JPH04219496A - きれいな分子真空のための真空ポンプ - Google Patents

きれいな分子真空のための真空ポンプ

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JPH04219496A
JPH04219496A JP3067876A JP6787691A JPH04219496A JP H04219496 A JPH04219496 A JP H04219496A JP 3067876 A JP3067876 A JP 3067876A JP 6787691 A JP6787691 A JP 6787691A JP H04219496 A JPH04219496 A JP H04219496A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はきれいな分子真空のため
の真空ポンプに係る。
【０００２】
【従来の技術】磁気的に支持される真空ポンプは、より
特定的には極めてきれいな、即ちいかなる部品材料もポ
ンプの回転子を支えていないため摩擦による油又は埃の
汚染が全く無い、真空を獲得するために非常に適してい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、回転子
の磁気懸垂並びにその回転駆動を構成する部材は、プレ
ート類、コイル類、焼結材料及び真空下で脱ガスする欠
点をもつ樹脂を固定したものである。この種の脱ガスは
、非常に低い圧力を得ることを妨げ、真空化すべき室を
汚染する。
【０００４】機械的継手は真空内に位置するポンプ部分
を回転駆動及び懸垂部品を含む部分から分離するが、そ
の効果は高速度でしか発揮されず、停止すればゼロとな
る。
【０００５】本発明は、この欠点を是正することを可能
にする真空ポンプを提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、固定子と回転
子を含むきれいな分子真空のための真空ポンプを目的と
し、回転子はポンプに結合された駆動モータによって回
転駆動され、かつ磁気軸受によって支持されており、固
定子の内部隆起を覆う鐘形をなし、駆動モータ及び前記
軸受の固定子部材は前記内部隆起の周縁上に位置してお
り、駆動モータ及び前記軸受の回転子部材は鐘形の前記
回転子の内周縁上に位置しており、非磁性で気密性の材
料でできた第１ライナがモータ及び軸受の前記固定子部
材の上から前記隆起を覆うこと、及び非磁性で気密性の
材料でできた第２ライナが同じく回転子内で駆動モータ
及び軸受の前記回転部分を覆うことを特徴とする。
【０００７】
【実施例】次に、単一図から成る添付図面を参照して、
本発明の１実施例について説明する。
【０００８】図は、２つの部分１Ａ及び１Ｂから成る固
定子と、その部分１Ｂの内部隆起３を覆う鐘形の回転子
２を含む羽根付きターボ分子ポンプを示す。
【０００９】回転子は回転子羽根４を支え、固定子は固
定子羽根５を支える。
【００１０】回転子２は、回転子６とポンプの固定子の
部分１Ｂの隆起３上に取り付けられたその巻線８をもつ
内部固定子７とを含むヒステリシス形電気モータによっ
てその軸ｏｚの回りを回転する。
【００１１】固定子は吸込口９と送出口１０を含む。
【００１２】回転子２は受動軸方向磁気ストッパと能動
ラジアル磁気軸受を含む２個の磁気軸受を用いて固定子
１Ａ−１Ｂ内に磁気的に支持されている。
【００１３】軸方向ストッパは回転子を軸ｏｚに沿って
軸方向に支持し、同じく互いに垂直でありかつ軸ｏｚに
対して垂直な面に位置する軸ｏｘ及びｏｙに沿って回転
角θｘ及びθｙに対してその安定性を保証する。
【００１４】この軸方向ストッパは軸方向に磁化される
リング形の３つの対の永久磁石から成り、各対は矢印の
示すように互いに逆方向に軸方向に磁化される回転子リ
ングと固定子リングを含む。第１の対はリング１１Ａと
１１Ｂから成る。第２の対はリング１２Ａ及び１２Ｂ、
第３の対はリング１３Ａ及び１３Ｂから成る。図から分
かる通り、各対のリングはその隣接対の逆方向にも磁化
される（あるいは中央のリング対についてはその隣接す
る２つの対と逆方向）。この処置は軸受の有効性を増す
ことを可能にする。実際、２対のリングが同一極性の面
によってひとたび連結されると、有効性は、結合され同
一方向に磁化された３つの同じリングに、あるいは厚さ
が３倍の単一リングに等価である。こうしてここでは、
同一極性の面によって連結された２対のリングが２つ存
在する。つまり、第１対は第２対と一緒、第２対は第３
対と一緒で、同一方向に配置された５対と等価である。 それ故、同体積に対してより大きな有効性が得られる。
【００１５】この軸方向ストッパが軸ｏｘに沿って回転
角θｘ、軸ｏｙに沿ってθｙに対して極めて安定的であ
るためには、図の場合のように３対のリングから成る軸
受を、その重心が回転子２の重心Ｏと一致又はほぼ一致
するようにして配置することが極めて有利である。勿論
、磁化リングの組数は３対に限られたものではなく、１
対だけでもよいであろう。
【００１６】ラジアル磁気軸受は能動性で、軸ｏｘ及び
ｏｙに沿って径方向並進運動を制御する。軸受は互いに
電気的に絶縁され、磁気的に断絶されたプレートを重ね
合わせたものから成る、回転子１４とポンプの固定子の
隆起３上に内部的に取り付けられた固定子１５とから成
る。この固定子は軸ｏｘ及びｏｙに沿って電磁力を生じ
るための８個の電磁石１６を含む。４個の位置検出器１
７がこれらの軸ｏｘ及びｏｙに沿って回転子２の径方向
位置を測定することを可能にする。
【００１７】電磁石１６は、位置検出器１７からの情報
により２個の制御回路を用いて標準的な方法で制御され
る。
【００１８】軸ｏｘに従って作用する電磁石のための制
御回路と軸ｏｙに従って作用する電磁石のための制御回
路とが存在する。
【００１９】電気的結合は電気コネクタ２８によって実
行される。
【００２０】ポンプは、完全にきれいな真空を保つため
、あらゆる偶発的な汚染を完全に免れるように補助用機
械的軸受を含まない。
【００２１】さらに本発明によれば、非磁性で気密性の
材料からなる第１ライナ２９が、モータの固定子部材７
，８と磁気軸受の１１Ｂ，１２Ｂ，１３Ｂ及び１５，１
６の上の固定子部分１Ｂの隆起３を覆う。
【００２２】同じく非磁性で気密性の材料の第２ライナ
３０は、同じく駆動モータの回転子部分６と磁気軸受の
１１Ａ，１２Ｂ，１３Ｂ及び１４を覆う。
【００２３】これらのライナ２９及び３０の厚みは僅か
である。例えば、エポキシ樹脂を用いて真空下で接着さ
れるアルミニウム製ライナを用いることができる。
【００２４】また、真空下で接着されるセラミック製ラ
イナを用いることもできる。
【００２５】また、例えばニッケルの真空蒸着による層
をつくることによってこれらのライナを実現することも
できる。
【００２６】
【発明の効果】こうして真空室の汚染を引き起こす恐れ
のある部分を効果的に分離することができる。
【００２７】本発明は使用される磁気軸受の種類とは明
らかに独立しており、能動性ラジアル軸受と受動性軸方
向ストッパを含む前記特定ポンプの場合だけに限ること
なく適用される。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の真空ポンプの概略図である。
【符号の説明】
１Ａ，１Ｂ　　固定子 ２　　回転子 ３　　隆起 ６，７，８　　駆動モータ １１Ａ，１２Ａ，１３Ａ，１４　　回転子部材１１Ｂ，
１２Ｂ，１３Ｂ，１５，１６　　磁気軸受２９　　第１
ライナ ３０　　第２ライナ

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】　　固定子と回転子を含むきれいな分子真
    空のための真空ポンプであって、回転子が、ポンプに結
    合された駆動モータによって回転駆動され、かつ磁気軸
    受によって支持されており、固定子の内部隆起を覆う鐘
    形をなし、駆動モータ及び前記軸受の固定子部材が前記
    内部隆起の周縁上に位置し、駆動モータ及び前記軸受の
    回転子部材が鐘形の前記回転子の内周縁上に位置してお
    り、非磁性で気密性の材料でできた第１ライナがモータ
    及び軸受の前記固定子部材の上から前記隆起を覆うこと
    、及び非磁性で気密性の材料でできた第２ライナが同じ
    く回転子内で駆動モータ及び軸受の前記回転部分を覆う
    ことを特徴とする真空ポンプ。
  2. 【請求項２】　　前記ライナがアルミニュウムでできて
    おり、真空下で接着されることを特徴とする請求項１に
    記載の真空ポンプ。
  3. 【請求項３】　　前記ライナが真空蒸着によるニッケル
    層から成ることを特徴とする請求項１に記載の真空ポン
    プ。
  4. 【請求項４】　　前記ライナがセラミックでできており
    、真空下で接着されることを特徴とする請求項１に記載
    の真空ポンプ。
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