JPH0367427U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0367427U JPH0367427U JP12889289U JP12889289U JPH0367427U JP H0367427 U JPH0367427 U JP H0367427U JP 12889289 U JP12889289 U JP 12889289U JP 12889289 U JP12889289 U JP 12889289U JP H0367427 U JPH0367427 U JP H0367427U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- bonding
- mounted part
- stem
- slider
- bonding tool
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Die Bonding (AREA)
Description
第１図ないし第４図は本考案の一実施例に係る
ダイボンデイング装置の構造ならびに動作を示す
側面図、第５図は平行板バネの作用の説明図であ
る。 Ａ……被マウント部品（ステム）、Ａ１……マ
ウント面、Ｂ……マウント部品（半導体チツプ）
、１……ボンデイングステージ、２……位置規制
具、２ａ……位置規制面、３……ガイドレール、
４……スライダ、５……平行板バネ、６……ボン
デイングツール、８……ステム、８ａ……ヒート
シンク、Ｌ……昇降軌跡。
ダイボンデイング装置の構造ならびに動作を示す
側面図、第５図は平行板バネの作用の説明図であ
る。 Ａ……被マウント部品（ステム）、Ａ１……マ
ウント面、Ｂ……マウント部品（半導体チツプ）
、１……ボンデイングステージ、２……位置規制
具、２ａ……位置規制面、３……ガイドレール、
４……スライダ、５……平行板バネ、６……ボン
デイングツール、８……ステム、８ａ……ヒート
シンク、Ｌ……昇降軌跡。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ステム等の被マウント部品を載置するボンデイ
ングステージと、 昇降自在なスライダと、 半導体チツプ等のマウント部品を吸着保持する
ボンデイングツールと、 被マウント部品のマウント面上で前記ボンデイ
ングツールの昇降軌跡より側方に位置してマウン
ト部品の水平方向位置を規制する位置規制具と、 前記ボンデイングツールと前記スライダとを斜
め方向で連結する平行板バネ とを備えたことを特徴とするダイボンデイング装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12889289U JPH0367427U (ja) | 1989-11-01 | 1989-11-01 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12889289U JPH0367427U (ja) | 1989-11-01 | 1989-11-01 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0367427U true JPH0367427U (ja) | 1991-07-01 |
Family
ID=31676564
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12889289U Pending JPH0367427U (ja) | 1989-11-01 | 1989-11-01 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0367427U (ja) |
-
1989
- 1989-11-01 JP JP12889289U patent/JPH0367427U/ja active Pending
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