JPH0368149A - Icパッケージ - Google Patents
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- JPH0368149A JPH0368149A JP1202890A JP20289089A JPH0368149A JP H0368149 A JPH0368149 A JP H0368149A JP 1202890 A JP1202890 A JP 1202890A JP 20289089 A JP20289089 A JP 20289089A JP H0368149 A JPH0368149 A JP H0368149A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はIC実装用フィルムキャリヤに係わり、さらに
詳しくはそのベースフィルム材および接着剤の改良に関
する。
詳しくはそのベースフィルム材および接着剤の改良に関
する。
従来のT A B (Tape Automated
Bonding)用フィルムキャリヤは、典型的には、
第10図に示すように導体(1)を接着層く2)を介し
てベースフィルム(3)で保持した構造(3層構造)で
あった。
Bonding)用フィルムキャリヤは、典型的には、
第10図に示すように導体(1)を接着層く2)を介し
てベースフィルム(3)で保持した構造(3層構造)で
あった。
これは、ICチップ(4〉周辺のベースフィルム(3)
によって、インナーリード(5)及びアウターリード(
6〉の位置ずれを防止し、インナーリードボンディング
及びアウターリードボンディングの歩留を獲保している
為であり、特にファインピッチパターンを要求される多
ビンIC用フィルムキャリャにおいては必要不可欠であ
る。また、フィルムキャリヤ(7)上に抵抗、コンデン
サ、ダイオードなどのチップ部品を表面実装する際にも
必要なものである。T A、 B用フィルムキャリヤと
してはそのほか導体を接着剤なしでベースフィルムに直
接に付けた構造(この構造は接着剤を用いる3層テープ
に対して2層テープと呼ばれる)もある。
によって、インナーリード(5)及びアウターリード(
6〉の位置ずれを防止し、インナーリードボンディング
及びアウターリードボンディングの歩留を獲保している
為であり、特にファインピッチパターンを要求される多
ビンIC用フィルムキャリャにおいては必要不可欠であ
る。また、フィルムキャリヤ(7)上に抵抗、コンデン
サ、ダイオードなどのチップ部品を表面実装する際にも
必要なものである。T A、 B用フィルムキャリヤと
してはそのほか導体を接着剤なしでベースフィルムに直
接に付けた構造(この構造は接着剤を用いる3層テープ
に対して2層テープと呼ばれる)もある。
また、ベースフィルムの両面に導体を設けた両面フィル
ムキャリヤも知られる一方、ベースフィルムと導体とス
ルーホールからなる多層構造のフィルムキャリヤも知ら
れており、その応用としてグランド・テープ、エアレア
・テープ、さらにはビン・グリッド・アレイ(PGA)
タイプなども検討されている。
ムキャリヤも知られる一方、ベースフィルムと導体とス
ルーホールからなる多層構造のフィルムキャリヤも知ら
れており、その応用としてグランド・テープ、エアレア
・テープ、さらにはビン・グリッド・アレイ(PGA)
タイプなども検討されている。
このようなフィルムキャリヤの導体としては銅箔、ベー
スフィルムとしてはポリイミドフィルム、ガラスクロス
エポキシレジン、ガラスクロスBTレジン、接着剤とし
てはエポキシ系接着剤が一般的に用いられている。
スフィルムとしてはポリイミドフィルム、ガラスクロス
エポキシレジン、ガラスクロスBTレジン、接着剤とし
てはエポキシ系接着剤が一般的に用いられている。
上記の如き従来のフィルムキャリヤでは、誘電率がそれ
ぞれポリイミド3.2〜3.6、ガラスクロスエポキシ
レジン4.7〜5.0、ガラスクロスBTレジン3.7
〜3.9と高いために、実装するICチップと基板間の
信号伝送速度に限界があり、高速化の要求を充分に満た
すことができずにいる。
ぞれポリイミド3.2〜3.6、ガラスクロスエポキシ
レジン4.7〜5.0、ガラスクロスBTレジン3.7
〜3.9と高いために、実装するICチップと基板間の
信号伝送速度に限界があり、高速化の要求を充分に満た
すことができずにいる。
そこで、本発明は信号伝送速度に優れたIC実装用フィ
ルムキャリヤを提供することを目的とする。
ルムキャリヤを提供することを目的とする。
本発明は、上記目的を達成するために、導体と絶縁性ベ
ースフィルムを備えたIC実装用フィルムキャリヤにお
いて、ベースフィルムが多孔質樹脂シートを含むことを
特徴とするIC実装用フィルムキャリヤを提供する。す
なわち、ベースフィルムの少なくとも1部に多孔質樹脂
シートを用いるものである。
ースフィルムを備えたIC実装用フィルムキャリヤにお
いて、ベースフィルムが多孔質樹脂シートを含むことを
特徴とするIC実装用フィルムキャリヤを提供する。す
なわち、ベースフィルムの少なくとも1部に多孔質樹脂
シートを用いるものである。
フィルムキャリヤの内部構成及びIC実装への応用形態
はベースフィルムの少なくとも1部に多孔質樹脂シート
を用いている限り、特に脹定されない。すなわち、1層
のベースフィルム自体は多孔質樹脂シートのみから構成
されても、充実樹脂シートとの積層構造でもよく、また
多層の場合にそのすべて又は1部のベースフィルムが多
孔質樹脂シートからなることができる。さらに、IC実
装の形態として、単純なTABテープとしての使用のほ
か、複雑な多層フィルムキャリヤとして使用してもよい
。
はベースフィルムの少なくとも1部に多孔質樹脂シート
を用いている限り、特に脹定されない。すなわち、1層
のベースフィルム自体は多孔質樹脂シートのみから構成
されても、充実樹脂シートとの積層構造でもよく、また
多層の場合にそのすべて又は1部のベースフィルムが多
孔質樹脂シートからなることができる。さらに、IC実
装の形態として、単純なTABテープとしての使用のほ
か、複雑な多層フィルムキャリヤとして使用してもよい
。
接着剤やボッティング剤(封止剤)を使用してもよい。
本発明の特に好ましい態様では、ベースフィルムに多孔
質ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)シートを用
いる。PTFEの誘電率は2,1、多孔質PTFEでは
1.2という低さであり、信号伝送速度向上の効果が著
しい。同じ理由から、接着剤や封止剤にもふっ素系樹脂
(ε1=2〜3)を用いることが好ましい。同様に、P
TFE充実シートの使用も好ましい。
質ポリテトラフルオロエチレン(PTFE)シートを用
いる。PTFEの誘電率は2,1、多孔質PTFEでは
1.2という低さであり、信号伝送速度向上の効果が著
しい。同じ理由から、接着剤や封止剤にもふっ素系樹脂
(ε1=2〜3)を用いることが好ましい。同様に、P
TFE充実シートの使用も好ましい。
ベースフィルムを多孔質にすると、空気の誘電率が低い
ので、フィルムの誘電率を低くすることができる。さら
に、多孔質PTFEを用いることによってさらに誘電率
を低下することができる。多孔質樹脂シートは柔軟性に
富んでいるので、導体とベースフィルムの線膨張係数の
差により生じる熱応力の緩和にも寄与する。
ので、フィルムの誘電率を低くすることができる。さら
に、多孔質PTFEを用いることによってさらに誘電率
を低下することができる。多孔質樹脂シートは柔軟性に
富んでいるので、導体とベースフィルムの線膨張係数の
差により生じる熱応力の緩和にも寄与する。
図面を参照して本発明の詳細な説明する。
第1図を参照すると、導体(1)下にふっ素糸の接着層
(2)を介してFTFB多孔質シート(9〉を配置する
。これにより、インナーリード(5)及びアウターリー
ド(6)の位置ずれを防止し、かつPTFIE多孔質シ
ート(9)の優れた誘電特性(ε、=1.2)により、
フィルムキャリヤ(7)上の導体部(1)における信号
伝達の遅延を低減できる。また、PTFE多孔質シート
(9)は柔軟性に富んでいる為、導体(1)とベースフ
ィルム(3)の線膨張係数の差により生じる熱応力の緩
和にも寄与する。
(2)を介してFTFB多孔質シート(9〉を配置する
。これにより、インナーリード(5)及びアウターリー
ド(6)の位置ずれを防止し、かつPTFIE多孔質シ
ート(9)の優れた誘電特性(ε、=1.2)により、
フィルムキャリヤ(7)上の導体部(1)における信号
伝達の遅延を低減できる。また、PTFE多孔質シート
(9)は柔軟性に富んでいる為、導体(1)とベースフ
ィルム(3)の線膨張係数の差により生じる熱応力の緩
和にも寄与する。
第2図を参照すると、ベースフィルムを多孔質樹脂シー
トと充実樹脂シートとで構成した例が示される。すなわ
ち、導体(1)下にふっ素糸接着剤(2) 、F’TF
8多孔質シート(9)、ふっ素糸接着剤(2)、ポリイ
ミドベースフィルム(3)を設け、フィルムキャリヤ(
7)を形成する。FTFB多孔質シート(9)は電気特
性の向上に寄与し、ポリイミドベースフィルム(3)は
フィルムキャリヤ全体の機械的強度の向上、加熱による
PTFE多孔質シート(9)の収縮を低減する働きをす
る。
トと充実樹脂シートとで構成した例が示される。すなわ
ち、導体(1)下にふっ素糸接着剤(2) 、F’TF
8多孔質シート(9)、ふっ素糸接着剤(2)、ポリイ
ミドベースフィルム(3)を設け、フィルムキャリヤ(
7)を形成する。FTFB多孔質シート(9)は電気特
性の向上に寄与し、ポリイミドベースフィルム(3)は
フィルムキャリヤ全体の機械的強度の向上、加熱による
PTFE多孔質シート(9)の収縮を低減する働きをす
る。
また、電気特性に優れたふっ素糸接着剤を用いて、導体
(1〉とFTFB多孔質シー) (9) 、PTFB多
孔質シート (9)とポリイミドベースフィルム(3)
の間を接合している。
(1〉とFTFB多孔質シー) (9) 、PTFB多
孔質シート (9)とポリイミドベースフィルム(3)
の間を接合している。
このようなベースフィルムは、例えば、第3図に示した
工程に従って作製する。多孔質フィルムと充実フィルム
を接着後、スリット加工、スプロケット穴加工、デバイ
ス孔加工を経て、銅箔を熱間ロールで積層し、銅箔のパ
ターニングを行ない、最後にバンプ(8)形成のために
メツキを行なう。
工程に従って作製する。多孔質フィルムと充実フィルム
を接着後、スリット加工、スプロケット穴加工、デバイ
ス孔加工を経て、銅箔を熱間ロールで積層し、銅箔のパ
ターニングを行ない、最後にバンプ(8)形成のために
メツキを行なう。
第3図の工程で第2図に示す構造のフィルムキャリヤを
作製して、フィルムキャリヤ全体の誘電率は1.8〜1
.9であった。
作製して、フィルムキャリヤ全体の誘電率は1.8〜1
.9であった。
第4図を参照すると、スルーホールを有する両面テープ
の構造例が示されている。第1導体層(11)の下にP
TFE!多孔質シート(9)を配置し、PTFB多孔質
シート (9〉はポリイミドベースフィルム(3)と接
層されており、第2導体層〈12〉はICチップ(4)
のグランド端子をスルーホール(13〉を介して接続し
ている。この構造により、マイクロストリップライン構
造をとる両面タイプフィルムキャリヤの特徴である、イ
ンピーダンスマツチング、クロストーク低減、アースイ
ンピーダンス低減効果をより有利に得ることができる。
の構造例が示されている。第1導体層(11)の下にP
TFE!多孔質シート(9)を配置し、PTFB多孔質
シート (9〉はポリイミドベースフィルム(3)と接
層されており、第2導体層〈12〉はICチップ(4)
のグランド端子をスルーホール(13〉を介して接続し
ている。この構造により、マイクロストリップライン構
造をとる両面タイプフィルムキャリヤの特徴である、イ
ンピーダンスマツチング、クロストーク低減、アースイ
ンピーダンス低減効果をより有利に得ることができる。
また、同様にして、信号ライン、電源ライン、接地ライ
ンをそれぞれ分離した3層以上の導体層を有する多層タ
イプのフィルムキャリヤにおいても上記効果を得ること
が可能である。
ンをそれぞれ分離した3層以上の導体層を有する多層タ
イプのフィルムキャリヤにおいても上記効果を得ること
が可能である。
なお、導体は必ずしも銅箔の接着によらなくてもよく、
ベースフィルム、特にFTFB多孔質シート上にスパッ
タリング、無電解メツキなどの方法により形成してもよ
い。接着剤を介さないので電気特性が向上する。
ベースフィルム、特にFTFB多孔質シート上にスパッ
タリング、無電解メツキなどの方法により形成してもよ
い。接着剤を介さないので電気特性が向上する。
第5図及び第6図を参照すると、第1.2及び4図に示
したPTFE多孔質シート(9)を導体(1)の下に配
置したフィルムキャリヤにおいて、ICチップ(4)の
電極パッドとフィルムキャリヤのインナーリード(5)
とをインナーリードボンディングした後、電極パッドを
含むICチップ表面のみを誘電率4以下のふっ素系樹脂
、エポキシ系樹脂などのポツティング封止材り14)で
チップコートした構造(第5図)、ICチップ(4)実
装部全体を前記樹脂を用いポツティング又はトランスフ
ァーモールドにより封止した構造(第6図)が示される
。このような低誘電率樹脂で封止することにより、電気
特性を損うことなく耐湿性の向上を実現することができ
る。
したPTFE多孔質シート(9)を導体(1)の下に配
置したフィルムキャリヤにおいて、ICチップ(4)の
電極パッドとフィルムキャリヤのインナーリード(5)
とをインナーリードボンディングした後、電極パッドを
含むICチップ表面のみを誘電率4以下のふっ素系樹脂
、エポキシ系樹脂などのポツティング封止材り14)で
チップコートした構造(第5図)、ICチップ(4)実
装部全体を前記樹脂を用いポツティング又はトランスフ
ァーモールドにより封止した構造(第6図)が示される
。このような低誘電率樹脂で封止することにより、電気
特性を損うことなく耐湿性の向上を実現することができ
る。
第7〜9図に多層構造のフィルムキャリヤの実装例を示
す。第7図はグランド・テープと呼ばれる構造で、基本
的には第4図の構造と類似しているが、フィルムキャリ
ヤが多層になっている。同図中、参照数字は第7図と同
じであるが、導体は1で示した。
す。第7図はグランド・テープと呼ばれる構造で、基本
的には第4図の構造と類似しているが、フィルムキャリ
ヤが多層になっている。同図中、参照数字は第7図と同
じであるが、導体は1で示した。
第8図はエアレア・テープと呼ばれる構造で、ICをデ
バイスホール中にではなくフィルムキャリヤ上にフリッ
プチップ実装するものである。
バイスホール中にではなくフィルムキャリヤ上にフリッ
プチップ実装するものである。
第9図はビングリッドアレイ(PGA) と呼ばれる
構造で、その中でもプラスチックPGAに属する構造の
ものである;ICチップの実装は、ワイヤボンディング
法、TAB法、フリップチップ法などで行い、やはり本
発明のフィルムキャリアの応用例である。
構造で、その中でもプラスチックPGAに属する構造の
ものである;ICチップの実装は、ワイヤボンディング
法、TAB法、フリップチップ法などで行い、やはり本
発明のフィルムキャリアの応用例である。
なお、第7〜9図の構造で、ベースフィルムの少なくと
も一部にPTFB多孔質シートを用いるが、強度が許す
限りPTFE多孔質シートを多く用いて誘電率の低下を
図ることが望ましい。また、各図においてICは1個の
みを示したが、複数のICを実装してもよい。
も一部にPTFB多孔質シートを用いるが、強度が許す
限りPTFE多孔質シートを多く用いて誘電率の低下を
図ることが望ましい。また、各図においてICは1個の
みを示したが、複数のICを実装してもよい。
本発明によれば、多孔質樹脂シート、特にPTFE多孔
質シートをベースフィルムに、特に導体下に用い、また
接着剤としてもふっ素系樹脂を用いることによって、実
装するICチップとキャリヤ間の信号伝送速度の向上及
びノイズの低減を実現することができる。
質シートをベースフィルムに、特に導体下に用い、また
接着剤としてもふっ素系樹脂を用いることによって、実
装するICチップとキャリヤ間の信号伝送速度の向上及
びノイズの低減を実現することができる。
第1図、第2図、第4〜9図は本発明による1’ C実
装したフィルムキャリヤの実施例を示す模式図であり、
第3図は第2図のフィルムキャリヤの製造工程を示す。 第10図は従来例のIC実装フィルムキャリヤの説明図
である。 1・・・導体、 2・・・接着層、3・・・
ベースフィルム、 4・・・ICチップ、5・・・イ
ンナーリード、 6・・・アウターリード、7・・・
フィルムキャリヤ、8・・・バンブ、9・・・PTFE
多孔質シート、 10・・・両面タイプフィルムキャリヤ、11・・・第
1導体層、 12・・・第2導体層、13・・・ス
ルーホーノベ 15・・・ワイヤ、 14・・・封止材、 16・・・ビン。
装したフィルムキャリヤの実施例を示す模式図であり、
第3図は第2図のフィルムキャリヤの製造工程を示す。 第10図は従来例のIC実装フィルムキャリヤの説明図
である。 1・・・導体、 2・・・接着層、3・・・
ベースフィルム、 4・・・ICチップ、5・・・イ
ンナーリード、 6・・・アウターリード、7・・・
フィルムキャリヤ、8・・・バンブ、9・・・PTFE
多孔質シート、 10・・・両面タイプフィルムキャリヤ、11・・・第
1導体層、 12・・・第2導体層、13・・・ス
ルーホーノベ 15・・・ワイヤ、 14・・・封止材、 16・・・ビン。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、導体と絶縁性ベースフィルムを備えたIC実装用フ
ィルムキャリヤにおいて、ベースフィルムが多孔質樹脂
シートを含むことを特徴とするIC実装用フィルムキャ
リヤ。 2、ベースフィルムが多孔質樹脂シートと充実樹脂シー
トとの積層シートからなる請求項1記載のIC実装用フ
ィルムキャリヤ。 3、2層以上の導体と絶縁性ベースフィルムを積層して
成るIC実装用フィルムキャリヤにおいて、少なくとも
1層のベースフィルムが多孔質樹脂シートを含むことを
特徴とするIC実装用フィルムキャリヤ。 4、多孔質樹脂シートがポリテトラフルオロエチレン製
である請求項1〜3のいずれか1項に記載のIC実装用
フィルムキャリヤ。 5、導体とベースフィルム間またはベースフィルムを構
成するシート間の少なくとも1箇所をふっ素系樹脂で接
着してなる請求項1〜4のいずれか1項に記載のIC実
装用フィルムキャリヤ。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1202890A JP3061059B2 (ja) | 1989-08-07 | 1989-08-07 | Icパッケージ |
| EP19900113613 EP0412323A3 (en) | 1989-08-07 | 1990-07-16 | A film carrier for use in integrated circuit mounting |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1202890A JP3061059B2 (ja) | 1989-08-07 | 1989-08-07 | Icパッケージ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0368149A true JPH0368149A (ja) | 1991-03-25 |
| JP3061059B2 JP3061059B2 (ja) | 2000-07-10 |
Family
ID=16464899
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1202890A Expired - Lifetime JP3061059B2 (ja) | 1989-08-07 | 1989-08-07 | Icパッケージ |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0412323A3 (ja) |
| JP (1) | JP3061059B2 (ja) |
Cited By (3)
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| US6888230B1 (en) * | 1998-10-28 | 2005-05-03 | Renesas Technology Corp. | Semiconductor device, semiconductor wafer, semiconductor module, and a method of manufacturing semiconductor device |
| EP2056655A4 (en) * | 2007-09-03 | 2011-03-02 | Panasonic Corp | CIRCUIT BOARD |
Families Citing this family (7)
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| WO1994018701A1 (en) * | 1993-02-05 | 1994-08-18 | W.L. Gore & Associates, Inc. | Stress-resistant semiconductor chip-circuit board interconnect |
| US5525834A (en) * | 1994-10-17 | 1996-06-11 | W. L. Gore & Associates, Inc. | Integrated circuit package |
| EP0831528A3 (en) * | 1996-09-10 | 1999-12-22 | Hitachi Chemical Company, Ltd. | Multilayer wiring board for mounting semiconductor device and method of producing the same |
| JP3639088B2 (ja) | 1997-06-06 | 2005-04-13 | 株式会社ルネサステクノロジ | 半導体装置及び配線テープ |
| KR100298897B1 (ko) * | 1998-12-23 | 2001-09-22 | 이형도 | 인쇄회로기판제조방법 |
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Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60214941A (ja) * | 1984-04-10 | 1985-10-28 | 株式会社 潤工社 | プリント基板 |
| JPS60225750A (ja) * | 1984-04-24 | 1985-11-11 | 株式会社 潤工社 | プリント基板 |
| US5136123A (en) * | 1987-07-17 | 1992-08-04 | Junkosha Co., Ltd. | Multilayer circuit board |
-
1989
- 1989-08-07 JP JP1202890A patent/JP3061059B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1990
- 1990-07-16 EP EP19900113613 patent/EP0412323A3/en not_active Withdrawn
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Also Published As
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| EP0412323A2 (en) | 1991-02-13 |
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| JP3061059B2 (ja) | 2000-07-10 |
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