好ましくは0.01〜10μさらに
好ましくは0.1〜1μの範囲である。 その表面にプラズマ重合膜を形成して使用する
多孔質基体は100μ以下の孔性の孔を有する各種
の材料のものが使用出来る。これらの多孔質基体
のプラズマ重合膜を形成する表面は、孔があると
しても0.1μ以下の孔径を有する孔であることが望
ましく、プラズマ重合膜を形成する表面の孔径が
大きい場合には、この孔を覆う為に厚いプラズマ
重合層を形成することが必要である。プラズマ重
合層が厚いと気体透過のバリヤーとなる不都合で
ある。多孔質基体表面に形成するプラズマ重合層
厚みは、加圧下に於ても液体の有機化合物を保持
しうる限りに於て充分薄いことが好ましく、この
様な薄い膜厚を形成する為の多孔質基体の孔径は
充分小さいことが要求される。気体の透過速度が
大きければ孔がない方が好ましく、従つて本発明
でいう多孔質基体には表面に緻密層を有する非対
称膜が含まれる。 多孔質基体を構成する材料の種類は、特に限定
しないが、再生セルロース、セルロースエステ
ル、ポリカーボネート、ポリエステル、テフロ
ン、ナイロン、アセチルセルロース、ポリアクリ
ロニトリル、ポリビニルアルコール、ポリメチル
メタアクリレート、ポリスルホン、ポリエチレ
ン、ポリプロピレン、ポリビニルピリジン、ポリ
フエニレンオキサイド、ポリフエニレンオキサイ
ドスルホン酸、ポリベンズイミダゾール、ポリイ
ミダゾピロロン、ポリピペラジンアミド、ポリス
チレン、ポリアミノ酸、ポリウレタン、ポリアミ
ノ酸ポリウレタン共重合体、ポリシロキサン、ポ
リシロキサンポリカーボネート共重合体、ポリビ
ニルトリメチルシラン、コラーゲン、ポリイオン
コンブレツクス、ポリウレアポリアミド、ポリイ
ミド、ポリアミドイミド、スルホン化ポリフルフ
リルアルコール、ポリ塩化ビニルなどの有機高分
子、ガラス、アルミナ、シリカ、シリカアルミ
ナ、カーボン、金属などの無機物質があげられ
る。 これら多孔質基体の形状は平板状、管状、スパ
イラル状、中空糸状のいずれかの形態に於ても使
用することが出来る。多孔質基体の厚さは特に限
定しないが100μ〜1000μの範囲が好ましい。又こ
れらの多孔質基体は別の支持体に更に支持させて
使用することも出来る。 本発明の気体分離膜は、液体の炭化水素を多孔
質基体のプラズマ重合層を形成した面の上に支持
することにより本発明の気体分離膜は形成され
る。 エチレン、プロピレン等は石油化学の原料とし
て多くの製品の製造に用いられるが、廃ガス中に
含まれる未反応の原料を回収利用する為に本発明
の気体分離膜は有用である。 以下本発明の内容を実施例で示すが、これらの
実施例は単に例示目的で示されるものであり、そ
こに示されている特定物質、方法等に本発明を限
定するものと解してはならない。 実施例１及び比較例１ 多孔質膜であるミリポアフイルターVSWP（商
標、日本ミリポアリミテツド社製。平均孔径
0.025μ）をベルジヤー型プラズマ重合反応器内の
基板上に設置し、反応器内を真空にひき、ビスト
リメチルシリルアセチレンを反応器内にフイード
しながら放電し、RF電力50W、圧力0.2ｍbarで
40分間反応し、ビストリメチルシリルアセチレン
の重合した薄膜をミリポアフイルター上に形成し
た複合膜を製膜した。この膜を膜装着用セル（有
効膜面積12.6cm2）に装着し、トルエン８mlを膜の
上にのせた。一方ヘリウム単独ガス又は、エチレ
ン単独ガスをそれぞれ蓄圧器に調整し、上記のト
ルエン液膜上（１次側）に1.2Kg／cm2（常圧より
若干加圧）で流し膜の２次側を真空にして、一定
時間に透過するヘリウム又はエチレンの透過速度
を測定した。測定結果を表−１に示す。
気体分離の際に液体の炭化水素を多孔質基体に形
成したビストリメチルシリルアセチレンのプラズ
マ重合膜の上に支持させてなるオレフイン化合物
の分離に適した気体分離膜に関する。 従来気体混合物の分離膜としては各種の高分子
膜が知られているが、この様な固体の膜の場合に
はこれらに対する気体の透過係数が比較的小さい
という欠点があつた。気体の透過係数を大きくす
る為には膜が液状であることが望ましくこの様な
膜の場合には気体の拡散係数が大きくなり、従つ
て透過係数を大きくすることが可能である。又膜
の選択性能は、膜への気体の溶解度の差、膜中で
の気体の拡散速度の差によつて与えられるが、あ
る気体と選択的に可逆的相互作用を有する物質を
液状の膜に溶解し、この物質との相互作用を利用
して膜へのある気体の溶解度を大きくして選択性
能を高めることが可能である。従来液状の膜を用
いて気体混合物を分離した例として金属塩の水溶
液を用いて炭酸ガス、一酸化炭素、オレフイン類
等の分離膜が知られている。（例えば特公昭45−
1176、特公昭53−31842）又有機化合物の液膜の
例として塩化第一鉄のホルムアミド溶液を用いた
一酸化窒素の分離膜が知られている（AICh Ｅ
Journal Vol 16No.３ 405ページ、1970年）。こ
れらの液膜の支持体として均質膜や多孔膜が用い
られているが、均質膜の場合には、この支持体の
部分が透過の律速段階にならない為には気体の透
過係数が非常に大きい素材の膜を非常に薄い膜厚
で使用する必要がある。又液体の支持体として多
孔膜を使用する場合には透過速度が大きくこの部
分が透過の律速段階にはならないかわりに膜の１
次側（流入側）と２次側（流出側）の圧力差が大
きい場合には、液膜が液適として漏出する可能性
がある。従つて膜の２次側に他の気体や液体を流
して１次側の圧力と均衡を保つて使用される。以
上の様に液膜はその支持体をどの様にするかが重
要な問題であるが、特に液体が有機化合物の場合
には支持体の膜が有機化合物に溶解したり、溶解
しなくても膨潤したり何らかの変化を生じ、良い
方法がない。しかるに気体と選択的に可逆的相互
作用を有する物質の中には各種の錯体など水に溶
けないが有機溶媒に可溶の物質が多く存在し、液
状の有機化合物を液膜として使用しうる良い方法
が望まれる。 本発明は、この様な液体の炭化水素を構成成分
とする、膜両面の圧力差の存在下にも使用しうる
気体分離膜を供するものである。詳しくは多孔質
の基体上にプラズマ重合法により多くの架橋構造
を有する薄膜層を形成し、その上に液状の炭化水
素を保持した気体分離膜に関する。 多くの架橋構造を有する膜は有機溶媒等の有機
化合物に浸かされず好適であること、しかも可能
な限り薄い膜厚の膜が望まれることからグロー放
電によるプラズマ重合がこの様な膜の形成方法と
して適していることに思い至り本発明に到達し
た。 次に本発明を詳細に説明する。 本発明は多孔質基体に形成したビストリメチル
シリルアセチレンのプラズマ重合膜の上に液体の
炭化水素を支持してなるオレフイン化合物用気体
分離膜である。 本発明に使用し得る炭化水素としては特に限定
しないが沸点が高く非揮発性の化合物が、蒸発し
て失われる量が少なく好ましい。他方、高沸点で
固体に近い高粘稠の炭化水素の場合には、その中
を透過する気体の拡散速度が低下し、それに伴
い、気体の透過速度を低下するので有機溶媒の揮
発性と気体の透過速度を考慮し最適の化合物が選
ばれる。この様な炭化水素の例としてヘキサン、
ヘプタン、オクタン、イソオクタン、ノナン、デ
カン、ドデカン、トリデカン、テトラデカン、ペ
ンタデカン、ヘキサデカンなどの脂肪族飽和炭化
水素、トルエン、キシレン、パラシメン、インデ
ン、スチレン、αメチルスチレン、メシチレン、
ｐ−ジエチルベンゼン、プレニテン、イソジユレ
ン、ｎ−ブチルベンゼン、ジフエニルメタン、ジ
フエニルエチレンなどの芳香族化合物、インデ
ン、メチルナフタリンなどの縮合多環炭化水素、
流動バラフイン、α−オレフイン、α−オレフイ
ンオリゴマー、液状ポリプロピレン、低分子量ポ
リブテン、ポリイソブチレン、液状ポリブタジエ
ン、液状ポリブタジエンの水添物、液状のポリブ
タジエン共重合体、液状のポリブタジエン共重合
体の水添物、液状ポリペンタジエン、液状ポリス
チレン、液状のポリスチレン共重合体、液状ポリ
ペンタジエン、などが例示される。 本発明の使用条件に於て液状の炭化水素を支持
する為に多孔質基体に形成したビストリメチルシ
リルアセチレンのプラズマ重合膜を使用するが、
プラズマ重合膜を形成する方法は物質をプラズマ
状態に励起し化学反応を進行させる方法であり、
特に低温プラズマ法が好ましく、中でも主として
ブロー放電を利用する薄膜製造技術が利用出来
る。 多孔質膜基体表面に形成するプラズマ重合膜の
厚みは0.001〜100μ、好ましくは0.01〜10μさらに
好ましくは0.1〜1μの範囲である。 その表面にプラズマ重合膜を形成して使用する
多孔質基体は100μ以下の孔性の孔を有する各種
の材料のものが使用出来る。これらの多孔質基体
のプラズマ重合膜を形成する表面は、孔があると
しても0.1μ以下の孔径を有する孔であることが望
ましく、プラズマ重合膜を形成する表面の孔径が
大きい場合には、この孔を覆う為に厚いプラズマ
重合層を形成することが必要である。プラズマ重
合層が厚いと気体透過のバリヤーとなる不都合で
ある。多孔質基体表面に形成するプラズマ重合層
厚みは、加圧下に於ても液体の有機化合物を保持
しうる限りに於て充分薄いことが好ましく、この
様な薄い膜厚を形成する為の多孔質基体の孔径は
充分小さいことが要求される。気体の透過速度が
大きければ孔がない方が好ましく、従つて本発明
でいう多孔質基体には表面に緻密層を有する非対
称膜が含まれる。 多孔質基体を構成する材料の種類は、特に限定
しないが、再生セルロース、セルロースエステ
ル、ポリカーボネート、ポリエステル、テフロ
ン、ナイロン、アセチルセルロース、ポリアクリ
ロニトリル、ポリビニルアルコール、ポリメチル
メタアクリレート、ポリスルホン、ポリエチレ
ン、ポリプロピレン、ポリビニルピリジン、ポリ
フエニレンオキサイド、ポリフエニレンオキサイ
ドスルホン酸、ポリベンズイミダゾール、ポリイ
ミダゾピロロン、ポリピペラジンアミド、ポリス
チレン、ポリアミノ酸、ポリウレタン、ポリアミ
ノ酸ポリウレタン共重合体、ポリシロキサン、ポ
リシロキサンポリカーボネート共重合体、ポリビ
ニルトリメチルシラン、コラーゲン、ポリイオン
コンブレツクス、ポリウレアポリアミド、ポリイ
ミド、ポリアミドイミド、スルホン化ポリフルフ
リルアルコール、ポリ塩化ビニルなどの有機高分
子、ガラス、アルミナ、シリカ、シリカアルミ
ナ、カーボン、金属などの無機物質があげられ
る。 これら多孔質基体の形状は平板状、管状、スパ
イラル状、中空糸状のいずれかの形態に於ても使
用することが出来る。多孔質基体の厚さは特に限
定しないが100μ〜1000μの範囲が好ましい。又こ
れらの多孔質基体は別の支持体に更に支持させて
使用することも出来る。 本発明の気体分離膜は、液体の炭化水素を多孔
質基体のプラズマ重合層を形成した面の上に支持
することにより本発明の気体分離膜は形成され
る。 エチレン、プロピレン等は石油化学の原料とし
て多くの製品の製造に用いられるが、廃ガス中に
含まれる未反応の原料を回収利用する為に本発明
の気体分離膜は有用である。 以下本発明の内容を実施例で示すが、これらの
実施例は単に例示目的で示されるものであり、そ
こに示されている特定物質、方法等に本発明を限
定するものと解してはならない。 実施例１及び比較例１ 多孔質膜であるミリポアフイルターVSWP（商
標、日本ミリポアリミテツド社製。平均孔径
0.025μ）をベルジヤー型プラズマ重合反応器内の
基板上に設置し、反応器内を真空にひき、ビスト
リメチルシリルアセチレンを反応器内にフイード
しながら放電し、RF電力50W、圧力0.2ｍbarで
40分間反応し、ビストリメチルシリルアセチレン
の重合した薄膜をミリポアフイルター上に形成し
た複合膜を製膜した。この膜を膜装着用セル（有
効膜面積12.6cm2）に装着し、トルエン８mlを膜の
上にのせた。一方ヘリウム単独ガス又は、エチレ
ン単独ガスをそれぞれ蓄圧器に調整し、上記のト
ルエン液膜上（１次側）に1.2Kg／cm2（常圧より
若干加圧）で流し膜の２次側を真空にして、一定
時間に透過するヘリウム又はエチレンの透過速度
を測定した。測定結果を表−１に示す。
【表】
ヘリウムとエチレンのトルエンの溶解度の差に
よつてエチレンが高い選択性で透過した。又膜の
二次側（流出側）を真空にして膜を介して１Kg／
cm2以上の圧力差をつけてもトルエンの液滴が膜を
通過して漏出することはなかつた。 実施例 ２ 供給ガスとしてヘリウム又はエチレン単独ガス
のかわりにヘリウム36％、エチレン64％を含む混
合ガスを蓄圧器に調整し、トルエン液膜上（１次
側）に流す以外は実施例１と同様に実施した。結
果を表−２に示す。
よつてエチレンが高い選択性で透過した。又膜の
二次側（流出側）を真空にして膜を介して１Kg／
cm2以上の圧力差をつけてもトルエンの液滴が膜を
通過して漏出することはなかつた。 実施例 ２ 供給ガスとしてヘリウム又はエチレン単独ガス
のかわりにヘリウム36％、エチレン64％を含む混
合ガスを蓄圧器に調整し、トルエン液膜上（１次
側）に流す以外は実施例１と同様に実施した。結
果を表−２に示す。
【表】
エチレンが高い選択性で透過し、トルエンの液
滴が膜を通過して膜の２次側へ漏出することはな
い。 実施例 ３ 液膜としてトルエンのかわりにα−メチルナフ
タレンを使用し供給ガスとしてヘリウム67.3％、
エチレン32.7％を含む混合ガスを蓄圧器に調整し
α−メチルナフタレン液膜上（１次側）に流す以
外は実施例１と同様に実施した。結果を表−３に
示す。
滴が膜を通過して膜の２次側へ漏出することはな
い。 実施例 ３ 液膜としてトルエンのかわりにα−メチルナフ
タレンを使用し供給ガスとしてヘリウム67.3％、
エチレン32.7％を含む混合ガスを蓄圧器に調整し
α−メチルナフタレン液膜上（１次側）に流す以
外は実施例１と同様に実施した。結果を表−３に
示す。
【表】
エチレンが高い選択性で透過し、α−メチルナ
フタレンの液滴が膜を通電して膜の２次側へ漏出
することはなかつた。 実施例 ４ 液膜としてトルエンのかわりに流動パラフイン
を使用し、供給ガスとしてヘリウム61.2％、エチ
レン38.8％を含む混合ガスを蓄圧器に調整し、流
動パラフイン液膜上（１次側）に流す以外は実施
例１と同様に実施した。結果を表−４に示す。
フタレンの液滴が膜を通電して膜の２次側へ漏出
することはなかつた。 実施例 ４ 液膜としてトルエンのかわりに流動パラフイン
を使用し、供給ガスとしてヘリウム61.2％、エチ
レン38.8％を含む混合ガスを蓄圧器に調整し、流
動パラフイン液膜上（１次側）に流す以外は実施
例１と同様に実施した。結果を表−４に示す。
【表】
エチレンが高い選択性で透過した流動パラフイ
ンの液滴が膜を通過して２次側へ漏出することは
なかつた。 比較例 ２ 多孔質膜であるミリポアフイルタVSWP（商
標、日本ミリポアリミテツド社製、平均孔径
0.025μ）を膜装着用セル（有効膜面積12.6cm2）に
装着する以外は実施例１と同様に実施したが、ト
ルエンが膜の２次側に流出したヘリウムとエチレ
ンの透過速度の測定はできなかつた。
ンの液滴が膜を通過して２次側へ漏出することは
なかつた。 比較例 ２ 多孔質膜であるミリポアフイルタVSWP（商
標、日本ミリポアリミテツド社製、平均孔径
0.025μ）を膜装着用セル（有効膜面積12.6cm2）に
装着する以外は実施例１と同様に実施したが、ト
ルエンが膜の２次側に流出したヘリウムとエチレ
ンの透過速度の測定はできなかつた。
Claims (1)
- １ 多孔質基体に形成したビストリメチルシリル
アセチレンのプラズマ重合膜の上に液体の炭化水
素を支持してなるオレフイン化合物用気体分離
膜。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19696383A JPS6090004A (ja) | 1983-10-22 | 1983-10-22 | 気体分離膜 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19696383A JPS6090004A (ja) | 1983-10-22 | 1983-10-22 | 気体分離膜 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6090004A JPS6090004A (ja) | 1985-05-21 |
| JPH0363412B2 true JPH0363412B2 (ja) | 1991-10-01 |
Family
ID=16366553
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19696383A Granted JPS6090004A (ja) | 1983-10-22 | 1983-10-22 | 気体分離膜 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6090004A (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60137416A (ja) * | 1983-12-23 | 1985-07-22 | Agency Of Ind Science & Technol | 気体選択透過膜 |
| JPS6118420A (ja) * | 1984-07-05 | 1986-01-27 | Agency Of Ind Science & Technol | 気体選択透過膜 |
| EP0183256B1 (en) * | 1984-11-29 | 1992-09-23 | Asahi Kasei Kogyo Kabushiki Kaisha | Method of producing a hollow fiber semipermeable membrane element and a hollow fiber semipermeable membrane element |
| JP2521883B2 (ja) * | 1993-08-24 | 1996-08-07 | 工業技術院長 | プラズマ処理炭酸ガス分離膜の製法 |
| FR3003564B1 (fr) * | 2013-03-19 | 2015-03-06 | Arkema France | Procede de metathese comprenant l'extraction de l'ethylene forme au moyen d'une membrane |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5417381A (en) * | 1977-06-20 | 1979-02-08 | Bend Res Inc | Method of separating ion from aqueous solution through separation membrane and its separation membrane |
| JPS5624018A (en) * | 1979-06-25 | 1981-03-07 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | Gas separating member and production thereof |
| JPS57150423A (en) * | 1981-03-13 | 1982-09-17 | Mitsubishi Chem Ind Ltd | Gas separating film |
-
1983
- 1983-10-22 JP JP19696383A patent/JPS6090004A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6090004A (ja) | 1985-05-21 |
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