JPH04334037A - バンプの転写装置 - Google Patents

バンプの転写装置

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Publication number
JPH04334037A
JPH04334037A JP3105421A JP10542191A JPH04334037A JP H04334037 A JPH04334037 A JP H04334037A JP 3105421 A JP3105421 A JP 3105421A JP 10542191 A JP10542191 A JP 10542191A JP H04334037 A JPH04334037 A JP H04334037A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
bumps
film carrier
base plate
bump
leads
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP3105421A
Other languages
English (en)
Inventor
Masahide Koyama
賢秀 小山
Hiroshi Haji
宏 土師
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP3105421A priority Critical patent/JPH04334037A/ja
Publication of JPH04334037A publication Critical patent/JPH04334037A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はバンプの転写装置に係り
、詳しくは、フィルムキャリヤのリードに、バンプを転
写するための装置に関する。
【0002】
【従来の技術】フィルムキャリヤのリードに、バンプを
転写する手段として、図3に示す手段が知られている。 図中、101はバンプ102が形成された台板、103
はフィルムキャリヤに形成されたリード、104は押圧
ツールである。このものは、押圧ツール104によりリ
ード103をバンプ102に押し付けて、多数本のリー
ド103にバンプ102を一括して転写するものであり
、一般にギャングボンディングと呼ばれている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】上記従来手段は、多数
個のバンプ102を多数本のリード103に一括転写す
ることから、作業能率が高い利点がある。ところがこの
手段では、リード103の位置に合致するように、予め
台板101にバンプ102を正確に配列させて形成せね
ばならないため、台板101上へのバンプ102の形成
がきわめて面倒であり、またバンプ102は台板101
に高密度で形成できないことから、多数枚の台板101
を必要とし、台板101上のバンプ102が品切れにな
る度に、頻繁に台板101の交換をしなければならない
問題点があった。
【0004】また上記従来手段は、多数個(一般に数1
00個)のバンプ102を一括転写するものであるが、
このように多数個のバンプ102を、多数枚のリード1
03に全て確実に一括転写することはきわめて困難であ
り、リード103に転写されずに、台板101に残って
しまうバンプ102が生じやすい問題点があった。
【0005】そこで本発明は、上記従来手段の問題点を
解消できるバンプの転写手段を提供することを目的とす
る。
【0006】
【課題を解決するための手段】このために本発明は、フ
ィルムキャリヤの下方にあって、バンプが多数個形成さ
れた台板と、フィルムキャリヤの上方にあって、このフ
ィルムキャリヤに形成されたリードを、1個ずつ個別に
上記バンプに押し付けて転写する押圧ツールと、この押
圧ツールと上記台板を相対的にXY方向に移動させる移
動手段とからバンプの転写装置を構成している。
【0007】
【作用】上記構成によれば、台板をリードに対して相対
的にXY方向に移動させながら、押圧ツールによりリー
ドを台板上のバンプに押し付け、バンプを1個ずつリー
ドに転写する。
【0008】
【実施例】次に、図面を参照しながら本発明の実施例を
説明する。
【0009】図1は、バンプの転写装置の全体図である
。図中、4はフィルムキャリヤであり、スプロケット5
によりピッチ送りされる。
【0010】11はXYテーブルであって、Xテーブル
12とYテーブル13から成っている。15はXYテー
ブル11上に配設された台板であり、この台板15上に
は、バンプ16がマトリクス状に多数個形成されている
。このXYテーブル11は、フィルムキャリヤ4の下方
にあって、台板15をXY方向に移動させる。
【0011】31は第2のXYテーブルであって、Xテ
ーブル32とYテーブル33から成っている。MXはX
モータ、MYはYモータである。このXYテーブル31
上には、ボンディング装置34が載置されている。この
ボンディング装置34のボックス35から、アーム36
が前方に延出しており、このアーム36の先端部には、
ピン状の押圧ツール37が保持されている。この押圧ツ
ール37は、フィルムキャリヤ4の直上に位置している
。ボックス35の内部には、リニヤモータやカムなどの
駆動手段が内蔵されており、この駆動手段が駆動するこ
とにより、アーム36は上下方向に揺動し、押圧ツール
37は上下動する。なおこの駆動手段は、ワイヤボンダ
ーにおいて使用されている周知手段であり、したがって
その詳細な説明は省略する。
【0012】38は、フィルムキャリヤ4の上面を吸着
してフィルムキャリヤ4を位置決めするマスク状のプレ
ート、39はフィルムキャリヤ4のリードや上記バンプ
16などを観察してこれらの位置を検出するカメラであ
る。
【0013】40は吸引手段であって、チューブ41を
介して、上記押圧ツール37に接続されている。
【0014】本装置は上記のような構成より成り、次に
図2を参照しながら動作の説明を行う。
【0015】図2aにおいて、押圧ツール37はバンプ
16の上方に位置している。また押圧ツール37には、
上記チューブ41に連通する吸引孔37aが形成されて
いる。
【0016】さて、上記アーム37が揺動すると、押圧
ツール37は下降し、リードLの先端部をバンプ16に
押し付ける(同図b参照)。これと同時に、上記吸引手
段40は作動し、リードLを吸着する。
【0017】次いで押圧ツール37は上昇し、台板15
上のバンプ16はリードLに転写される(同図c参照)
。リードLが原位置まで復帰すると、吸引状態を解除し
、押圧ツール37は更に上昇して、転写は終了する(同
図d参照)。
【0018】このようにして、リードLにバンプ16を
転写したならば、次のリードLにバンプ16を転写する
べく、XYテーブル11を駆動して、次のバンプ16を
リードLの直下に移動させ、上記動作を繰り返す。
【0019】上記動作において、押圧ツール37が上昇
する際に、吸引手段によりリードLを吸着することによ
り、リードLが図2c鎖線に示すように、下方へ屈曲す
るのを防止し、リードLを元の水平位置まで確実に復帰
させることができる。
【0020】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、フィルム
キャリヤの下方にあって、バンプが多数個形成された台
板と、フィルムキャリヤの上方にあって、このフィルム
キャリヤに形成されたリードを、1個ずつ個別に上記バ
ンプに押し付けて転写する押圧ツールと、この押圧ツー
ルと上記台板を相対的にXY方向に移動させる移動手段
とからバンプの転写装置を構成しているので、バンプを
リードに確実に転写することができる。またバンプは台
板上に高密度で多数個形成してよいので、台板上へのバ
ンプの形成がきわめて簡単であり、またバンプの品切れ
にともなう台板の交換頻度もきわめて少なくなる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係るバンプの転写装置の全体図
【図2
】本発明に係るバンプの転写工程の説明図
【図3】従来
手段の斜視図
【符号の説明】
4  フィルムキャリヤ 11  移動手段(XYテーブル) 15  台板 16  バンプ 37  押圧ツール L  リード

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】フィルムキャリヤの下方にあって、バンプ
    が多数個形成された台板と、フィルムキャリヤの上方に
    あって、このフィルムキャリヤに形成されたリードを、
    1個ずつ個別に上記バンプに押し付けて転写する押圧ツ
    ールと、この押圧ツールと上記台板を相対的にXY方向
    に移動させる移動手段とから成ることを特徴とするバン
    プの転写装置。
JP3105421A 1991-05-10 1991-05-10 バンプの転写装置 Pending JPH04334037A (ja)

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JP3105421A JPH04334037A (ja) 1991-05-10 1991-05-10 バンプの転写装置

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JP3105421A JPH04334037A (ja) 1991-05-10 1991-05-10 バンプの転写装置

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JPH04334037A true JPH04334037A (ja) 1992-11-20

Family

ID=14407137

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JP3105421A Pending JPH04334037A (ja) 1991-05-10 1991-05-10 バンプの転写装置

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