JPS6380847U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6380847U JPS6380847U JP17560786U JP17560786U JPS6380847U JP S6380847 U JPS6380847 U JP S6380847U JP 17560786 U JP17560786 U JP 17560786U JP 17560786 U JP17560786 U JP 17560786U JP S6380847 U JPS6380847 U JP S6380847U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cassette
- grooves
- transfer device
- wafer transfer
- wafers
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 5
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 7
Landscapes
- Pile Receivers (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例を示す斜視図、第
２図は従来の半導体ウエハ移し替え装置を示す斜
視図である。 図中、１ａ，１ｂはアーム部、２は溝、３は支
点、４はばね、７は突条である。尚、図中同一符
号は同一又は相当部分を示す。
２図は従来の半導体ウエハ移し替え装置を示す斜
視図である。 図中、１ａ，１ｂはアーム部、２は溝、３は支
点、４はばね、７は突条である。尚、図中同一符
号は同一又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) カセツトの溝に収容されている複数枚の半
導体ウエハを、カセツトから落下させて受けとり
、これをボート等へ移し替えるウエハ移し替え装
置において、半導体ウエハを保持するために開閉
する一対のアーム部からなり、このアーム部には
上記カセツトの溝の２倍のピツチでウエハ保持用
の溝が設けられ、各溝と溝との間には上記カセツ
トの一枚おきのウエハがカセツトからアーム部に
落下しないようにする突条をアーム部端面上に突
設したことを特徴とする半導体ウエハ移し替え装
置。 (2) 突条はカセツトの溝にはまり込む幅寸法を
有することを特徴とする実用新案登録請求の範囲
第１項記載の半導体ウエハ移し替え装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17560786U JPS6380847U (ja) | 1986-11-14 | 1986-11-14 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17560786U JPS6380847U (ja) | 1986-11-14 | 1986-11-14 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6380847U true JPS6380847U (ja) | 1988-05-27 |
Family
ID=31115090
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17560786U Pending JPS6380847U (ja) | 1986-11-14 | 1986-11-14 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6380847U (ja) |
-
1986
- 1986-11-14 JP JP17560786U patent/JPS6380847U/ja active Pending
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