JPH0366655B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0366655B2 JPH0366655B2 JP8680289A JP8680289A JPH0366655B2 JP H0366655 B2 JPH0366655 B2 JP H0366655B2 JP 8680289 A JP8680289 A JP 8680289A JP 8680289 A JP8680289 A JP 8680289A JP H0366655 B2 JPH0366655 B2 JP H0366655B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- display device
- video signal
- liquid crystal
- crystal display
- image
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Landscapes
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は透過形液晶表示装置により対象物上に
画像パターンを投影するパターン投影装置に関す
る。
画像パターンを投影するパターン投影装置に関す
る。
プリント基板、高密度モジユール用配線パター
ン、フオトマスク等の各種パターンの形成の従来
例を第１図に示す。図に於いて、レーザ発振器１
から発生したレーザ光又は凹レンズ３によつて拡
大され、コリメートレンズ４によつて平行光にさ
れて原画５に照射される。原画５を通過したレー
ザ光は投影レンズ６を経て試料７の表面に集光照
射される。この際、投影レンズ６は原画５の像を
試料７の表面に縮小投影されるように配置されて
おり、試料面には、原画５の縮少像が瞬時にして
焼付けられる。
ン、フオトマスク等の各種パターンの形成の従来
例を第１図に示す。図に於いて、レーザ発振器１
から発生したレーザ光又は凹レンズ３によつて拡
大され、コリメートレンズ４によつて平行光にさ
れて原画５に照射される。原画５を通過したレー
ザ光は投影レンズ６を経て試料７の表面に集光照
射される。この際、投影レンズ６は原画５の像を
試料７の表面に縮小投影されるように配置されて
おり、試料面には、原画５の縮少像が瞬時にして
焼付けられる。
以上の従来例では、試料面に加工したいと思う
像の拡大像を一旦原画に作り、これを光路中にセ
ツトしてやる必要があり、像が変ると、そのたび
に原画を交換してやらなければならない。
像の拡大像を一旦原画に作り、これを光路中にセ
ツトしてやる必要があり、像が変ると、そのたび
に原画を交換してやらなければならない。
本発明の目的は、ビデオ入力部に入力されたビ
デオ信号に基づいて任意の画像を対象物上投影で
きるようにしたパターン投影装置を提供するもの
である。
デオ信号に基づいて任意の画像を対象物上投影で
きるようにしたパターン投影装置を提供するもの
である。
本発明の要旨は、光源と、該光源からの光が照
射される透過形液晶表示装置と、ビデオ信号を入
力するビデオ入力部と、該ビデオ入力部からビデ
オ信号を読出して上記透過形液晶表示装置を駆動
する制御部と、該制御部によつて駆動される透過
形液晶表示装置から得られる画像対応の透過光を
対象物上に投影する投影レンズとを備えたことを
特徴とするパターン投影装置である。
射される透過形液晶表示装置と、ビデオ信号を入
力するビデオ入力部と、該ビデオ入力部からビデ
オ信号を読出して上記透過形液晶表示装置を駆動
する制御部と、該制御部によつて駆動される透過
形液晶表示装置から得られる画像対応の透過光を
対象物上に投影する投影レンズとを備えたことを
特徴とするパターン投影装置である。
上記構成によりビデオ信号入力部に入力された
ビデオ信号に対応した画像を対象物上に投影する
ことができる。
ビデオ信号に対応した画像を対象物上に投影する
ことができる。
以下、本発明の実施例を図面に基づいてを詳述
する。即ち第２図は本発明の実施例を示す図であ
る。図に於いて新しく設けたものは、透過形液晶
表示装置１０、信号制御部１１、撮像管１２、撮
像レンズ１４、原画１３である。透過形液晶表示
装置１０は、信号制御部１１によつて制御を受け
る。。この際の制御は、透過形液晶表示装置に対
してどの画像パターンを表示させるかというこ
と、及びその表示時期の設定である。信号制御部
１１によつて制御をうけた表示装置１０に対して
コリメータレンズ４を介して送出されてきた平行
レーザ光から入射する。この表示装置１０に入射
したレーザ光は上記画像パターンに対応する位置
を介して該表示装置１０の投影レンズ６側に出力
する。この出力したレーザ光は投影レンズ６を介
して試料７に照射し、試料面上に画像パターンを
形成する。
する。即ち第２図は本発明の実施例を示す図であ
る。図に於いて新しく設けたものは、透過形液晶
表示装置１０、信号制御部１１、撮像管１２、撮
像レンズ１４、原画１３である。透過形液晶表示
装置１０は、信号制御部１１によつて制御を受け
る。。この際の制御は、透過形液晶表示装置に対
してどの画像パターンを表示させるかというこ
と、及びその表示時期の設定である。信号制御部
１１によつて制御をうけた表示装置１０に対して
コリメータレンズ４を介して送出されてきた平行
レーザ光から入射する。この表示装置１０に入射
したレーザ光は上記画像パターンに対応する位置
を介して該表示装置１０の投影レンズ６側に出力
する。この出力したレーザ光は投影レンズ６を介
して試料７に照射し、試料面上に画像パターンを
形成する。
透過形液晶表示装置１０は、従来からよく知ら
れているように、レーザ光の入射面に対して、偏
向板−ガラス−透明電極−液晶本体部−透明電極
−ガラスとを一体化させて形成させた構造となつ
ている。上記２つの透明電極は相互にマトリツク
スになるように配置されている。このマトリツク
ス構成の電極によつて表示位置の設定が行われ
る。マトリツクス電極の選択制御が信号制御部１
１によつてなされる。
れているように、レーザ光の入射面に対して、偏
向板−ガラス−透明電極−液晶本体部−透明電極
−ガラスとを一体化させて形成させた構造となつ
ている。上記２つの透明電極は相互にマトリツク
スになるように配置されている。このマトリツク
ス構成の電極によつて表示位置の設定が行われ
る。マトリツクス電極の選択制御が信号制御部１
１によつてなされる。
信号制御部１１への表示画像パターンは撮像管
１２で撮像された原画１３である。信号制御部１
１は、撮像管１２から得られる映像信号を一時的
にメモリに記憶させ、表示モード時に該メモリか
ら読出し表示装置１０に表示させている。信号制
御１１の具体的構成図を第２図に示す。先ず、撮
像管１２からの映像信号を信号変換部１１０に入
力し、メモリ１１２に記憶可能なデータ、例えば
２値信号に変換する。この変換された映像信号を
書込み読出し回路１１１を介してメモリ１１２に
送り、アドレスに従つてメモリ１１２に記憶させ
る。メモリ１１２は、１つの表示パターン分の容
量を持つものであつても、複数の表示パターン分
の容量を持つものであつてもよい。表示に際して
は、書込み読出し回路１１１を読出しモードとし
てメモリ１１２を駆動し信号変換部１１３に必要
なデータを読出す。この信号変換部１１３は、メ
モリ１１２から読出された２値信号を液晶表示装
置１０を駆動するに必要な信号、即ちＸ，Ｙ信号
に変換する。このＸ，Ｙ信号を表示装置１０に送
り、必要な表示を行う。信号変換部１１０，１１
３、読出し書込み回路１１１は制御回路１１４の
制御をうける。この制御回路１１４での制御は、
第１にモード指定、第２にそのタイミング指定で
ある。制御回路１１４は、更に、レーザ発振器１
の制御も行つている。モータ用テレビ１５はつい
ては省略している。
１２で撮像された原画１３である。信号制御部１
１は、撮像管１２から得られる映像信号を一時的
にメモリに記憶させ、表示モード時に該メモリか
ら読出し表示装置１０に表示させている。信号制
御１１の具体的構成図を第２図に示す。先ず、撮
像管１２からの映像信号を信号変換部１１０に入
力し、メモリ１１２に記憶可能なデータ、例えば
２値信号に変換する。この変換された映像信号を
書込み読出し回路１１１を介してメモリ１１２に
送り、アドレスに従つてメモリ１１２に記憶させ
る。メモリ１１２は、１つの表示パターン分の容
量を持つものであつても、複数の表示パターン分
の容量を持つものであつてもよい。表示に際して
は、書込み読出し回路１１１を読出しモードとし
てメモリ１１２を駆動し信号変換部１１３に必要
なデータを読出す。この信号変換部１１３は、メ
モリ１１２から読出された２値信号を液晶表示装
置１０を駆動するに必要な信号、即ちＸ，Ｙ信号
に変換する。このＸ，Ｙ信号を表示装置１０に送
り、必要な表示を行う。信号変換部１１０，１１
３、読出し書込み回路１１１は制御回路１１４の
制御をうける。この制御回路１１４での制御は、
第１にモード指定、第２にそのタイミング指定で
ある。制御回路１１４は、更に、レーザ発振器１
の制御も行つている。モータ用テレビ１５はつい
ては省略している。
次に具体的数値事例に基づく説明を行う。レー
ザ光のパワー密度は液晶を損傷しない程度に選
ぶ。例えば、104W／cm2以下になるようにビーム
径を約300mmとし、レーザ出力は7MWを用いた。
透過形液晶表示装置５を通過したレーザ光は約
１／100に縮少投影するための投影レンズ１０に
入り、液晶表示された平面像を試料７の表面に
１／100の寸法で焼付けた。この時の試料面上の
最大パワー密度は約108W／cm2に達した。試料７
は、ガラス基板上に約100Åの金属膜を蒸着した
ものを使用し、レーザ光が照射すると、金属膜が
除去され、液晶パターンが１／100の寸法でその
まま瞬時に転写できた。
ザ光のパワー密度は液晶を損傷しない程度に選
ぶ。例えば、104W／cm2以下になるようにビーム
径を約300mmとし、レーザ出力は7MWを用いた。
透過形液晶表示装置５を通過したレーザ光は約
１／100に縮少投影するための投影レンズ１０に
入り、液晶表示された平面像を試料７の表面に
１／100の寸法で焼付けた。この時の試料面上の
最大パワー密度は約108W／cm2に達した。試料７
は、ガラス基板上に約100Åの金属膜を蒸着した
ものを使用し、レーザ光が照射すると、金属膜が
除去され、液晶パターンが１／100の寸法でその
まま瞬時に転写できた。
以上の実施例に於いて、表示パターンの種類を
光路以外で設定できるため極めて汎用性の高いパ
ターン形成が可能になつた。更に、パターンの拡
大、縮少もメモリのデータそのものを拡大、縮少
可能なため、汎用性が高まつた。
光路以外で設定できるため極めて汎用性の高いパ
ターン形成が可能になつた。更に、パターンの拡
大、縮少もメモリのデータそのものを拡大、縮少
可能なため、汎用性が高まつた。
次に、他の実施例を説明する。上記実施例で
は、信号制御部１１への入力情報を撮像管１７か
ら与えたが、この他に第４図、第５図の如きやり
方もある。第４図は、ビデオ信号記録部１６を設
け、該ビデオ信号記録部１６からの情報を原画情
報として与えてなるものである。第５図は、ビデ
オ信号を無線方式によつて伝達してなるものであ
つて、ビデオ信号送信器１８から無線によりビデ
オ信号をビデオ信号受信器１７に送り、更に信号
制御部１１に原画情報として入力せしめている。
但し、この２つの実施例ではメモリ１１２は必ず
しも必要としない。前者の実施例によれば、パタ
ーン情報をビデオ記録部にストツクしておくこと
により、必要なパターンを必要な時に形成するこ
とができる利点を持つ。後者の実施例によれば、
パターン形成を行う部所とそのパターン供給部所
とが離れている場合の遠隔操作に好適である。
は、信号制御部１１への入力情報を撮像管１７か
ら与えたが、この他に第４図、第５図の如きやり
方もある。第４図は、ビデオ信号記録部１６を設
け、該ビデオ信号記録部１６からの情報を原画情
報として与えてなるものである。第５図は、ビデ
オ信号を無線方式によつて伝達してなるものであ
つて、ビデオ信号送信器１８から無線によりビデ
オ信号をビデオ信号受信器１７に送り、更に信号
制御部１１に原画情報として入力せしめている。
但し、この２つの実施例ではメモリ１１２は必ず
しも必要としない。前者の実施例によれば、パタ
ーン情報をビデオ記録部にストツクしておくこと
により、必要なパターンを必要な時に形成するこ
とができる利点を持つ。後者の実施例によれば、
パターン形成を行う部所とそのパターン供給部所
とが離れている場合の遠隔操作に好適である。
以上説明したように本発明によれば、ビデオ信
号によつて得られる任意の画像に対応した画像を
対象物上に投影することができる。
号によつて得られる任意の画像に対応した画像を
対象物上に投影することができる。
第１図は従来例を示す図、第２図は本発明の実
施例を示す図、第３図、第４図及び第５図は本発
明の他の実施例を示す図である。 １……レーザ発振器、７……試料、１０……透
過形液晶表示装置、１１……信号制御部、１２…
…撮像管。
施例を示す図、第３図、第４図及び第５図は本発
明の他の実施例を示す図である。 １……レーザ発振器、７……試料、１０……透
過形液晶表示装置、１１……信号制御部、１２…
…撮像管。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 光源と、該光源からの光が照射される透過形
液晶表示装置と、ビデオ信号を入力するビデオ入
力部と、該ビデオ入力部からビデオ信号を読出し
て上記透過形液晶表示装置を駆動する制御部と、
該制御部によつて駆動される透過形液晶表示装置
から得られる画像対応の透過光を対象物上に投影
する投影レンズとを備えたことを特徴とするパタ
ーン投影装置。 ２ 上記入力部にビデオ信号を記憶する記憶部を
有することを特徴とする特許請求の範囲第１項記
載のパターン投影装置。 ３ 上記入力部には、ビデオ信号を受信して上記
記憶部に記憶させる受信部を備えたことを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載のパターン投影装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1086802A JPH0259A (ja) | 1989-04-07 | 1989-04-07 | パターン投影装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1086802A JPH0259A (ja) | 1989-04-07 | 1989-04-07 | パターン投影装置 |
Related Parent Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11416179A Division JPS5638888A (en) | 1979-09-07 | 1979-09-07 | Pattern forming method |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0259A JPH0259A (ja) | 1990-01-05 |
| JPH0366655B2 true JPH0366655B2 (ja) | 1991-10-18 |
Family
ID=13896932
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1086802A Granted JPH0259A (ja) | 1989-04-07 | 1989-04-07 | パターン投影装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0259A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1255259B1 (en) | 1997-02-14 | 2006-11-29 | Denso Corporation | Stick-type ignition coil having improved structure against crack or dielectric discharge |
-
1989
- 1989-04-07 JP JP1086802A patent/JPH0259A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0259A (ja) | 1990-01-05 |
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