JPH0363513A

JPH0363513A - 測定機

Info

Publication number: JPH0363513A
Application number: JP20080989A
Authority: JP
Inventors: Atsushi Tsuruta; 篤鶴田
Original assignee: Mitutoyo Corp; Mitsutoyo Kiko Co Ltd
Current assignee: Mitutoyo Corp; Mitsutoyo Kiko Co Ltd
Priority date: 1989-08-01
Filing date: 1989-08-01
Publication date: 1991-03-19
Anticipated expiration: 2012-01-16
Also published as: JP2572853B2

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕本発明は、真直度測定機、三次元測定機、表面形状測定
機等の測定機に係り、−層詳細には、コラムに摺動自在
に支持されたスライダを真直に案内する真直案内機構の
改良に関する。

〔背景技術〕

被測定物の真円度及び真直度並びに平行度等を測定する
装置として種々の表面形状測定機が広範に利用されてい
る。この種の表面形状測定機の中には、例えば、被測定
物を載置する基台と、この基台の一端に立設される支柱
（コラム）と、この支柱を囲繞し、かつ、上下方向に摺
動自在となるスライダと、このスライダに取着され、被
測定物に対して進退自在となる検出器とを含むものがあ
る。

このような表面形状測定機で、例えば、真直度、すなわ
ち、被測定物の直線部分の表面形状がどのくらい真直線
に近似しているかを表す度合を測定する場合には、先ず
、てこ式ダイヤルゲージ（テストインジケータ）等から
なる検出器の測定子を被測定物の直線部分に当接させる
。この当接状態のまま、支柱に取着されたスライダを直
線部分に沿った方向、例えば、上下方向に変位させると
、前記検出器もこれに伴って変位する。この時、検出器
の測定子は、被測定物の直線部分に当接したまま変位す
るので、直線部分の凹凸に倣って揺動することとなり、
この揺動の度合を検出することで、被測定物の真直度を
測定している。

ところで、前記スライダを上下方向に変位させる手段と
して、−船釣には、ボールねじ軸を利用することが多く
、前記スライダは、このボールねじ軸に螺合される。従
って、前記ボールねじ軸を回転させることにより、スラ
イダが上下方向に変位するよう構成される。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、前記ボールねじ軸は、僅かではあるが、
偏心や曲がりを有している。このため、ボールねじ軸を
回転させると、ボールねじ軸に螺合されたスライダは、
その半径外方向に偏心運動や振動をし、所謂、振れ回り
現象が惹起されることになる。このため、前記ボールね
じ軸に螺合されたスライダと一体的に支持される検出器
も、その分、偏心運動することになるので、被測定物の
真直度を精密に測定することは、困難となる欠点が露呈
する。

そこで、ボールねじ軸に螺合される部分をボールナツト
としてスライダとは独立させ、このボールナンドとスラ
イダとの間にボールねじ軸と平行にワイヤを張設するこ
とによって、この振れ回りをワイヤで吸収し、これによ
り、高精度に真直度を測定する装置が提案されている。

しかしながら、この場合、ワイヤの線径は径大になると
ワイヤ自体の変位量が少なくなり、振れ回りを効果的に
吸収しなくなる。このため、ワイヤの線径を径小にして
振れ回りを吸収している。

従って、このような機構を採用した表面形状測定機では
、スライダの重量が比較的軽量なものにしか使用できず
、スライダが重量化する表面形状測定機にこのｉ構を採
用すると、ワイヤの強度不足が懸念されることとなる。

また、送りねじ軸を一対のワイヤで両側から挾持すると
ともに、これらのワイヤの先端をばねで引っ張って両ワ
イヤの送りねじ軸のねじ溝に係合させることによって偏
心運動を吸収するもの（実開昭５８−３２４１１号公報
）や、ワイヤの代わりに一対のローラを揺動可能なアー
ムに支持させ、これらのアームをシリンダで引っ張って
各ローラを送りねじ軸のねじ溝に係合させたもの（実開
昭５８−３２４１２号公報）、更には、送りねじ軸の代
わりにねじのない駆動軸を用い、この駆動軸に送り方向
に傾斜したローラを係合させたもの（実開昭６２−１８
６０１１号公報、実開昭６２−１８９６０８号公報）等
がある。

しかし、これらは水平方向の送りには問題はないが、上
下方向の送りにはワイヤあるいはローラでは前記従来例
と同様に強度不足となる虞れがある。

本発明の目的は、ボールねじ軸の曲がり等に基づく振れ
回り（偏心運動）の影響をスライダに与えることがなく
、しかも、大重量のスライダにも適用可能な偏心運動吸
収手段を備えた測定機を提供するにある。

〔課題を解決するための手段］本発明は、ボールねじ軸に螺合されたボールナンドと、
コラムに摺動自在に支持されたスライダとの間に偏心運
動吸収手段を介装し、この偏心運動吸収手段を、ボール
ねじ軸を囲繞するとともにスライダ側あるいはボールナ
ンド側に一端を固定される第１、第２のジヨイントピー
スと、これらの第１、第２のジヨイントピースの他端間
に介装され、第１、第２のジヨイントピースを、ボール
ねじ軸の互いに直交する半径方向に摺動自在、かつ、軸
方向に変位不能に支持する変位部材とを備えて構成した
ことを特徴とする測定機である。

また、本発明に係る測定機において、前記各ジヨイント
ピースには、それぞれ互いに直交する方向にビンを突設
するとともに、これらのジヨイントピースのビンを、当
該ビンの軸方向に摺動自在、かつ、軸直交方向に移動不
能に案内する直交方向の溝部が画成された変位板と、こ
の変位板に被せられる蓋体とによりｆｉｌ戒される変位
部材によって支持させてもよい。

〔作用］このような本発明において、ボールねじ軸を回転させる
ことにより生じるボールねじ軸の振れ回りを、例えば、
一対のジヨイントピースの複数のビンと変位部材とを相
対変位させることで吸収する偏心運動吸収手段を用意す
ることで、重量化したスライダにも採用可能となる。ま
た、前記振れ回りは、第１、第２の一対のジヨイントピ
ースを、互いに直交する半径方向に摺動自在、かつ、ボ
ールねじ軸の軸方向に変位不能に連結する変位部材によ
り吸収し、スライダに伝えることはない。従って、前記
スライダを略直線的に変位させることができ、スライダ
に取着される検出器も略直線的に変位させることが可能
となって、被測定物の真直度等を高精度に測定可能とな
る。

〔実施例〕

次に、本発明に係る測定機を、真直度、真円度、平行度
等が測定可能な表面形状測定機に適用した好適な実施例
を挙げ、添付の図面を参照しながら、詳細に説明する。

第１図において、参照符号１０は、本実施例に係る表面
形状測定機を示し、この表面形状測定機１０は、床上に
配置される支持台１１上に載置される。

前記表面形状測定機１０は、各種測定を行う測定手段２
０と、この測定手段２０の測定結果としてペーパーへの
表示あるいは電気的表示等を行う出力手段５０とで構成
されている。

前記測定手段２０は、基台２１を含み、この基台２１上
には、円柱状の被測定物Ｗを載置する回転テーブル２２
が図示しないエアベアリングを介して矢印へ方向に回動
自在に設けられている。この回転テーブル２２は、前記
被測定物Ｗを回転テーブル２２の中心部に支持するため
に、図示しない求心装置を有している。また、回転テー
ブル２２の近傍には、前記回転テーブル２２の回転角度
、回転速度等を表示するカウンタ部２３が立設されてい
る。

前記基台２１には、回転テーブル２２の側方において支
持板２４が固設されており、この支持板２４の一端、奥
側に略逆り字状のコラム２５が立設されている。このコ
ラム２５の上面部２５Ａには、矢印Ａ方向に回動自在な
モータ２６が取着され、このモータ２６の出力軸（図示
せず）には、前記コラム２５と支持Ｆｉ、２４との間に
回転自在に支持され、かつ、コラム２５と略平行に配置
されたボールねじ軸２７が連結されている。

前記コラム２５には、コラム２５を囲繞する方形枠状の
スライダ２Ｂが矢印２方向、すなわち、上下方向に摺動
自在に装着されている。このスライダ２８と、前記ボー
ルねじ軸２７に螺合されたボールナンド２９との間には
、後に詳述する偏心運動吸収手段６０が介装されている
。

前記スライダ２８の前面には、Ｘ軸駆動装置３１が取着
され、このＸ軸駆動装置３１には、矢印Ｘ方向、すなわ
ち、水平方向の一方向に変位自在な支持軸３２が設けら
れている。この支持軸３２は、前記Ｘ方向に延長される
とともにＸｌｌ１！Ｉ駆動装置３１により軸方向に駆動
されるアーム３３と、このアーム３３と直交方向に延長
された連結アーム３４と、この連結アーム３４の先端に
連結されるとともに前記アーム３３の延長方向（Ｘ方向
）に延長された先端アーム３５とから構成されている。

前記先端アーム３５には、てこ式ダイヤルゲージ（テス
トインジケータ）タイプの検出器４１が着脱自在に取付
けられ、この検出器４１には、矢印Ｂ方向に揺動可能な
測定子４２が設けられている。

前記支持板２４の他端、手前側には、複数のスイッチ類
が配設される操作部４５と、ジョイスティック４８とが
設けられ、このジョイスティック４８を矢印Ｘ方向に変
位させると、支持軸３２が矢印Ｘ方向へ、ジョイスティ
ック４８を矢印Ｙ方向に変位させると支持軸３２が矢印
Ｘ方向へ、それぞれ、移動するよう構成されている。

一方、前記出力手段５０は、複数のスイッチ類が配設さ
れる操作部５１と、前記検出器４１に設けられた測定子
４２の変位量を示す表示部５５と、被測定物Ｗの真円度
、真直度等がペーパーに記録される出力部５８とで構成
される。

ここで、スライダ２８とボールナツト２９との間に設け
られる偏心運動吸収手段６０について、第２図ないし第
４図を参照して説明する。

前記偏心運動吸収手段６０は、前記スライダ２８に４本
のビス６１によって固定される略し字状の取付板６２を
含み、この取付板６２の底部６３にはボールねじ軸２７
より十分に大径な孔部６４が穿設されている。また、底
部６３には、外部からこの孔部６４へと貫通するように
２個のねじ孔６５Ａ、６５Ｂが設けられている。

前記取付板６２の底部６３上には、任意の方向に移動可
能な変位板６６が！！置されている。この変位板６６の
中央には、前記孔部６４と略同径の孔部６７が穿設され
、この孔部６７の外周から変位板６６の外側面まで十字
状に溝部６８Ａないし６８Ｄが凹設され、更に、前記変
位板６６の各角隅部には計４つのねじ孔６９が螺設され
ている。

前記孔部６４と孔部６７とには、前記ボールねじ軸２７
を挿通ずるに十分、すなわち、囲繞するに十分な孔部７
１Ａを有する円筒状の第１のジヨイントピース７１が遊
嵌され、更に、このジヨイントピース７１の前記孔部６
４への係合部である下端部は、前記底部６３のねじ孔６
５Ａ、６５Ｂにそれぞれ螺合された止めねじ７２Ａ、７
２Ｂによって取付板６２に固定される。また、第１のジ
ヨイントピース７１の上面には、突部７３Ａ、７３Ｂが
それぞれ一体に設けられ、これらの文部７３Ａ、７３Ｂ
から単形方向外方に向かって円柱ビン７４Ａ、７４Ｂが
同一直線上に突設されている。

これらの円柱ビン７４Ａ、７４Ｂは、前記変位板６６の
溝部６８Ａ、６８Ｂにそれぞれ係合されるようになって
いる。

一方、前記変位板６６の溝部６８Ｃ及び６８Ｄには、円
柱ビン７５Ａ、７５Ｂが係合されることになり、これら
の円柱ビン７５Ａ、７５Ｂは、前記第１ジゴイントピー
ス７１と同一形状で９０度向きを変えられ、かつ、孔部
７６Ａを有する第２のジぎインドピース７６の突部７７
Ａ、７７Ｂにそれぞれ設けられる。そして、前記各ビン
７４Ａ。

７４Ｂ及び７５Ａ、７５Ｂの抜は止め防止として、変位
板６６上には、前記第２のジヨイントピース７６のＡ径
より径大な孔部７Ｂが穿設される蓋体７９が被覆されて
いる。この蓋体７９は、その四隅に形成された孔８１に
挿入される４つのビス８２（第４図では１個のみ図示）
が変位Ｆｉ６６のねじ孔６９に螺合されることにより、
変位板６６に固定される。

この際、溝部６８Ａ〜６８Ｄの深さは、丁度円柱ビン７
４Ａ、７４Ｂ及び７５Ａ、７５Ｂの直径と等しくされ、
各円柱ビン７４Ａ、７４Ｂ及び７５Ａ、７５Ｂがガタな
く、かつ、ビン軸方向に移動可能に、変位板６６と蓋体
７つとで挾持されるようになっている。ここにおいて、
変位Ｆｊ、６６と蓋体７９とにより変位部材８０が構成
されている。

従って、第１、第２の一対のジタイントピース７１．７
６は、孔部７１Ａ、７６Ａによりボールねじ軸２７を囲
繞するとともに、変位板６６の溝部６８Ａ〜６８Ｄと蓋
体７９とにより挾持された円柱ピン７４Ａ、７４Ｂ及び
７５Ａ、７５Ｂの作用によって、互いに直交するボール
ねじ軸２７の半径方向摺動自在、かつ、ボールねじ軸２
７の軸方向変位不能に連結されている。なお、変位部材
８０によりそれぞれボールねじ軸２７の軸方向に変位不
能に連結された第１、第２のジヨイントピース７１．７
６は、両ジヨイントピース７１．７６及び変位部材８０
の全体、すなわち、偏心運動吸収手段６０としては、ボ
ールねじ軸２７の軸方向に移動可能であることは勿論で
ある。

前記蓋体７９上には、支持板８３がＲ置され、この支持
板８３には、前記孔部７８と略同径で、かつ、第２のジ
ヨイントピース７６の外径より多少大径の孔部８４と、
四隅部の４つのねじ孔８５とが設けられ、また、その側
面には外部から前記孔部８４に連通ずるねじ孔８６Ａ、
８６Ｂが螺設されている。これらのねじ孔８６Ａ、８６
Ｂにそれぞれ止めねじ８７Ａ、８７Ｂを螺合することで
、第２のジヨイントピース７６の上端が支持板８３に固
定される。

更に、この支持板８３上には取付台８８がｉ３！置され
、この取付台８８の四隅に設けられた孔８９を貫通して
４つのビス９１が支持板８３のねじ孔８５に螺合される
ことにより、取付台８８が支持板８３に固着されている
。この取付台８８の略中央には、前記ボールナット２９
の下端が固定され、このボールナツト２９の内周にはね
じ山２９Ａが螺設され、このねじ山２９Ａにボール２９
Ｂ（第３図参照）を介してボールねじ軸２７が螺合され
る。

本実施例に係る表面形状測定機１０は、基本的には以上
のように構成されるものであり、次にその作用について
説明する。

前記表面形状測定機ＩＯは、真直度及び真円度並びに平
行度等を測定することができるが、ここでは、真直度を
測定する場合につき説明する。

先ず、被測定物Ｗを回転テーブル２２上に載置し、次い
で、ジョイスティック４８を矢印Ｘ、Ｙ方向に変位させ
て、検出器４１の測定子４２を被測定物Ｗの上側面に当
接（図中二点鎖線で図示）させた後、ジョイスティック
４８を中立の位置（図中の位置）に戻す。

次に、ジョイステインク４８を矢印Ｙ、方向に変位させ
ると、モータ２６の回転作用下にボールねじ軸２７が矢
印Ａ、前方向回転するので、ボールねじ軸２７に螺合さ
れたボールナット２９が矢印Ｚ１方向に下降され、更に
偏心運動吸収手段６０を介してスライダ２日がＺ、方向
に下降変位する。従って、スライダ２８にＸ軸駆動装置
３１及び支持軸３２を介して支持された検出器４１の測
定子４２が被測定物Ｗの側面に当接しながら矢印Ｚ１方
向に下降変位する。このようにして、前記測定子４２が
被測定物Ｗの下側面に到達した時点で、ジゴイステイン
ク４日を中立の位置に戻すことにより、その変位が停止
する。

この時、前記測定子４２は、被測定物Ｗの外周面の凹凸
に沿って変位するため、この変位量が被測定物Ｗの当該
周面における真直度として検出され、出力手段５０に入
力されて表示部５５への表示及び出力部５８へのプリン
トアウトがなされる。

ところで、ボールねじ軸２７によるスライダ２８の矢印
Ｚ方向の駆動にあたり、ボールねじ軸２７が彎曲してい
たり、あるいはモータ２６の回転軸（図示せず）に対し
て偏心していたりする場合には、その回転時に半径外方
向に発生する偏心運動、すなわち、振れ回りが矢印Ｘ、
Ｙ及びその合成方向に発生することになる。

この場合、矢印χ方向にボールねじ軸２７が変位すると
、これに螺合するボールナット２９も変位し、更に支持
板８３に固定される第２のジヨイントピース７６も矢印
Ｘ方向に変位することになる。しかし、この変位は、円
柱ビン７５Ａ、７５Ｂが変位板６６の溝部６８Ｃ，６８
Ｄを摺動することにより吸収される（第２図中二点鎖線
参照）。

また、ボールねじ軸２７が矢印Ｙ方向に変位すると、前
記と同様にボールナット２９及び第２のジヨイントピー
ス７６も矢印Ｙ方向に変位することになるが、この変位
は円柱ピン７５Ａ、７５Ｂが変位板６６を矢印Ｙ方向に
変位させる（図中二点鎖線参照）ことによって吸収され
る。換言すると、溝部６８Ａ、６８Ｂが取付板６２に固
定される第１のジづインドピース７１の円柱ビン７４Ａ
。

７４Ｂを矢印Ｙ方向に摺動させることにより吸収される
。

更に、矢印Ｘ、Ｙの合成方向に発生する振れ回りは、第
２のジヨイントピース７６と変位板６６及び蓋体７９と
のχ及びＹ方向への各成分に応じた相対変位によって吸
収される。従って、矢印ＸからＹ方向までの任意の方向
に発生する振れ回りは、瞬時に吸収される。これにより
、ボールねじ軸２７の曲がりや偏心に拘わりなく、検出
器４１は略正確に直線的に変位し、検出器４１の測定子
４２により被測定物Ｗの真直度を精密に測定できる。

前述のような本実施例によれば、次のような効果がある
。

すなわち、偏心運動吸収手段６０として、特に第２のジ
ヨイントピース７６と、変位部材８０すなわち変位板６
６及び蓋体７９とを備えているので、被測定物Ｗの真直
度を測定する際、悪影響を及ぼすボールねじ軸２７の振
れ回りを前記第２のジヨイントピース７６と変位部材８
０との相対変位により吸収できる。従って、前記振れ回
りは、偏心運動吸収手段６０でそのほとんどが吸収され
るので、ボールねじ軸２７の直線運動のみが検出器４１
に確実に伝達され、これにより、この検出器４１の測定
子４２は略直線的に変位可能となる。

ちなみに、前記検出器４１を矢印Ｚ方向へ２００−変位
させても測定誤差が０．２　μｍという高精度真直度測
定が可能となる効果を奏する。

また、偏心運動吸収手段６０は、変位板６６が平板に溝
加工したもの、第１、第２のジヨイントピース７１．７
６が円筒体にピンを突設したもの等から構成され、更に
、他の構成部品も平板等の簡単な構造の部材から形成さ
れるから、安価に提供できる。

以上、本発明について好適な実施例を挙げて説明したが
、本発明はこの実施例に限定されるものではなく、本発
明の要旨を逸脱しない範囲において種々の改良並びに設
計の変更が可能なことは勿論である。

例えば、変位板６６の一方の面に溝部６８Ａ〜６８Ｄを
設けたが、この他に他方の面に溝部を設しよることがで
き、更には両面に分けて溝部を設けることもできる。

また、溝部６８Ａ〜６８Ｄは角形凹溝状にしたが、この
他に、丸溝、三角溝等でもよく、その形状は問わない。

更に、第１、第２のジヨイントピース７１．フ６にそれ
ぞれ２本づつ円柱ビン７４Ａ、７４Ｂ。

７５Ａ、１５Ｂを設けたが、これらの円柱ビン７４Ａ、
７４Ｂ、７５Ａ、７５Ｂは１本若しくは互いに平行方向
に突出された３本以上でも良く、その本数は問わない。

また、この円柱ビン７４Ａ。

７４Ｂ、７５Ａ、７５Ｂの形状を角柱状にすることもで
きる。更に、ビン７４Ａ、７４Ｂ、７５Ａ。

７５Ｂの周面輪方向に沿って凹溝をそれぞれ設け、これ
らの凹溝に係合する凸条を変位板６６に設けて凹溝と凸
条をその軸方向に摺動自在に組み合わせたものでもよい
。

また、円柱ビン７４Ａ、７４Ｂ及び７５Ａ、７５Ｂは、
必ずしも第１、第２のジヨイントピース７１７６に設け
るものに限らず、第５図に示されるように、変位部材８
０側に設けてもよい。すなわち、第５図においては、変
位部材８０は１枚の円板状部材９５から構成され、この
円板状部材９５には、その上下面各２個の突部９５Ａ、
９５Ｂ及び９５Ｃ，９５Ｄが突設され、これらの各２個
の突部９５Ａ、９５Ｂと９５Ｃ，９５Ｄとは互いに９０
度ずらして設けられている。これらの突部９５Ａ、９５
Ｂ及び９５Ｃ，９５Ｄにはそれぞれ円柱ビン７４Ａ、７
４Ｂ及び７５Ａ、７５Ｂが内方に向かって突設され、こ
れらの円柱ビン７４Ａ、７４Ｂ及び７５Ａ、７５Ｂは前
記実施例より肉厚の円筒状に形成された第１、第２のジ
ヨイントビースフ１．フ６にそれぞれ形成され′た各２
個の孔部９６Ａ、９６Ｂ及び９６Ｇ、９６Ｄに、ボ−ル
ねじ軸２７の半径方向に摺動自在、かつ、軸方向に変位
不能に支持されている。この際、第１、第２のジヨイン
トピース７１．７６の相対向する内端面は、丁度円板状
部材９５の上下の端面に当接されている。また、第１、
第２のジヨイントピース７１．７６の外端は、前記実施
例と同様に、スライダ側である取付板（図示せず）及び
ボールナツト側である支持Ｆｉ（図示せず）に固定され
ている。

以上要するに、本発明に係る偏心運動吸収手段は、スラ
イダ側に取付けられる第１のシラインドピースと、ボー
ルナフト側に取付けられる第２のシラインドピースとの
間に変位部材が介装され、この変位部材により第１、第
２のジヨイントピースが、ボールねじ軸の半径方向であ
って互いに直交する方向に摺動可能、かつ、ボールねじ
軸の軸方向に変位不能に支持されていればよく、第１、
第２のシラインドピース及び変位部材の形状、構造、構
成部品点数等は問わないものである。

また、偏心運動吸収手段６０を表面形状測定機１０の他
に、三次元測定機等、ボールねじ軸をその送り手段とす
る他の形式の測定機に使用できることは勿論である。

更に、検出器４１としては、被測定物Ｗに対して接触す
る接触式の測定子４２を有するものに限らず、レーザ光
等で非接触式に被測定物Ｗに関与させて真直度等を測定
する形式の測定機でもよい。

〔発明の効果〕

前述のような本発明によれば、スライダの送り手段とし
て用いるボールねじ軸に曲がり等があっても検出器に影
響を与えることがない測定機を提供できるという効果が
ある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例の全体構成を示す斜視図、第
２図はその要部である偏心運動吸収手段の斜視図、第３
図は第２図の断面図、第４図は第２図の分解斜視図、第
５図は本発明の他の実施例の要部を示す斜視図である。１０・・・表面形状測定機、２０・・・測定手段、２２
・・・回転テーブル、２５・・・コラム、２７・・・ボ
ールねじ軸、２日・・・スライダ、２９・・・ボールナ
ツト、４１・・・検出器、４２・・・測定子、５０・・
・出力手段、６０・・・偏心運動吸収手段、６２・・・
取付板、６６・・・変位板、７１・・・第１のシライン
ドピース、７１Ａ・・・孔部、７４Ａ、７４Ｂ、７５Ａ
、７５Ｂ・・・円柱ピン、７６・・・第２のジヨイント
ピース、７６Ａ・・・孔部、７９・・・蓋体、８０・・
・変位部材、９５・・・円板状部材。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）コラムにスライダを摺動自在に支持するとともに
、このスライダを介して前記コラムに間接的に支持され
る検出器を被測定物に関与させ、この被測定物と検出器
とを相対変位させて前記被測定物の寸法、形状等を測定
する測定機において、前記コラムと略平行にボールねじ
軸を設けるとともに、このボールねじ軸にボールナット
を螺合し、このボールナットと前記スライダとの間を偏
心運動吸収手段を介して連結し、この偏心運動吸収手段
は、ボールねじ軸を囲繞するとともに一端をスライダ側
に固定された第１のジョイントピースと、ボールねじ軸
を囲繞するとともに一端をボールナット側に固定された
第２のジョイントピースと、これらの第１、第２のジョ
イントピースの他端間に介装されるとともに第１のジョ
イントピースに対しボールねじ軸の半径方向の一方向に
摺動自在かつボールねじ軸の軸方向に変位不能に連結さ
れ、更に第２のジョイントピースに対し前記第１のジョ
イントピースに対する一方向と直交する方向に摺動自在
かつボールねじ軸の軸方向に変位不能に連結された変位
部材とを備えて構成されたことを特徴とする測定機。
（２）請求項第１項に記載の測定機において、前記第１
、第２のジョイントピースは、それぞれ互いに直交する
方向に突出されたピンを有し、これらのジョイントピー
スのピンは、当該ピンを各ピンの軸方向に摺動自在、か
つ、各軸直交方向にそれぞれ移動不能に案内する直交方
向の溝部が画成された変位板と、この変位板に被せられ
る蓋体とを有する変位部材により支持されたことを特徴
とする測定機。