JPH0368238B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0368238B2 JPH0368238B2 JP58078872A JP7887283A JPH0368238B2 JP H0368238 B2 JPH0368238 B2 JP H0368238B2 JP 58078872 A JP58078872 A JP 58078872A JP 7887283 A JP7887283 A JP 7887283A JP H0368238 B2 JPH0368238 B2 JP H0368238B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic field
- heating device
- rotor
- forming means
- housing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B6/00—Heating by electric, magnetic or electromagnetic fields
- H05B6/02—Induction heating
- H05B6/10—Induction heating apparatus, other than furnaces, for specific applications
- H05B6/105—Induction heating apparatus, other than furnaces, for specific applications using a susceptor
- H05B6/109—Induction heating apparatus, other than furnaces, for specific applications using a susceptor using magnets rotating with respect to a susceptor
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04D—NON-POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04D19/00—Axial-flow pumps
- F04D19/02—Multi-stage pumps
- F04D19/04—Multi-stage pumps specially adapted to the production of a high vacuum, e.g. molecular pumps
- F04D19/042—Turbomolecular vacuum pumps
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05B—ELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
- H05B6/00—Heating by electric, magnetic or electromagnetic fields
- H05B6/02—Induction heating
- H05B6/10—Induction heating apparatus, other than furnaces, for specific applications
- H05B6/105—Induction heating apparatus, other than furnaces, for specific applications using a susceptor
- H05B6/108—Induction heating apparatus, other than furnaces, for specific applications using a susceptor for heating a fluid
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
- Structures Of Non-Positive Displacement Pumps (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、ポンプ、特にターボ分子ポンプの加
熱装置に関する。
熱装置に関する。
ターボ分子ポンプは高真空又は超高真空を形成
するための真空ポンプである。排気に要する時間
を短縮するために高真空側の表面のデソープシヨ
ン（desorption）を加速する必要がある。それら
の表面は、ポンプハウジングと、ロータと、ロー
タデイスクすなわち羽根と、スターデイスクすな
わち羽根よりなる。これらの表面のデソープシヨ
ンは該表面を加熱することにより加速される。こ
れ迄、該加熱はジヤケツトヒータの形体よりなる
電気抵抗により行われてきた。
するための真空ポンプである。排気に要する時間
を短縮するために高真空側の表面のデソープシヨ
ン（desorption）を加速する必要がある。それら
の表面は、ポンプハウジングと、ロータと、ロー
タデイスクすなわち羽根と、スターデイスクすな
わち羽根よりなる。これらの表面のデソープシヨ
ンは該表面を加熱することにより加速される。こ
れ迄、該加熱はジヤケツトヒータの形体よりなる
電気抵抗により行われてきた。
この方法では、高真空側におけるターボ分子ポ
ンプのハウジングの表面は比較的迅速に加温され
る。しかしながら、一方において高真空側におけ
るロータとステータの表面は、ハウジングとの十
分な接触がないために、また真空中において熱伝
導性がないために、非常にゆつくり加温されるに
すぎない。加温は本質的に高真空側における加熱
表面から発散する放射によつてのみ生ずる。限ら
れた加熱能力しか得られず、又ハウジングは或温
度以上に加熱されてはならないので、ロータとス
テータの表面の加熱時間に影響を与えることはで
きない。現在、ロータの加熱時間は約６時間にも
及ぶ。
ンプのハウジングの表面は比較的迅速に加温され
る。しかしながら、一方において高真空側におけ
るロータとステータの表面は、ハウジングとの十
分な接触がないために、また真空中において熱伝
導性がないために、非常にゆつくり加温されるに
すぎない。加温は本質的に高真空側における加熱
表面から発散する放射によつてのみ生ずる。限ら
れた加熱能力しか得られず、又ハウジングは或温
度以上に加熱されてはならないので、ロータとス
テータの表面の加熱時間に影響を与えることはで
きない。現在、ロータの加熱時間は約６時間にも
及ぶ。
ターボ分子ポンプを加熱するための上記従来方
法の他の欠点は、ロータの速度が低下したときに
加熱を停止するために安全措置がとられなければ
ならないことである。
法の他の欠点は、ロータの速度が低下したときに
加熱を停止するために安全措置がとられなければ
ならないことである。
本発明の目的は、ターボ分子ポンプのロータお
よびステータの表面が在来の装置よりもより迅速
かつ安全に加温できる装置を提供することにあ
る。
よびステータの表面が在来の装置よりもより迅速
かつ安全に加温できる装置を提供することにあ
る。
本発明によれば、ポンプのための加熱装置は、
ロータの軸に直角に走行する一定磁界の磁力線を
形成する磁界形成手段を備えている。
ロータの軸に直角に走行する一定磁界の磁力線を
形成する磁界形成手段を備えている。
本発明はまた、ロータと、複数の高真空側部品
と、該部品の加熱手段とを備え、該加熱手段はロ
ータの軸に直角に走行する一定磁界の磁力線を形
成する磁界形成手段よりなるターボ分子ポンプを
提供する。
と、該部品の加熱手段とを備え、該加熱手段はロ
ータの軸に直角に走行する一定磁界の磁力線を形
成する磁界形成手段よりなるターボ分子ポンプを
提供する。
以下、添附図面に沿つて本発明の好適な実施例
を説明する。
を説明する。
基本的に本発明は、一定磁界の磁力線がポンプ
のロータ軸に直角に走る磁界によつてポンプ部品
が加熱されるポンプ用加熱装置を提供する。
のロータ軸に直角に走る磁界によつてポンプ部品
が加熱されるポンプ用加熱装置を提供する。
このようにして、ロータはまずロータ自身の回
転による磁界との相互作用によつて形成される渦
電流により加熱される。
転による磁界との相互作用によつて形成される渦
電流により加熱される。
ロータとステータのデイスクはは互いに対向す
るようにして交互に配置されているので、放射に
よるロータデイスクからステータデイスクへの熱
伝達のための条件は理想的である。
るようにして交互に配置されているので、放射に
よるロータデイスクからステータデイスクへの熱
伝達のための条件は理想的である。
磁界は永久磁石か又は電磁石により形成され
る。両者の組合わせも可能である。電磁石を使用
するときは、電磁石の界磁巻線の電気抵抗を同時
にポンプハウジングの加熱にも使用できる。
る。両者の組合わせも可能である。電磁石を使用
するときは、電磁石の界磁巻線の電気抵抗を同時
にポンプハウジングの加熱にも使用できる。
図面を参照すると、第１図および第２図は、ハ
ウジング１と、ロータ２と、ロータデイスクすな
わち羽根３とを備えた一方向ターボ分子ポンプを
示している。ステータデイスクすなわち羽根４は
ロータデイスクの間にくるように交互に配置され
ている。ポンプはさらに、高真空側の連結フラン
ジすなわちソケツト５と、ベアリング８と駆動モ
ータ９とを含む。ハウジング１の外周には磁界形
成用の永久磁石６又は電磁石７が配置され、該磁
石の磁力線はロータ軸に直角に走る。磁界はまた
永久磁石と電磁石との組合わせによつてもつくら
れる。
ウジング１と、ロータ２と、ロータデイスクすな
わち羽根３とを備えた一方向ターボ分子ポンプを
示している。ステータデイスクすなわち羽根４は
ロータデイスクの間にくるように交互に配置され
ている。ポンプはさらに、高真空側の連結フラン
ジすなわちソケツト５と、ベアリング８と駆動モ
ータ９とを含む。ハウジング１の外周には磁界形
成用の永久磁石６又は電磁石７が配置され、該磁
石の磁力線はロータ軸に直角に走る。磁界はまた
永久磁石と電磁石との組合わせによつてもつくら
れる。
第３図および第４図は本発明による加熱装置を
備えた２方向ターボ分子ポンプを示す。高真空側
部分は特別なハウジング１から形成されている。
ここではロータを加熱するための必要な磁界を形
成する永久磁石は、電磁石又はそれらの組合わせ
が設けられている。
備えた２方向ターボ分子ポンプを示す。高真空側
部分は特別なハウジング１から形成されている。
ここではロータを加熱するための必要な磁界を形
成する永久磁石は、電磁石又はそれらの組合わせ
が設けられている。
ターボ分子ポンプの高真空側を加温するための
本発明による上述した装置は在来の装置に比べ次
のような利点を有する。
本発明による上述した装置は在来の装置に比べ次
のような利点を有する。
ロータは渦電流により直接かつ迅速に加熱され
る。ステータデイスクがロータデイスクに対向配
置されているので、熱は直接放射によつてステー
タデイスクに伝達可能である。ロータの速度低下
を引き起す障害があつた場合には、ロータの加熱
が低減される。もしロータが停止した場合は、渦
電流が生じないので加熱作用はなくなる。
る。ステータデイスクがロータデイスクに対向配
置されているので、熱は直接放射によつてステー
タデイスクに伝達可能である。ロータの速度低下
を引き起す障害があつた場合には、ロータの加熱
が低減される。もしロータが停止した場合は、渦
電流が生じないので加熱作用はなくなる。
上述した本発明は種々の変形、変化および応用
に適合し得る。
に適合し得る。
第１図は本発明による加熱装置を備えた一方向
ターボ分子ポンプの断面図、第２図は第１図の概
略平面図、第３図は本発明による加熱装置を備え
た二方向ターボ分子ポンプ、第４図は第３図の線
Ａ−Ａに沿う断面図を示す。
ターボ分子ポンプの断面図、第２図は第１図の概
略平面図、第３図は本発明による加熱装置を備え
た二方向ターボ分子ポンプ、第４図は第３図の線
Ａ−Ａに沿う断面図を示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ ロータを有するターボ分子ポンプのための加
熱装置であつて、該ロータの軸に直角に走る一定
磁界の磁力線を生ぜしめる磁界形成手段を備えて
なるターボ分子ポンプ用加熱装置。 ２ 前記磁界形成手段が１つ又はそれ以上の永久
磁石よりなる第１項の加熱装置。 ３ 前記磁界形成手段が１つ又はそれ以上の磁石
よりなる第１項の加熱装置。 ４ 前記ターボ分子ポンプがハウジングおよび又
は他の非回転部分を有し、前記各電磁石は界磁巻
線を備え、前記ハウジングおよび又は他の非回転
部分が界電磁巻線の電気抵抗熱により加熱される
第３項の加熱装置。 ５ 当該加熱装置がターボ分子ポンプの高真空側
に設けられている第１項の加熱装置。 ６ ロータ軸に直角に走る一定磁界の磁力線を生
ぜしめる磁界形成手段を備えたターボ分子ポンプ
用加熱装置と、ハウジングと、高真空側とを有
し、該ハウジングはポンプの高真空側にフランジ
を有し、該磁界形成手段が前記フランジの直下に
設けられている一方向ターボ分子ポンプ。 ７ ロータ軸に直角に走る一定磁界の磁力線を生
ぜしめる磁界形成手段を備えたターボ分子ポンプ
用加熱装置と、球形ハウジングと、高真空側とを
有し、該磁界形成手段はポンプの高真空側で該ハ
ウジングに設けられている二方向ターボ分子ポン
プ。 ８ ロータと、複数の高真空側部品と、該部品の
ための加熱装置とを備え、該加熱装置はロータ軸
に直角に走る一定磁界の磁力線をつくる磁界形成
手段よりなるターボ分子ポンプ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE3216404A DE3216404C2 (de) | 1982-05-03 | 1982-05-03 | Heizung für eine Turbo-Molekularpumpe |
| DE3216404.1 | 1982-05-03 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5932697A JPS5932697A (ja) | 1984-02-22 |
| JPH0368238B2 true JPH0368238B2 (ja) | 1991-10-25 |
Family
ID=6162517
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58078872A Granted JPS5932697A (ja) | 1982-05-03 | 1983-05-04 | ターボ分子ポンプ用加熱装置および加熱装置を備えたターボ分子ポンプ |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5932697A (ja) |
| CH (1) | CH662691A5 (ja) |
| DE (1) | DE3216404C2 (ja) |
| FR (1) | FR2526090B1 (ja) |
| GB (1) | GB2119609B (ja) |
| IT (1) | IT1161046B (ja) |
Families Citing this family (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6411393U (ja) * | 1987-07-09 | 1989-01-20 | ||
| JPS6419198A (en) * | 1987-07-15 | 1989-01-23 | Hitachi Ltd | Vacuum pump |
| FR2634829B1 (fr) * | 1988-07-27 | 1990-09-14 | Cit Alcatel | Pompe a vide |
| US5914065A (en) * | 1996-03-18 | 1999-06-22 | Alavi; Kamal | Apparatus and method for heating a fluid by induction heating |
| JP3982656B2 (ja) * | 1998-05-19 | 2007-09-26 | 臼井国際産業株式会社 | マグネット式ヒーター |
| DE19858137B4 (de) * | 1998-12-16 | 2016-12-15 | BSH Hausgeräte GmbH | Heizung zum Erwärmen der Spülflüssigkeit in einer Geschirrspülmaschine |
| GB2362306A (en) * | 2000-02-19 | 2001-11-14 | Malcolm Robert Snowball | Eddy current heating of fluid flow impeller |
| US7573009B2 (en) | 2001-07-24 | 2009-08-11 | Magtec Energy, Llc | Controlled magnetic heat generation |
| US7339144B2 (en) | 2001-07-24 | 2008-03-04 | Magtec Llc | Magnetic heat generation |
| JP2004537147A (ja) * | 2001-07-24 | 2004-12-09 | マグ テック エルエルシー | 磁気ヒータ装置及び方法 |
| US7420144B2 (en) | 2002-07-23 | 2008-09-02 | Magtec Llc | Controlled torque magnetic heat generation |
| EP3441617B1 (de) * | 2017-08-09 | 2019-12-25 | Pfeiffer Vacuum Gmbh | Verfahren zum erwärmen eines rotors einer vakuumpumpe |
| JP7756504B2 (ja) | 2021-06-18 | 2025-10-20 | エドワーズ株式会社 | 真空ポンプ |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2566274A (en) * | 1947-06-13 | 1951-08-28 | Eastman Kodak Co | Eddy current heating of rotors |
| US2549362A (en) * | 1948-11-27 | 1951-04-17 | Silto S A Soc | Heating device of the hot-air type |
| DE1106440B (de) * | 1956-02-04 | 1961-05-10 | Max Baermann | Vorrichtung zum Erwaermen des Inhaltes von ganz oder teilweise aus elektrisch bzw. magnetisch gut leitendem Werkstoff bestehenden Behaeltern, insbesondere zum Erhitzen der Speisen in Kochtoepfen, Pfannen od. dgl. mittels eines umlaufenden, mechanisch angetriebenen mehrpoligen Magnetsystems |
| US3014116A (en) * | 1960-06-20 | 1961-12-19 | Macarthur Arthur | Magnetic heater |
| FR81075E (fr) * | 1962-01-23 | 1963-07-26 | Snecma | Pompe à vide turbomoléculaire perfectionnée |
| JPS5017687A (ja) * | 1973-06-13 | 1975-02-25 | ||
| JPS5134441A (en) * | 1974-09-18 | 1976-03-24 | Tomoya Desaki | Ryutai no kanetsuyusohoho |
-
1982
- 1982-05-03 DE DE3216404A patent/DE3216404C2/de not_active Expired
-
1983
- 1983-02-07 CH CH674/83A patent/CH662691A5/de not_active IP Right Cessation
- 1983-04-19 IT IT20671/83A patent/IT1161046B/it active
- 1983-04-28 GB GB08311657A patent/GB2119609B/en not_active Expired
- 1983-05-03 FR FR838307316A patent/FR2526090B1/fr not_active Expired - Lifetime
- 1983-05-04 JP JP58078872A patent/JPS5932697A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| IT1161046B (it) | 1987-03-11 |
| JPS5932697A (ja) | 1984-02-22 |
| FR2526090A1 (fr) | 1983-11-04 |
| GB2119609B (en) | 1985-11-13 |
| GB2119609A (en) | 1983-11-16 |
| FR2526090B1 (fr) | 1990-01-05 |
| IT8320671A0 (it) | 1983-04-19 |
| GB8311657D0 (en) | 1983-06-02 |
| CH662691A5 (de) | 1987-10-15 |
| DE3216404A1 (de) | 1983-11-10 |
| DE3216404C2 (de) | 1984-05-03 |
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