JPH036461U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

図はいずれもこの考案の一実施例を示し、第１
，２図はそれぞれ制御装置のブロツク図、第３図
は成膜装置の概略図、第４，５図はそれぞれフロ
ーチヤートである。 １……真空チヤンバ、２……排気管、３……給
気管、５……真空弁、８……真空解除弁、１３…
…真空解除検出センサ、１４……真空弁５の閉位
置検出センサ、Ｌ_１……第１出力手段、Ｌ_２……
第２出力手段、ＳＷ_２……真空解除弁８の開閉ス
イツチ、ＳＷ_３……真空弁５の開閉スイツチ。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 真空チヤンバの排気管に真空弁を、また真
   空解除用の給気管に真空解除弁をそれぞれ設けた
   成膜装置の制御装置であつて、該制御装置には、
   前記真空チヤンバの真空解除検出センサを含み、
   さらには前記真空解除弁の開動作のスイツチ操作
   の際に、前記真空解除検出センサからの信号に応
   じて真空解除中と真空解除完了状態とを判別可能
   な異種の出力をする第１出力手段を含んでなる、
   前記成膜装置の制御装置。 (2) 前記制御装置には、前記真空弁の閉位置検
   出センサを含み、さらには該真空弁の閉動作のス
   イツチ操作の際に、前記閉位置検出センサからの
   信号に応じて前記真空弁の閉動作中と閉動作完了
   状態とを判別可能な異種の出力をする第２出力手
   段を含んでなる、請求項１記載の成膜装置の制御
   装置。