JPH0367338U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0367338U JPH0367338U JP1989128453U JP12845389U JPH0367338U JP H0367338 U JPH0367338 U JP H0367338U JP 1989128453 U JP1989128453 U JP 1989128453U JP 12845389 U JP12845389 U JP 12845389U JP H0367338 U JPH0367338 U JP H0367338U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resist removal
- ultraviolet lamp
- resist
- mirror
- angle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Description
第１図は本考案の実施例を示すレジスト除去装
置の断面図、第２図は従来の紫外線とオゾンを用
いたレジスト除去装置の構成図、第３図は本考案
の他の実施例を示すレジスト除去装置の断面図、
第４図は本考案の更なる他の実施例を示すレジス
ト除去装置の断面図である。 １……レジスト除去処理室の天井板、２……紫
外線ランプ、３……ステージ、４……オゾン用ノ
ズル、５……オゾン吹出口、６……端子、７……
ウエハ、１０〜１２，１５……鏡、１３，１４…
…調整螺子。
置の断面図、第２図は従来の紫外線とオゾンを用
いたレジスト除去装置の構成図、第３図は本考案
の他の実施例を示すレジスト除去装置の断面図、
第４図は本考案の更なる他の実施例を示すレジス
ト除去装置の断面図である。 １……レジスト除去処理室の天井板、２……紫
外線ランプ、３……ステージ、４……オゾン用ノ
ズル、５……オゾン吹出口、６……端子、７……
ウエハ、１０〜１２，１５……鏡、１３，１４…
…調整螺子。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 紫外線とオゾンを用いたレジスト除去装置
において、 (a) 紫外線ランプと、 (b) レジスト除去処理室の天井板に前記紫外
線ランプに対向して設けられる鏡とを具備するこ
とを特徴とするレジスト除去装置。 (2) 紫外線とオゾンを用いたレジスト除去装置
において、 (a) 紫外線ランプと、 (b) 該紫外線ランプの上方であつて、レジス
ト除去処理室天井板にその中心部が凸状になるよ
うな角度でテーパを有する鏡とを具備することを
特徴とするレジスト除去装置。 (3) 請求項２記載のレジスト除去装置において
、前記テーパ角度を調整可能にしてなるレジスト
除去装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989128453U JPH0367338U (ja) | 1989-11-04 | 1989-11-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1989128453U JPH0367338U (ja) | 1989-11-04 | 1989-11-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0367338U true JPH0367338U (ja) | 1991-07-01 |
Family
ID=31676160
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1989128453U Pending JPH0367338U (ja) | 1989-11-04 | 1989-11-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0367338U (ja) |
-
1989
- 1989-11-04 JP JP1989128453U patent/JPH0367338U/ja active Pending
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