JPS6263230U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6263230U JPS6263230U JP15374285U JP15374285U JPS6263230U JP S6263230 U JPS6263230 U JP S6263230U JP 15374285 U JP15374285 U JP 15374285U JP 15374285 U JP15374285 U JP 15374285U JP S6263230 U JPS6263230 U JP S6263230U
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- JP
- Japan
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- arm
- detection plate
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- Pending
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- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 4
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
Landscapes
- Sheets, Magazines, And Separation Thereof (AREA)
Description
第１図は、本考案の実施例を示す平面図、第２
図は、拡大側面図の一部断面図である。 １……ウエハ搬送装置、３……アーム部、７…
…検出板、８……石英ボード。
図は、拡大側面図の一部断面図である。 １……ウエハ搬送装置、３……アーム部、７…
…検出板、８……石英ボード。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 石英ボートを支持する上下動可能なアーム部
の真下に、停止用スイツチの検出板を設け、該検
出板をアーム部に連結したことを特徴とするウエ
ハ搬送装置。 ２ アーム部は、その頭部にチヤツクを備えてい
ることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第１
項記載のウエハ搬送装置。 ３ 検出板は、アーム部の投影形状とほぼ合同で
あることを特徴とする実用新案登録請求の範囲第
１項記載のウエハ搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15374285U JPS6263230U (ja) | 1985-10-09 | 1985-10-09 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15374285U JPS6263230U (ja) | 1985-10-09 | 1985-10-09 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6263230U true JPS6263230U (ja) | 1987-04-20 |
Family
ID=31072895
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15374285U Pending JPS6263230U (ja) | 1985-10-09 | 1985-10-09 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6263230U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02291144A (ja) * | 1989-05-01 | 1990-11-30 | Nidek Co Ltd | ウェーハ搬送装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4877561A (ja) * | 1972-01-21 | 1973-10-18 |
-
1985
- 1985-10-09 JP JP15374285U patent/JPS6263230U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4877561A (ja) * | 1972-01-21 | 1973-10-18 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02291144A (ja) * | 1989-05-01 | 1990-11-30 | Nidek Co Ltd | ウェーハ搬送装置 |