JPH0368036U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は実施例１のストツパ付圧力センサの断
面図、第２図は実施例２のストツパーおよび、脈
動排除のセンサーの断面図である。 １……ハウジング、１ａ……センサ取付ねじ部
、１ｂ……中心孔、２……感圧部ハウジング、２
ａ……ストツパー、２ｂ……ダイヤフラム押え板
、２ｃ……連結孔、２ｄ……シリコーンオイル、
３……金属ダイヤフラム、４……シリコーンオイ
ル封入パイプ、５ａ……金属ガラスホルダー、５
ｂ……低融点ガラス、５ｃ……金属リング、６ａ
……半導体歪ゲージ、６ｂ……ガラス台、７……
増幅回路基板、８……カバー、９……大気導入孔
、１０……リード線、１１……金線、１２……シ
リコーンゲル。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 圧力を電気信号に変換する半導体歪ゲージの
   裏面と金属ダイヤフラムとを対向離間せしめて、
   その間に形成される空間にシリコーンオイルを封
   入し、上記半導体歪ゲージによつて形成される感
   圧部をハウジング内に収納し、外縁つきベースで
   覆い、該外縁つきベース内に集積回路を収納し、
   集積回路とゲージを連結し、かつゲージ表面（抵
   抗拡散面）を大気に開方したことを特徴とする半
   導体圧力変換器。 ２ 前記金属ダイヤフラムは圧力により変形する
   ため感圧部にダイヤフラムのストツパーを有する
   特許請求の範囲第１項記載の半導体圧力変換器。 ３ 前記半導体歪ゲージはガラス台に固着し、こ
   のガラス台は、低融点ガラスにて金属ガラスホル
   ダに固着され、これらゲージブクミは金属リング
   を介し塑性流動を利用し感圧部ハウジングに固着
   され、かつ、ハウジングは圧力媒体（例えばエン
   ジンオイル、ミツシヨンオイルなど）に連通せし
   める中心孔を有するネジ管を一体的に連設したも
   のであることを特徴とする半導体圧力変換器。