JPH036989B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH036989B2 JPH036989B2 JP19576386A JP19576386A JPH036989B2 JP H036989 B2 JPH036989 B2 JP H036989B2 JP 19576386 A JP19576386 A JP 19576386A JP 19576386 A JP19576386 A JP 19576386A JP H036989 B2 JPH036989 B2 JP H036989B2
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- Japan
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- electron gun
- electron
- electrons
- raw material
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- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、真空中で原材料物質を蒸発させて半
導体基板等の上に薄膜を堆積させる電子銃蒸着装
置の改良に関する。
導体基板等の上に薄膜を堆積させる電子銃蒸着装
置の改良に関する。
（従来の技術とその問題点）
第２図、第３図に従来の電子銃蒸着装置の概略
の断面図を示す。各符号とその部材の説明は第１
図に準じ後述する。
の断面図を示す。各符号とその部材の説明は第１
図に準じ後述する。
従来この種の装置には、電子ビーム偏向用の電
磁石に断線を生じたり、永久磁石が劣化したりし
て、電子ビームが所定の原材料物質の表面位置を
照射しなくなつた場合には、これを検知する手段
がない。電子銃は非常に大出力のものを使用して
いるので、上記のような場合には、電子ビームが
直射した場所は僅かの時間内に溶けてしまつて、
ややもすると大事故になる恐れがある。電子銃の
状況を常時監視すれば、この事故はある程度まで
防止出来るであろうが、労力的に困難がある。
磁石に断線を生じたり、永久磁石が劣化したりし
て、電子ビームが所定の原材料物質の表面位置を
照射しなくなつた場合には、これを検知する手段
がない。電子銃は非常に大出力のものを使用して
いるので、上記のような場合には、電子ビームが
直射した場所は僅かの時間内に溶けてしまつて、
ややもすると大事故になる恐れがある。電子銃の
状況を常時監視すれば、この事故はある程度まで
防止出来るであろうが、労力的に困難がある。
また、蒸発によつて原材料物質は次第に減少す
るが、どの程度の量の原材料物質がルツボ内に残
つているかは、目視以外では、蒸着速度、蒸着時
間などから推定するしかない。もし原材料物質が
突沸などを起こし、原材料物質が急に無くなつた
場合は、電子ビームがルツボの底を直射して矢張
り大事故となるおそれがある。
るが、どの程度の量の原材料物質がルツボ内に残
つているかは、目視以外では、蒸着速度、蒸着時
間などから推定するしかない。もし原材料物質が
突沸などを起こし、原材料物質が急に無くなつた
場合は、電子ビームがルツボの底を直射して矢張
り大事故となるおそれがある。
（発明の目的）
本発明は、上述の如き電子ビームの異常照射を
検出して、事故を未然に防止できる電子銃蒸着装
置の提供を目的とする。
検出して、事故を未然に防止できる電子銃蒸着装
置の提供を目的とする。
（発明の構成）
本発明は、真空中で高電圧を印加して電子を加
速し、この加速された電子を磁界によつて偏向さ
せて、ルツボ内に納められた原材料物質を照射
し、当該原材料物質を加熱、溶融して蒸発させ、
半導体基板等の上に薄膜を堆積させる電子銃蒸着
装置において、電子銃本体の後方に該照射された
原材料物質から反射した電子を検出するためのコ
レクターを取り付けるとともに、該コレクターに
入射する電子の量の急変を検知することで該電子
銃の異常を検出する手段を設けた電子銃蒸着装置
によつて、前記目的を達成したものである。
速し、この加速された電子を磁界によつて偏向さ
せて、ルツボ内に納められた原材料物質を照射
し、当該原材料物質を加熱、溶融して蒸発させ、
半導体基板等の上に薄膜を堆積させる電子銃蒸着
装置において、電子銃本体の後方に該照射された
原材料物質から反射した電子を検出するためのコ
レクターを取り付けるとともに、該コレクターに
入射する電子の量の急変を検知することで該電子
銃の異常を検出する手段を設けた電子銃蒸着装置
によつて、前記目的を達成したものである。
（作用）
反射電子コレクターで捕捉された反射電子は、
コレクター電流となつて反射電子検出器に送られ
る。そしてここで電子銃電源回路の電流とコレク
ター電流の比較が行われ、その比が所定の正常状
態からずれたとき異常状態と判定される。
コレクター電流となつて反射電子検出器に送られ
る。そしてここで電子銃電源回路の電流とコレク
ター電流の比較が行われ、その比が所定の正常状
態からずれたとき異常状態と判定される。
（実施例）
以下、本発明の実施例を図面を参照して説明す
る。
る。
第１図は本発明の実施例の電子銃の概略の構成
を示す横断面図である。
を示す横断面図である。
電子銃本体１のフイラメント４から出た電子
は、電子ビーム偏向用磁石７の作る磁界により偏
向されて電子ビーム軌道２を通りルツボ６内に納
められた原材料物質５のほぼ中央の表面を照射す
る。そして、その一部の電子は原材料物質５で反
射され、矢張り偏向用磁石７の磁界で偏向されて
反射電子軌道３を通り反射電子コレクター９に飛
び込む。８は水冷パイプであつて、電子銃本体を
冷却するためのものである。
は、電子ビーム偏向用磁石７の作る磁界により偏
向されて電子ビーム軌道２を通りルツボ６内に納
められた原材料物質５のほぼ中央の表面を照射す
る。そして、その一部の電子は原材料物質５で反
射され、矢張り偏向用磁石７の磁界で偏向されて
反射電子軌道３を通り反射電子コレクター９に飛
び込む。８は水冷パイプであつて、電子銃本体を
冷却するためのものである。
従来の装置では、上記の反射電子は、磁界で偏
向させて第２図に示すように電子銃の後部を広く
して電子銃内１３に取り込むか、第３図に示すよ
うに反射電子シールド１４を設置してここに取り
込み、反射電子が真空チヤンバー内に散乱するの
を防止していたものであるが、本発明ではこの反
射電子を積極的に活用するため、反射電子コレク
ター９を絶縁石を介して取り付けている。
向させて第２図に示すように電子銃の後部を広く
して電子銃内１３に取り込むか、第３図に示すよ
うに反射電子シールド１４を設置してここに取り
込み、反射電子が真空チヤンバー内に散乱するの
を防止していたものであるが、本発明ではこの反
射電子を積極的に活用するため、反射電子コレク
ター９を絶縁石を介して取り付けている。
さて、反射電子コレクター９で捕捉された反射
電子は、コレクター電流となつて反射電子検出機
１１に送られる。そしてここで電子銃電源回路１
２の電流（エミツシヨン電流）とコレクター電流
の比較が行われ、この比が所定の正常状態の比率
から離れた値を持つた場合には異常状態と判定さ
れて電子銃電源回路１２の出力が絶たれ、事故を
未然に防止する。
電子は、コレクター電流となつて反射電子検出機
１１に送られる。そしてここで電子銃電源回路１
２の電流（エミツシヨン電流）とコレクター電流
の比較が行われ、この比が所定の正常状態の比率
から離れた値を持つた場合には異常状態と判定さ
れて電子銃電源回路１２の出力が絶たれ、事故を
未然に防止する。
第４図には、ある電子銃における電源回路１２
のエミツシヨン電流と反射電子コレクター電流の
関係を示した。
のエミツシヨン電流と反射電子コレクター電流の
関係を示した。
曲線１５は、電子ビームがルツボの後方、コレ
クター寄りの位置を照射した場合、 曲線１６は、電子ビームが正常な原材料物質表
面を照射した場合、 曲線１７は、電子ビームがルツボの手前を照射
した場合、 曲線１８は、ルツボ内の原材料物質表面が20mm
下降し、電子ビームがその表面を照射した場合、
である。
クター寄りの位置を照射した場合、 曲線１６は、電子ビームが正常な原材料物質表
面を照射した場合、 曲線１７は、電子ビームがルツボの手前を照射
した場合、 曲線１８は、ルツボ内の原材料物質表面が20mm
下降し、電子ビームがその表面を照射した場合、
である。
各曲線はほゞ直線ということが出来、電子ビー
ムが正常な場合１６ではエミツシヨン電流の約９
％がコレクター電流となつて流れている。
ムが正常な場合１６ではエミツシヨン電流の約９
％がコレクター電流となつて流れている。
これに対し、電子ビームがルツボの後方及び手
前を照射する１５及び１７の場合には、それぞれ
エミツシヨン電流の10％及び８％のコレクター電
流が流れている。
前を照射する１５及び１７の場合には、それぞれ
エミツシヨン電流の10％及び８％のコレクター電
流が流れている。
また、原材料物質の表面が20mm降下した場合１
８では、それが６％となつている。（それぞれの
％は、エミツシヨン電流がほぼ200ｍＡの場合の
値でもある。） 即ち、この装置の場合は、エミツシヨン電流が
200ｍＡのとき、コレクター電流がエミツシヨン
電流の９％であるのを基準として、これから±１
％以上の変動があつた場合には異常状態にあると
判定して電子銃電源回路を絶てばよいことにな
る。これによつて電子銃の事故を未然に防止する
ことが出来る。
８では、それが６％となつている。（それぞれの
％は、エミツシヨン電流がほぼ200ｍＡの場合の
値でもある。） 即ち、この装置の場合は、エミツシヨン電流が
200ｍＡのとき、コレクター電流がエミツシヨン
電流の９％であるのを基準として、これから±１
％以上の変動があつた場合には異常状態にあると
判定して電子銃電源回路を絶てばよいことにな
る。これによつて電子銃の事故を未然に防止する
ことが出来る。
（発明の効果）
本発明によれば、電子ビーム偏向用の電磁石に
断線を生じたり、永久磁石が劣化したりして電子
ビームが所定の位置を照射しなくなつたりした場
合や、原材料物質が突沸を起こした場合など、の
異常状態をいち早く検出してこれに伴う事故を未
然に防止することの出来る電子銃蒸着装置が提供
される。
断線を生じたり、永久磁石が劣化したりして電子
ビームが所定の位置を照射しなくなつたりした場
合や、原材料物質が突沸を起こした場合など、の
異常状態をいち早く検出してこれに伴う事故を未
然に防止することの出来る電子銃蒸着装置が提供
される。
第１図は、本発明の実施例の電子銃蒸着装置の
概略の横断面図。第２図、第３図は、従来の同様
の図。第４図は、エミツシヨン電流と反射電子コ
レクター電流の関係を示すグラフ。 １……電子銃本体、２……電子ビーム軌道、３
……反射電子軌道、４……フイラメント、５……
原材料物質、６……ルツボ、７……電子ビーム偏
向用磁石（電磁石又は永久磁石）、８……水冷パ
イプ、９……反射電子コレクター、１０……絶縁
石、１１……反射電子検出器、１２……電子銃電
源、１３……反射電子取り込み部、１４……反射
電子シールド。
概略の横断面図。第２図、第３図は、従来の同様
の図。第４図は、エミツシヨン電流と反射電子コ
レクター電流の関係を示すグラフ。 １……電子銃本体、２……電子ビーム軌道、３
……反射電子軌道、４……フイラメント、５……
原材料物質、６……ルツボ、７……電子ビーム偏
向用磁石（電磁石又は永久磁石）、８……水冷パ
イプ、９……反射電子コレクター、１０……絶縁
石、１１……反射電子検出器、１２……電子銃電
源、１３……反射電子取り込み部、１４……反射
電子シールド。
Claims (1)
- １ 真空中で高電圧を印加して電子を加速し、こ
の加速された電子を磁界によつて偏向させて、ル
ツボ内に納められた原材料物質を照射し、当該原
材料物質を加熱、溶融して蒸発させ、半導体基板
等の上に薄膜を堆積させる電子銃蒸着装置におい
て、電子銃本体の後方に該照射された原材料物質
から反射した電子を検出するためのコレクターを
取り付けるとともに、該コレクターに入射する電
子の量の急変を検知することで該電子銃の異常を
検出する手段を設けたことを特徴とする電子銃蒸
着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19576386A JPS6350461A (ja) | 1986-08-21 | 1986-08-21 | 電子銃蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19576386A JPS6350461A (ja) | 1986-08-21 | 1986-08-21 | 電子銃蒸着装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6350461A JPS6350461A (ja) | 1988-03-03 |
| JPH036989B2 true JPH036989B2 (ja) | 1991-01-31 |
Family
ID=16346551
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19576386A Granted JPS6350461A (ja) | 1986-08-21 | 1986-08-21 | 電子銃蒸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6350461A (ja) |
-
1986
- 1986-08-21 JP JP19576386A patent/JPS6350461A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6350461A (ja) | 1988-03-03 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |