JPH0366541A - テーブル移動制御機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、電子部品等の製造工程において例えばマスク
と半導体基板とを位置合わせする高精度アライナのアラ
イメントステージを構成するテーブル移動制御機構に関
し、特に全体構造を薄形化及び小形化さらに簡略化する
ことができるテーブル移動制御機構に関する。

〔従来の技術〕

従来のこの種のテーブル移動制御機構は、第２図に示す
ように、ベース部材１の上面にボールネジ２を張設し、
このボールネジ２に螺合された取付はブロック３の上面
に平板状のテーブル４を取り付け、上記ベース部材１の
一側端部にはパルスモータ等の高精度駆動源５を設ける
と共に、この高精度駆動源５と上記ボールネジ２の一端
部とを連結して成っていた。そして、上記高精度駆動源
５を適宜駆動してボールネジ２を回転することにより、
該ボールネジ２上を取付はブロック３が移動し、テーブ
ル４をベース部材１に対して一直線上で往復移動させる
ようになっていた。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかし、このような構成の従来のテーブル移動制御機構
においては、高精度開動源５の回転軸と同−軸線上に設
けられたボールネジ２を上記高精度駆動源５で回転し、
上記ボールネジ２に螺合された取付はブロック３を介し
て該ボールネジ２の上方に設けられたテーブル４を矢印
Ａ、Ｈのように移動するようになっていたので、ボール
ネジ２とテーブル４とが二段構成となり、一つの移動制
御機構としての厚みｔが大きくなると共に構造も複雑化
するものであった。そして、この一つのテーブル移動制
御機構をそれぞれＸ方向移動用及びＹ方向移動用として
二段に重ねてアライメントステージを構成するが、その
全体構成として組み合わされたものの厚みも大きくなり
、大形化するものであった。また、一つのテーブル移動
制御機構を構成するのに、ベース部材１と、ボールネジ
２と、取付はブロック３と、テーブル４と、高精度駆動
源５とを順次組み合わせて行かないと全体を構成するこ
とができず、その組み立てが複雑で製造に時間がかかる
ものであった。

そこで、本発明は、このような問題点を解決し、全体構
造を薄形化及び小形化さらに簡略化することができるテ
ーブル移動制御機構を提供することを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成するために、本発明によるテーブル移動
制御機構は、ワークをセットするテーブルをベース部材
に対して一直線上で往復移動させるテーブル移動制御機
構において、上記ベース部材に対してテーブルを一方向
に移動しうるように付勢し、上記ベース部材には上記テ
ーブルの付勢方向の根元側にて該テーブルの外側端面を
上記付勢方向と反対側に高精度ネジを介して押圧する高
精度駆動源を連結し、この高精度駆動源による高精度ネ
ジの前進でテーブルの外側端面を押圧して移動させると
共に、その高精度ネジの後退で上記テーブルの付勢力に
より逆方向に戻して移動させるようにしたものである。

〔作　用〕

このように構成されたテーブル移動制御機構は、ベース
部材に対して一方向に移動しうるように付勢されたテー
ブルの外側端面を、上記ベース部材の一側端側に連結さ
れた高精度駆動源による高精度ネジの前進で上記付勢方
向と反対側に押圧して移動させると共に、その高精度ネ
ジの後退で上記テーブルの付勢力により逆方向に戻して
移動させるものである。これにより、テーブルの設けら
れた同一軸線上で直接そのテーブルの外側端面を高精度
ネジを介して高精度駆動源で押圧するだけで。

上記テーブルを移動制御することができると共に。

該テーブルと高精度駆動源とは同一軸線上に配置されて
いるので、その厚みを薄くして全体として小形化するこ
とができる。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を添付図面に基づいて詳細に説明
する。

第１図は本発明によるテーブル移動制御機構の実施例を
示す正面説明図である。このテーブル移動制御機構は、
電子部品等の製造工程において例えばマスクと半導体基
板とを位置合わせする高精度アライナのアライメントス
テージを構成するもので、第１図において、ベース部材
１は、この機構の基部材となると共に後述のテーブル４
を支持するもので、やや厚手の板状に形成されている。

上記ベース部材１の上面には、テーブル４が設けられて
いる。このテーブル４は、マスクや半導体基板などのワ
ークをその上面にセットするもので、適宜の寸法及び厚
さの板状に形成されると共に、上記ベース部材１に対し
て一直線上で往復移動可能に支持され、且つ上記ベース
部材１の例えば前側面の一側端部とテーブル４の例えば
前側面の中央部との間に引張りバネ６が張設されてベー
ス部材１に対してテーブル４が一方向、例えば矢印六方
向に移動しうるように付勢されている。従って、上記テ
ーブル４は、ベース部材１上で常に矢印Ａ方向に移動し
ようとしている。

上記ベース部材１の一側端側には、取付部材７を介して
高精度駆動ｇ５が連結されている。この高精度開動ｇ５
は、上記テーブル４の引張りバネ６による付勢方向の根
元側にて該テーブル４の外側端面をその付勢方向と反対
側、すなわち矢印Ｂ方向に高精度ネジ８を介して押圧す
るもので、例えばパルスモータまたはサーボモータ等か
ら成る。

その具体的な取付構造の一例は、第１図に示すように、
例えばＬ字形に伸びた取付部材７の下端部をベース部材
１の一側端部に固定し、逆り字形に伸びた取付部材７の
上端部にスライドガイド９を形成すると共にこのスライ
ドガイド９に、直角に折れ曲がった取付はブラケット１
０を矢印Ｃ，Ｄのようにスライド可能に結合して、この
取付はブラケット１０の垂直片部に高精度駆動源５が取
り付けられている。そして、上記取付部材７の垂直状の
中間部には、例えばマイクロメータヘッドから成る高精
度ネジ８がネジ込まれており、その基端部は上記高精度
駆動源５の回転軸とカップリング１工で連結され、その
先端部は上記テーブル４の外側端面に設けられた押圧部
材１２に当接している。なお、上記取付部材７と高精度
駆動源５の取付はブラケット１０との間には、引張りバ
ネ１３が張設されている。

次に、このように構成されたテーブル移動制御機構の動
作について説明する。まず、第１図においてテーブル４
を矢印Ｂ方向に移動させるには、高精度駆動ｇ５を駆動
してその回転軸を所定方向へ回転させるゆすると、カッ
プリング１１でつながれた高精度ネジ８は矢印Ｅ方向ま
たは一方向に回転させられ、取付部材７へのネジ込み部
を通過することにより、その先端部は矢印Ｇ方向に前進
する。このとき、上記のように高精度疑動′ｇ５の回転
軸と高精度ネジ８とはカップリング１１で連結されてい
るので、上記高精度ネジ８の矢印Ｇ方向の前進と共に、
高精度駆動源５自体も取付はブラケット１０とスライド
ガイド９の案内により同方向へ前進する。そして、上記
高精度ネジ８の矢印Ｇ方向の前進により、その先端部が
テーブル４の外側端面に設けられた抑圧部材１２を、高
精度駆動源５と高精度ネジ８とで数値制御された分だけ
押すことにより、引張りバネ６に抗して上記テーブル４
を矢印Ｂ方向に所定量だけ移動することができる。

次に、テーブル４を第１図において矢印Ａ方向に移動さ
せるには、高精度駆動ｇ５を駆動してその回転軸を上述
とは反対方向へ回転させる。すると、カップリング１１
でつながれた高精度ネジ８は矢印Ｅ方向または一方向に
回転させられ、取付部材７へのネジ込み部を通過するこ
とにより、その先端部は矢印Ｈ方向に後退する。このと
き、上記のように高精度ネジ８［５の回転軸と高精度ネ
ジ８とはカップリング１１で連結されているので、上記
高精度ネジ８の矢印Ｈ方向の後退と共に、高精度駆動ｔ
ｌＪＸ　５自体も取付はブラケット１０とスライドガイ
ド９の案内により同方向へ後退する。そして、上記高精
度ネジ８の矢印Ｈ方向の後退により、その先端部が高精
度駆動源５と高精度ネジ８とで数値制御された分だけ退
くことにより、引張りバネ６の付勢力によって上記テー
ブル４を矢印六方向に所定量だけ移動することができる
。

−例として、高精度駆動ｇ５を５ｏｏｏｏ分割／１回転
のパルスモータとし、高精度ネジ８のリードを０．５−
とした場合は、０．０１μ攬ずつの押し引きの制御によ
りテーブル４の移動制御ができる。

なお、このような構成のテーブル移動制御機構をそれぞ
れＸ方向移動用及びＹ方向移動用として二段に重ねるこ
とにより、Ｘ、一方向に移動制御しうるアライメントス
テージを構成することができる。

〔発明の効果〕

本発明は以上のように構成されたので、ベース部材１に
対して一方向に移動しうるように付勢されたテーブル４
の外側端面を、上記ベース部材１の一側端側に連結され
た高精度駆動源５による高精度ネジ８の前進で上記付勢
方向と反対側に押圧して移動させると共に、その高精度
ネジ８の後退で上記テーブル４の付勢力により逆方向に
戻して移動させることができる。このとき、テーブル４
の設けられた同一軸線上で直接そのテーブル４の外側端
面を高精度ネジ８を介して高精度駆動源５で押圧するだ
けで、上記テーブル４を移動制御することができる。ま
た、上記テーブル４と高精度駆動源５とは同一軸線上に
配置されているので、その厚みｔｌを薄くして全体とし
て小形化することができる。そして、この一つのテーブ
ル移動制溝機構をそれぞれＸ方向移動用及びＹ方向移動
用として二段に重ねてアライメントステージを構成した
場合も、その全体構成を従来よりも小形化することがで
きる。さらに、一つのテーブル移動制御機構を構成する
のに、ベース部材１の一側端部に高精度ネジ８を介して
押圧する高精度駆動源５を連結するだけで゛よいので、
その組み立てが容品で短時間で製造することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明によるテーブル移動制御機構の実施例を
示す正面説明図、第２図は従来のテーブル移動制御機構
を示す正面説明図である。 １・・・ベース部材、　４・・・テーブル、　５・・・
高精度駆動源、　６・・・引張りバネ、　　７・・・取
付部材、８・・・高精度ネジ、　　１１・・・カップリ
ング、　１２・・・抑圧部材。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ワークをセットするテーブルをベース部材に対して一直
   線上で往復移動させるテーブル移動制御機構において、
   上記ベース部材に対してテーブルを一方向に移動しうる
   ように付勢し、上記ベース部材には上記テーブルの付勢
   方向の根元側にて該テーブルの外側端面を上記付勢方向
   と反対側に高精度ネジを介して押圧する高精度駆動源を
   連結し、この高精度駆動源による高精度ネジの前進でテ
   ーブルの外側端面を押圧して移動させると共に、その高
   精度ネジの後退で上記テーブルの付勢力により逆方向に
   戻して移動させるようにしたことを特徴とするテーブル
   移動制御機構。