JPH0161608U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0161608U JPH0161608U JP15622487U JP15622487U JPH0161608U JP H0161608 U JPH0161608 U JP H0161608U JP 15622487 U JP15622487 U JP 15622487U JP 15622487 U JP15622487 U JP 15622487U JP H0161608 U JPH0161608 U JP H0161608U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical axis
- photoelectric sensor
- radial direction
- light
- contact displacement
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 9
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 9
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 2
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- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
Landscapes
- Measurement Of Optical Distance (AREA)
- Optical Recording Or Reproduction (AREA)
Description
第１図は、本考案に係る非接触変位計の実施例
の構成を示す正面図、第２図は、第１図の矢視
方向から見た平面図、第３図は、前記実施例の作
用を説明するための光学系の正面図、第４図は、
前記実施例の変位信号の一例を示す線図、第５図
Ａ，Ｂは、前記実施例の作用を説明するための拡
大正面図、第６図は、本考案の他の実施例で用い
られる１次元半導体位置検出器の構成の例を示す
横断面図である。 １０……測定対象物、１２……レーザダイオー
ド、１４……集光レンズ、１６……ビームスプリ
ツタ、１８……対物レンズ、２０……スポツト光
、２２……結像レンズ、Ｑ……結像点、Ａ……光
軸、２４……ミラー、Ｑ′……結像点、２６……
光電センサ、２６Ａ……内側受光素子、２６Ｂ…
…外側受光素子、２８……差動増幅器、ｍ……変
位信号、Ｚ……光軸方向変位量、５０……１次元
半導体位置検出器（ＰＳＤ）。
の構成を示す正面図、第２図は、第１図の矢視
方向から見た平面図、第３図は、前記実施例の作
用を説明するための光学系の正面図、第４図は、
前記実施例の変位信号の一例を示す線図、第５図
Ａ，Ｂは、前記実施例の作用を説明するための拡
大正面図、第６図は、本考案の他の実施例で用い
られる１次元半導体位置検出器の構成の例を示す
横断面図である。 １０……測定対象物、１２……レーザダイオー
ド、１４……集光レンズ、１６……ビームスプリ
ツタ、１８……対物レンズ、２０……スポツト光
、２２……結像レンズ、Ｑ……結像点、Ａ……光
軸、２４……ミラー、Ｑ′……結像点、２６……
光電センサ、２６Ａ……内側受光素子、２６Ｂ…
…外側受光素子、２８……差動増幅器、ｍ……変
位信号、Ｚ……光軸方向変位量、５０……１次元
半導体位置検出器（ＰＳＤ）。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 測定対象物にスポツト光を照射する照明系
と、 該スポツト光の像を形成するための結像光学系
と、 該像に収束する光線の、光軸近傍から周辺に至
る部分を反射するミラーと、 該反射された光線の光量分布の、前記光軸の半
径方向の重心位置に対応した信号を生成するため
の光電センサとを含み、 測定対象物の前記光軸方向の変位に対応した変
位信号を生成することを特徴とする非接触変位計
。 (2) 前記光電センサが、前記光軸の半径方向に
２分割された受光素子である実用新案登録請求の
範囲第１項記載の非接触変位形。 (3) 前記光電センサが、前記光軸の半径方向に
沿つて配設された１次元半導体位置検出器である
実用新案登録請求の範囲第１項記載の非接触変位
計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15622487U JPH0161608U (ja) | 1987-10-13 | 1987-10-13 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15622487U JPH0161608U (ja) | 1987-10-13 | 1987-10-13 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0161608U true JPH0161608U (ja) | 1989-04-19 |
Family
ID=31434572
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15622487U Pending JPH0161608U (ja) | 1987-10-13 | 1987-10-13 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0161608U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0394113A (ja) * | 1989-06-28 | 1991-04-18 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 位置検出装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6217016A (ja) * | 1985-07-16 | 1987-01-26 | Lion Corp | ゼオライトの製造方法 |
-
1987
- 1987-10-13 JP JP15622487U patent/JPH0161608U/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6217016A (ja) * | 1985-07-16 | 1987-01-26 | Lion Corp | ゼオライトの製造方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0394113A (ja) * | 1989-06-28 | 1991-04-18 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 位置検出装置 |