JPH0366655B2 - - Google Patents
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- JPH0366655B2 JPH0366655B2 JP8680289A JP8680289A JPH0366655B2 JP H0366655 B2 JPH0366655 B2 JP H0366655B2 JP 8680289 A JP8680289 A JP 8680289A JP 8680289 A JP8680289 A JP 8680289A JP H0366655 B2 JPH0366655 B2 JP H0366655B2
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- Japan
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- display device
- video signal
- liquid crystal
- crystal display
- image
- Prior art date
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- Expired - Lifetime
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Landscapes
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は透過形液晶表示装置により対象物上に
画像パターンを投影するパターン投影装置に関す
る。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention relates to a pattern projection device that projects an image pattern onto an object using a transmissive liquid crystal display device.
プリント基板、高密度モジユール用配線パター
ン、フオトマスク等の各種パターンの形成の従来
例を第１図に示す。図に於いて、レーザ発振器１
から発生したレーザ光又は凹レンズ３によつて拡
大され、コリメートレンズ４によつて平行光にさ
れて原画５に照射される。原画５を通過したレー
ザ光は投影レンズ６を経て試料７の表面に集光照
射される。この際、投影レンズ６は原画５の像を
試料７の表面に縮小投影されるように配置されて
おり、試料面には、原画５の縮少像が瞬時にして
焼付けられる。
FIG. 1 shows conventional examples of forming various patterns such as printed circuit boards, wiring patterns for high-density modules, and photomasks. In the figure, laser oscillator 1
The laser beam generated from the laser beam is magnified by the concave lens 3, converted into parallel light by the collimating lens 4, and irradiated onto the original image 5. The laser beam that has passed through the original image 5 is condensed and irradiated onto the surface of the sample 7 via a projection lens 6. At this time, the projection lens 6 is arranged so that the image of the original image 5 is projected in a reduced size onto the surface of the sample 7, and the reduced image of the original image 5 is instantaneously printed on the sample surface.
以上の従来例では、試料面に加工したいと思う
像の拡大像を一旦原画に作り、これを光路中にセ
ツトしてやる必要があり、像が変ると、そのたび
に原画を交換してやらなければならない。
In the conventional example described above, it is necessary to create an enlarged original image of the image that is desired to be processed on the sample surface, and then set this in the optical path, and whenever the image changes, the original image must be replaced.
本発明の目的は、ビデオ入力部に入力されたビ
デオ信号に基づいて任意の画像を対象物上投影で
きるようにしたパターン投影装置を提供するもの
である。 An object of the present invention is to provide a pattern projection device that can project any image onto an object based on a video signal input to a video input section.
本発明の要旨は、光源と、該光源からの光が照
射される透過形液晶表示装置と、ビデオ信号を入
力するビデオ入力部と、該ビデオ入力部からビデ
オ信号を読出して上記透過形液晶表示装置を駆動
する制御部と、該制御部によつて駆動される透過
形液晶表示装置から得られる画像対応の透過光を
対象物上に投影する投影レンズとを備えたことを
特徴とするパターン投影装置である。
The gist of the present invention is to provide a light source, a transmissive liquid crystal display device to which light from the light source is irradiated, a video input section into which a video signal is input, and a video signal read out from the video input section to display the transmissive liquid crystal display device. A pattern projection device comprising: a control unit that drives the device; and a projection lens that projects transmitted light corresponding to an image obtained from a transmissive liquid crystal display device driven by the control unit onto an object. It is a device.
上記構成によりビデオ信号入力部に入力された
ビデオ信号に対応した画像を対象物上に投影する
ことができる。
With the above configuration, an image corresponding to the video signal input to the video signal input section can be projected onto the object.
以下、本発明の実施例を図面に基づいてを詳述
する。即ち第２図は本発明の実施例を示す図であ
る。図に於いて新しく設けたものは、透過形液晶
表示装置１０、信号制御部１１、撮像管１２、撮
像レンズ１４、原画１３である。透過形液晶表示
装置１０は、信号制御部１１によつて制御を受け
る。。この際の制御は、透過形液晶表示装置に対
してどの画像パターンを表示させるかというこ
と、及びその表示時期の設定である。信号制御部
１１によつて制御をうけた表示装置１０に対して
コリメータレンズ４を介して送出されてきた平行
レーザ光から入射する。この表示装置１０に入射
したレーザ光は上記画像パターンに対応する位置
を介して該表示装置１０の投影レンズ６側に出力
する。この出力したレーザ光は投影レンズ６を介
して試料７に照射し、試料面上に画像パターンを
形成する。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail based on the drawings. That is, FIG. 2 is a diagram showing an embodiment of the present invention. Newly provided items in the figure are a transmissive liquid crystal display device 10, a signal control section 11, an image pickup tube 12, an image pickup lens 14, and an original image 13. The transmissive liquid crystal display device 10 is controlled by a signal control section 11. . The control at this time is to determine which image pattern is to be displayed on the transmissive liquid crystal display device and to set the display timing. Parallel laser light transmitted through the collimator lens 4 enters the display device 10 controlled by the signal control unit 11 . The laser light incident on the display device 10 is output to the projection lens 6 side of the display device 10 via a position corresponding to the image pattern. This output laser light is irradiated onto the sample 7 through the projection lens 6 to form an image pattern on the sample surface.
透過形液晶表示装置１０は、従来からよく知ら
れているように、レーザ光の入射面に対して、偏
向板−ガラス−透明電極−液晶本体部−透明電極
−ガラスとを一体化させて形成させた構造となつ
ている。上記２つの透明電極は相互にマトリツク
スになるように配置されている。このマトリツク
ス構成の電極によつて表示位置の設定が行われ
る。マトリツクス電極の選択制御が信号制御部１
１によつてなされる。 As is well known in the past, the transmission type liquid crystal display device 10 is formed by integrating a polarizing plate, glass, transparent electrode, liquid crystal main body, transparent electrode, and glass with respect to the incident surface of laser light. It has a similar structure. The two transparent electrodes are mutually arranged in a matrix. The display position is set by the electrodes in this matrix configuration. The selection control of the matrix electrode is performed by the signal control section 1.
It is done by 1.
信号制御部１１への表示画像パターンは撮像管
１２で撮像された原画１３である。信号制御部１
１は、撮像管１２から得られる映像信号を一時的
にメモリに記憶させ、表示モード時に該メモリか
ら読出し表示装置１０に表示させている。信号制
御１１の具体的構成図を第２図に示す。先ず、撮
像管１２からの映像信号を信号変換部１１０に入
力し、メモリ１１２に記憶可能なデータ、例えば
２値信号に変換する。この変換された映像信号を
書込み読出し回路１１１を介してメモリ１１２に
送り、アドレスに従つてメモリ１１２に記憶させ
る。メモリ１１２は、１つの表示パターン分の容
量を持つものであつても、複数の表示パターン分
の容量を持つものであつてもよい。表示に際して
は、書込み読出し回路１１１を読出しモードとし
てメモリ１１２を駆動し信号変換部１１３に必要
なデータを読出す。この信号変換部１１３は、メ
モリ１１２から読出された２値信号を液晶表示装
置１０を駆動するに必要な信号、即ちＸ，Ｙ信号
に変換する。このＸ，Ｙ信号を表示装置１０に送
り、必要な表示を行う。信号変換部１１０，１１
３、読出し書込み回路１１１は制御回路１１４の
制御をうける。この制御回路１１４での制御は、
第１にモード指定、第２にそのタイミング指定で
ある。制御回路１１４は、更に、レーザ発振器１
の制御も行つている。モータ用テレビ１５はつい
ては省略している。 The display image pattern to the signal control unit 11 is the original image 13 captured by the image pickup tube 12 . Signal control section 1
1 temporarily stores a video signal obtained from an image pickup tube 12 in a memory, and reads it from the memory and displays it on the display device 10 in a display mode. A specific configuration diagram of the signal control 11 is shown in FIG. First, a video signal from the image pickup tube 12 is input to the signal converter 110, and is converted into data that can be stored in the memory 112, for example, a binary signal. This converted video signal is sent to the memory 112 via the write/read circuit 111 and stored in the memory 112 according to the address. The memory 112 may have a capacity for one display pattern, or may have a capacity for a plurality of display patterns. For display, the write/read circuit 111 is set to read mode to drive the memory 112 and read necessary data to the signal converter 113. This signal converter 113 converts the binary signal read from the memory 112 into signals necessary to drive the liquid crystal display device 10, that is, X and Y signals. These X and Y signals are sent to the display device 10 to perform necessary display. Signal converter 110, 11
3. The read/write circuit 111 is controlled by the control circuit 114. The control in this control circuit 114 is as follows:
The first is the mode specification, and the second is the timing specification. The control circuit 114 further includes the laser oscillator 1
is also under control. The motor television 15 is omitted.
次に具体的数値事例に基づく説明を行う。レー
ザ光のパワー密度は液晶を損傷しない程度に選
ぶ。例えば、104W／cm2以下になるようにビーム
径を約300mmとし、レーザ出力は7MWを用いた。
透過形液晶表示装置５を通過したレーザ光は約
１／100に縮少投影するための投影レンズ１０に
入り、液晶表示された平面像を試料７の表面に
１／100の寸法で焼付けた。この時の試料面上の
最大パワー密度は約108W／cm2に達した。試料７
は、ガラス基板上に約100Åの金属膜を蒸着した
ものを使用し、レーザ光が照射すると、金属膜が
除去され、液晶パターンが１／100の寸法でその
まま瞬時に転写できた。 Next, we will provide an explanation based on specific numerical examples. The power density of the laser beam is selected so as not to damage the liquid crystal. For example, the beam diameter was set to about 300 mm so as to be 10 4 W/cm 2 or less, and the laser output was 7 MW.
The laser beam that passed through the transmission type liquid crystal display device 5 entered a projection lens 10 for projecting a reduced size of about 1/100, and a planar image displayed on the liquid crystal was printed on the surface of the sample 7 with a size of 1/100. The maximum power density on the sample surface at this time reached approximately 10 8 W/cm 2 . Sample 7
used a metal film deposited on a glass substrate with a thickness of approximately 100 Å, and when irradiated with laser light, the metal film was removed and a liquid crystal pattern with a size of 1/100 could be instantly transferred as is.
以上の実施例に於いて、表示パターンの種類を
光路以外で設定できるため極めて汎用性の高いパ
ターン形成が可能になつた。更に、パターンの拡
大、縮少もメモリのデータそのものを拡大、縮少
可能なため、汎用性が高まつた。 In the above embodiments, the type of display pattern can be set outside the optical path, making it possible to form extremely versatile patterns. Furthermore, since it is possible to enlarge or reduce the pattern, the data itself in the memory can be enlarged or reduced, increasing versatility.
次に、他の実施例を説明する。上記実施例で
は、信号制御部１１への入力情報を撮像管１７か
ら与えたが、この他に第４図、第５図の如きやり
方もある。第４図は、ビデオ信号記録部１６を設
け、該ビデオ信号記録部１６からの情報を原画情
報として与えてなるものである。第５図は、ビデ
オ信号を無線方式によつて伝達してなるものであ
つて、ビデオ信号送信器１８から無線によりビデ
オ信号をビデオ信号受信器１７に送り、更に信号
制御部１１に原画情報として入力せしめている。
但し、この２つの実施例ではメモリ１１２は必ず
しも必要としない。前者の実施例によれば、パタ
ーン情報をビデオ記録部にストツクしておくこと
により、必要なパターンを必要な時に形成するこ
とができる利点を持つ。後者の実施例によれば、
パターン形成を行う部所とそのパターン供給部所
とが離れている場合の遠隔操作に好適である。 Next, another embodiment will be described. In the above embodiment, the input information to the signal control section 11 is given from the image pickup tube 17, but there are other methods as shown in FIGS. 4 and 5. In FIG. 4, a video signal recording section 16 is provided, and information from the video signal recording section 16 is provided as original image information. In FIG. 5, a video signal is transmitted by a wireless method, and the video signal is transmitted wirelessly from a video signal transmitter 18 to a video signal receiver 17, and is further sent to the signal control unit 11 as original image information. I am forced to input it.
However, in these two embodiments, the memory 112 is not necessarily required. The former embodiment has the advantage that by storing pattern information in the video recording section, a necessary pattern can be formed when necessary. According to the latter embodiment:
This is suitable for remote control when the part where the pattern is formed and the part where the pattern is supplied are separated.
以上説明したように本発明によれば、ビデオ信
号によつて得られる任意の画像に対応した画像を
対象物上に投影することができる。
As described above, according to the present invention, an image corresponding to an arbitrary image obtained by a video signal can be projected onto an object.
第１図は従来例を示す図、第２図は本発明の実
施例を示す図、第３図、第４図及び第５図は本発
明の他の実施例を示す図である。
１……レーザ発振器、７……試料、１０……透
過形液晶表示装置、１１……信号制御部、１２…
…撮像管。
FIG. 1 shows a conventional example, FIG. 2 shows an embodiment of the invention, and FIGS. 3, 4, and 5 show other embodiments of the invention. DESCRIPTION OF SYMBOLS 1...Laser oscillator, 7...Sample, 10...Transmissive liquid crystal display device, 11...Signal control unit, 12...
...Image tube.
Claims (1)
液晶表示装置と、ビデオ信号を入力するビデオ入
力部と、該ビデオ入力部からビデオ信号を読出し
て上記透過形液晶表示装置を駆動する制御部と、
該制御部によつて駆動される透過形液晶表示装置
から得られる画像対応の透過光を対象物上に投影
する投影レンズとを備えたことを特徴とするパタ
ーン投影装置。 ２ 上記入力部にビデオ信号を記憶する記憶部を
有することを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載のパターン投影装置。 ３ 上記入力部には、ビデオ信号を受信して上記
記憶部に記憶させる受信部を備えたことを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載のパターン投影装
置。[Scope of Claims] 1. A light source, a transmissive liquid crystal display device to which light from the light source is irradiated, a video input section into which a video signal is input, and a video signal read out from the video input section to display the transmissive liquid crystal display device. a control unit that drives the display device;
A pattern projection device comprising: a projection lens that projects transmitted light corresponding to an image obtained from a transmission type liquid crystal display device driven by the control section onto an object. 2. The pattern projection apparatus according to claim 1, wherein the input section includes a storage section for storing a video signal. 3. The pattern projection apparatus according to claim 1, wherein the input section includes a receiving section that receives a video signal and stores it in the storage section.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1086802A JPH0259A (en) | 1989-04-07 | 1989-04-07 | Pattern projecting device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1086802A JPH0259A (en) | 1989-04-07 | 1989-04-07 | Pattern projecting device |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11416179A Division JPS5638888A (en) | 1979-09-07 | 1979-09-07 | Pattern forming method |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0259A JPH0259A (en) | 1990-01-05 |
| JPH0366655B2 true JPH0366655B2 (en) | 1991-10-18 |
Family
ID=13896932
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1086802A Granted JPH0259A (en) | 1989-04-07 | 1989-04-07 | Pattern projecting device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0259A (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1255259B1 (en) | 1997-02-14 | 2006-11-29 | Denso Corporation | Stick-type ignition coil having improved structure against crack or dielectric discharge |
-
1989
- 1989-04-07 JP JP1086802A patent/JPH0259A/en active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0259A (en) | 1990-01-05 |
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