JPH0367437U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0367437U JPH0367437U JP13008789U JP13008789U JPH0367437U JP H0367437 U JPH0367437 U JP H0367437U JP 13008789 U JP13008789 U JP 13008789U JP 13008789 U JP13008789 U JP 13008789U JP H0367437 U JPH0367437 U JP H0367437U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measured
- microscope
- view
- confirm
- holds
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- Pending
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Landscapes
- Testing Or Calibration Of Command Recording Devices (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例におけるスキヤン
レールを有した顕微鏡を示す斜視図、第２図ａ〜
ｄは第１図の顕微鏡を用いて確認した針当て図、
第３図は従来のプローブ装置の斜視図、第４図は
従来の顕微鏡の斜視図、第５図は第４図の顕微鏡
で確認した針当て図、第６図は第５図の拡大図で
ある。図において、６……左右つまみ、７……前
後つまみ、８……上下つまみである。なお、図中
同一符号は同一、または相当部分を示す。
レールを有した顕微鏡を示す斜視図、第２図ａ〜
ｄは第１図の顕微鏡を用いて確認した針当て図、
第３図は従来のプローブ装置の斜視図、第４図は
従来の顕微鏡の斜視図、第５図は第４図の顕微鏡
で確認した針当て図、第６図は第５図の拡大図で
ある。図において、６……左右つまみ、７……前
後つまみ、８……上下つまみである。なお、図中
同一符号は同一、または相当部分を示す。
Claims (1)
- ステージに被測定体を保持し、その被測定体の
測定端子にプローブカードの接触針が、定められ
た基準位置に設置されていることを確認するため
の顕微鏡を備えたプローブ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13008789U JPH0367437U (ja) | 1989-11-06 | 1989-11-06 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13008789U JPH0367437U (ja) | 1989-11-06 | 1989-11-06 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0367437U true JPH0367437U (ja) | 1991-07-01 |
Family
ID=31677682
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13008789U Pending JPH0367437U (ja) | 1989-11-06 | 1989-11-06 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0367437U (ja) |
-
1989
- 1989-11-06 JP JP13008789U patent/JPH0367437U/ja active Pending