JPH0368005U - - Google Patents

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JPH0368005U
JPH0368005U JP7527389U JP7527389U JPH0368005U JP H0368005 U JPH0368005 U JP H0368005U JP 7527389 U JP7527389 U JP 7527389U JP 7527389 U JP7527389 U JP 7527389U JP H0368005 U JPH0368005 U JP H0368005U
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【図面の簡単な説明】
第１図は本考案に係る光学式変位測定装置のヘ
ツド部の構成を示す模式図、第２図は第１図の
−線による一部破断矢視図、第３図はＰＳＤ取
付け部分の拡大図、第４図は第３図の−線に
よる断面図、第５図はシヤインプルーグ条件を説
明する為の参考図、第６図は電磁石の動作回路図
、第７図は従来装置のヘツド部の構成図、第８図
は同じくその信号処理系の構成を示すブロツク図
である。 １……光源、４……ＰＳＤ、５ａ……投光部、
５ｂ……集光部、１５……被測定物、１６……ジ
ヨイント、２４……テーブル。なお、図中、同一
符号は同一、又は相当部分を示す。
補正 平２．１．４ 実用新案登録請求の範囲を次のように補正する
。
【実用新案登録請求の範囲】 光源から被測定物へ光ビームを投光し、この投
光ビームが被測定物から反射され集光される集光
ビームが入射する受光素子上の焦点位置に基づい
て被測定物の変位を測定する光学式変位測定装置
において、 前記投光ビームと集光ビームとが成す角度を変
更する受光角度変更手段と、 該受光角度変更手段により変更される角度に対
して前記受光素子上に集光ビームの焦点を結像さ
せるべく、前記受光素子の配置状態を変更する手
段と を具備することを特徴とする光学式変位測定装置
。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 光源から被測定物へ光ビームを投光し、この投
    光ビームの被測定物から反射され集光される集光
    ビームを入射する受光素子上の焦点位置に基づい
    て被測定物の変位を測定する光学式変位測定装置
    において、 前記投光ビームと集光ビームとが成す角度を変
    更する受光角度変更手段と、 該受光角度変更手段により変更される角度に対
    して前記受光素子上に集光ビームの焦点を結像さ
    せるべく、前記受光素子の配置状態を変更する手
    段と を具備することを特徴とする光学式変位測定装置
    。
JP7527389U 1989-06-27 1989-06-27 Pending JPH0368005U (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101897090B1 (ko) * 2018-05-02 2018-09-10 (주)영상 유도전동기 결선 단자대

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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