JPH037038B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、１つの作業室と、該作業室の側方に
配置されていて油を内蔵しかつ排気装置と接続さ
れた少なくとも１つの伝動室とを有し、作業室に
位置する回転子の軸を支承するための軸受を備え
た仕切り壁を作業室と伝動室との間に有し、仕切
り壁を貫通する軸に配属されたラビリンスパツキ
ンを作業室と伝動室との間に有し、さらに、伝動
室の排気によつて該伝動室に生じる油の欠乏又は
損失を回避するための手段を有している形式の２
軸式の真空ポンプに関する。

従来の技術 ２軸式の真空ポンプの典型的なものとしては、
例えば西独国特許第1939717号明細書に開示され
ているシーツ式真空ポンプがある。この真空ポン
プは、互いに転動する２つの回転子を備えた中央
の作業室を有している。この作業室側部の仕切り
壁には両回転子の軸が、側方に位置する伝動室に
突入するように支承されている。伝動室において
両軸には、互いに噛み合つている歯車が設けられ
ており、これらの歯車によつて両回転子の相対的
に正しい位置が保証されている。一方の軸は駆動
モータの軸と連結されている。通常上記形式のル
ーツ式ポンプは２つの伝動室を有しているが、し
かしながら回転子が片持ち式に支承されている場
合には１つの伝動室しか必要ない。

西独国特許第1939717号明細書に開示されたル
ーツ式ポンプの、互いに連通していて作業室の側
方に配置された伝動室のなかには、歯車及び軸受
を潤滑するために油が貯えられている。この油又
は油蒸気が作業室に達することを回避するために
軸には仕切り壁の範囲においてパツキンが配属さ
れている。これらのパツキンは、摩耗しゆえにそ
の耐用寿命が制限されているという欠点を有する
ラジアルパツキンリングによつて形成されてもよ
いが、このようなラジアルパツキンリングの代わ
りに摩耗しなラビリンスパツキンを使用すること
も公知である。

２軸式特にルーツ式真空ポンプはしばしば、完
全に油なしの排気又はガス搬送が保証されねばな
らない所において用いられる。この要求を満たす
ため及び同時に摩耗しないラビリンスパツキンの
使用を可能にするために、作業室において生じる
最低圧よりもさらに低い圧力に伝動室を排気して
この圧力を維持することが既に提案されている。
これによつてラビリンスパツキンの範囲には作業
室から伝動室へのガス流が生じ、このガス流によ
つて油が逆方向にまり伝動室から伝動室に侵入す
ることは回避される。このシール作用は、ラビリ
ンスパツキンを通じる体積流れが大であればある
ほどより効果的である。

歯車及び軸受に十方な潤滑油を供給するために
伝動室においては油すくい円板によつて油がすく
い上げられるので、伝動室から吸い出されるガス
は多くの油を含んでいる。特に、高い吸込み能力
によつて伝動室の排気によつてラビリンスパツキ
ンの範囲における大きな体積流れを達成すること
が望まれている場合には、油面が下側の限界値を
下回るほど多くの油が伝動室から連行されること
がある。このような場合歯車及び軸受の十分な潤
滑を保証することはもはや不可能である。

西独国特許出願公用第3047699号明細書に基づ
いて公知の冒頭に述べた形式の２軸式の真空ポン
プは、作業室と伝動室との間に、排気される圧力
バランス室を有している。この場合２つの排気形
式が開示されている。第１の排気形式では別体の
導管及び別体の真空ポンプが設けられており、第
２の排気形式では、圧力バランス室を真空ポンプ
の作業室と接続する適当な接続導管が設けられて
いる。後者の場合にはゼオライトトラツプが不可
欠であり、さもないと圧力バランス室から排気さ
れた油蒸気が、その存在が望まれていない真空ポ
ンプの作業室に達してしまう。圧力バランス室
は、圧力バランスを達成するために孔を介して伝
動室と接続されている。この場合各孔には油フイ
ルタが配置されている。このルーツ式真空ポンプ
の運転中にガスは作業室及び伝動室からラビリン
スパツキンを介してかつ圧力バランス室を通して
吸い出される。伝動室からラビリンスパツキンを
介して圧力バランス室に達するガス流は油フイル
タを貫いて流れない。油フイルタは、油蒸気を含
むガスの部分流だけが貫流する圧力バランス孔に
しか配置されていない。つまりその公知のポンプ
においても、油フイルタを通つて流れる油を含む
ガス、つまり、第１の排気形式ではゼオライトト
ラツプにおいて沈着し、第２の排気形式において
は真空ポンプ内に達するガスによつて、いずれに
せよ伝動室における油は不都合に減じられる。

また、西独国特許出願公開第2450598号明細書
に開示された２軸式の真空ポンプでは、作業室か
ら伝動室に貫流する油蒸気のためのラビリンスパ
ツキンは設けられておらず、伝動室は、油蒸気ト
ラツプを備えた導管を介して作業室と接続されて
いる。この場合において吸着された油の分だけ、
同様に伝動室内における油は減少してしまう。

発明の課題 ゆえに本発明の課題は、冒頭に述べた形式の２
軸式の真空ポンプつまり伝動室を排気する排気系
とラビリンスパツキンとを備えた２軸式の真空ポ
ンプ特にルーツ式真空ポンプを改良して、一方で
はラビリンスパツキンを通る大きな体積流れを維
持しかつ他方では伝動室において特容できないほ
どの油の欠乏がもはや生じない運転確実な２軸式
の真空ポンプを提供することである。

課題を解決するための第１の手段 この課題を解決するために第１の発明の構成で
は、伝動室に接続された排気装置が、２軸式の真
空ポンプの作業室において生じる最低圧よりもさ
らに低い圧力を生ぜしめることができる別体の真
空ポンプであり、この場合該真空ポンプの入口が
導管を介して直接伝動室と接続されており、該伝
動室から導管を通つて真空ポンプに流れる油を含
むガスから油を分離するために、導管に油分離装
置が設けられており、該油分離装置が、分離され
た油を戻すために別の導管を介して伝動室と接続
されている。

実施態様 第１の発明の１実施態様では、伝動室に付加的
な油貯え容器が配属されている。このように構成
されていると、伝動室の排気によつて生じる油損
失はこの付加的な油貯え容器によつて補償するこ
ことができる。この油貯え容器は長い耐用時間を
得るために可能な限り大きく選択されることが望
ましい。また、油貯え容器から伝動室への油の供
給がフロートによつて調整されるようになつてい
ると、伝動室における所定の油面を保証するのに
有利である。

第１の発明の別の有利な実施態様では、油分離
装置によつて分離された油を戻すために油分離装
置の油捕集室が場合によつてはフロート式調整装
置を介してポンプの伝動室と接続されていると有
利である。このようになつていると、伝動室の排
気によつて吸い出された油は油分離装置において
引き離された伝動室に戻される。

また特に有利な実施態様では、伝動室が、該伝
動室を排気するための排気装置として働く油密な
真空ポンプの油貯え容器と接続されている。この
ように構成されていると、伝動室から連行された
油は油密な真空ポンプの油貯え容器に達し、そこ
から再び伝動室に戻される。

第１の発明の効果 第１の発明のように構成されていると、排気装
置によつて伝動室から連行された油は完全に補償
されるので伝動室における油の欠乏又は損失は確
実に回避される。

課題を解決するための第２の手段 前記課題を解決するたに第２の発明の構成で
は、仕切り壁において軸受とラビリンスパツキン
との間に油鎮静室が配置されており、該油鎮静室
に、伝動室を排気するための排気装置として真空
ポンプが接続されている。

第２の発明の効果 このように構成されていると、伝動室からは極
めて僅かな油蒸気しか真空ポンプに達せず、しか
も適宜に方向付けられた流れをラビリンスパツキ
ンにおいて保証することができる。

またこの第２の発明の構成にさらに前記の処置
（第１の発明の実施態様）を施すことによつて、
油の欠乏のおそれは確実に回避される。

実施例 すべて図面にはそれぞれ２軸式の真空ポンプで
あるルーツ式ポンプ１の一部が示されている。ル
ーツ式ポンプ１の作業室２と伝動室３との間に位
置する仕切り壁４には、図示されていない回転子
の軸端５がころがり軸受６を介して支承されてい
る。軸端５の自由端部には、互いに噛み合つてい
る歯車７が設けられている。軸端５にはさらに油
すくい円板８が配置されていて、この油のすくい
円板８は、伝動室３内の潤滑油１１の油面９の下
にまで達している。油すくい円板８の回転によつ
て歯車７並びにころがり軸６の十分な潤滑が達成
される。

仕切り壁４の範囲において軸には全体を符号１
２で示されたラビリンスパツキンが配属されてい
る。油を含んだ空気が伝動室３から作業室２に侵
入することを回避するために、伝動室３を排気装
置として働く真空ポンプと直接接続することが公
知である。これによつてラビリンスパツキン１２
の範囲には作業室２から伝動室３へのガス流が維
持され、油を含んだ空気が逆方向につまり伝動室
から作業室に流れることは回避される。

図面には軸端５、歯車７、ころがり軸受６及び
ラビリンスパツキン１２だけが示されており、こ
の場合作業室２の他方の側に位置し有利には伝動
室３と連通している第２の伝動室の図示は省かれ
ている。この図示されていない第２の伝動室を介
て周知の形式で回転子の駆動が行われる。

第１図の実施例では伝動室３は導管１３を介し
て真空ポンプ１４と接続されており、この真空ポ
ンプ１４によつて、ラビリンスパツキン１２の範
囲において伝動室３に向かう流れを維持するため
に伝動室３から十分な空気量が吸い込まれる。吸
気と共に連行された油は別体の油貯え容器１５か
ら接続導管１６を介して補充される。伝動室３に
おいて所望の油面９を保つためにフロート式調整
装置が設けられている。このために油面９の高さ
に接続導管１６が配置されており、この接続導管
１６は伝動室３をフロート１８を有する油面調整
室１７と接続している。フロート１８によつて略
示された閉鎖部材１９が軸２１を中心にして旋回
可能である。閉鎖部材１９には油の供給導管２２
の開口が配属されており、この供給導管２２は油
貯え容器１５における本来の油貯え室２３と接続
されている。この油貯え室２３は油面調整室１７
の上に位置している。

第２図の実施例では伝動室３から真空ポンプ１
４に通じる導管１３に油分離装置２５が接続され
ている。この油分離装置２５のケーシング２６は
ガスを通す２つの底部２７，２８の間においてフ
イルタ材料２４有利にはメタルウールによつて満
たされている。油を含む空気はこのフイルタ材料
２４を貫通して真空ポンプ１４に吸い込まれる。
フイルタ材料２４によつて分離された油は該フイ
ルタ材料２４の下に位置する油捕集室２９に達す
る。油はこの油捕集室２９から接続導管１６を介
して伝動室３に戻される。この実施例では接続導
管１６は、油がルーツ式ポンプ１の油溜めに戻さ
れるように配置されている。

この実施例では、伝動室３における油面９が侵
入する油によつて許容できないほど上昇すること
はあり得ないので、フロート式調整装置は必要な
い。この配置形式では、フイルタ材料２４によつ
て分離された油が伝動室３に戻ることが保証され
ているだけでよい。分離作用を改善するためにフ
イルタ材料用の水冷式の冷却装置３１、例えばフ
イルタ材料を貫通していて水が貫流する螺管が設
けられていてもよい。この螺管の供給管片及び排
出管片はそれぞれ符号３２及び３３で示されてい
る。

第２図に示された施例では連行される油の粗分
離が可能であり、分離作用は冷却装置３１による
バツフル作用によつて確かに改善されるが、しか
しながら連行される油蒸気のほぼ完全な分離は不
可能である。

第３図の実施例では油分離装置２５は油面９の
上方において伝動室３に直接取り付けられてい
る。この油分離装置２５はキヤツプ状の付加部と
して構成されていて、キヤツプ６１とリング状の
区分６２とを有している。この両構成部分の間に
は多層の金網６３が油フイルタとして緊締されて
いる。これによつて油分離装置２５には２つの室
６４，６５が形成され、そのうちの室６５は孔６
６を介して直接伝動室３と接続されている。孔６
６の伝動室側にはカラー６７が設けられており、
このカラー６７は孔６６を飛沫油に対して遮閉し
ている。室６４には、真空ポンプ１４に通じる導
管１３が接続されている。室６４の下側範囲に
は、油溜めに開口する油戻し導管（接続導管１
６）が接続されている。

第３ａ図には第３図に似た油分離装置６８，６
９が示されており、この場合油を分離するために
相前後して配置された２つの分離段が設けられて
いる。第１の分離段は油滴フイルタ６８を形成
し、この油滴フイルタ６８は約50μの網目をもつ
多層の金網（有利には特殊鋼製の網）から成つて
いる。この油滴フイルタ６８は第３図の実施例と
は異なり、金属製のリング７１を介して伝動室３
のケーシングと良好に熱を伝えるように結合され
ているので、金網フイルタにおける油が大きな粘
稠性を有して金網フイルタを詰まらせることはな
い。流れ方向で見てこの油滴フイルタ６８の下流
には第２の分離段であるメタルウール６９が配置
されており、このメタルウール６９は、冷却装置
３１によつてその効果が高められる霧化油分離装
置として働く。リング７２は熱伝導性の悪い材料
から成つているので、冷却温度は僅かしか損われ
ず、油滴フイルタ６８が冷却されることは回避さ
れる。

分離効果をさらに高めるためにキヤツプ６１に
は水冷式の冷却装置３１が設けられている。この
場合冷却水の供給管片及び排出管片はそれぞれ符
号３２，３３で示されている。キヤツプ６１は有
利には熱伝導性の高い材料例えばアルミニウムか
ら構成されているので、金網６３も同様に低温で
ある。油分離装置２５のリング状の区分６２は有
利には熱伝導性の低い材料から成つているので、
ポンプケーシングから金網６３への熱伝導は可能
な限り阻止される。

また第４図の実施例のように伝動室３から真空
ポンプ１４に通じる導管１３に油分離装置として
霧化油フイルタ３５が設けられていると、分離効
果は著しく改善される。この霧化油フイルタ３５
は霧化油が内側から外側に向かつて貫流するフイ
ルタカートリツジであり、該カートリツジのフイ
ルタ材料は例えばエポキン樹脂を含むガラス繊維
から成つている。第４図に示された実施例では連
行された油のほぼ完全な分離並びに戻しが可能な
ので、伝動室３において油が欠乏するおそれはも
はやない。精巧な分離特性を備えたフイルタ装置
には貫流抵抗があるので、運転中油捕集室２９に
は、伝動室３における圧力pgよりも小さな圧力
psが生ぜしめられる。従つて、分離された油を戻
し導管３６を通して油捕集室２９から伝動室３に
確実に戻すには特別な手段が設けられなくてはな
らない。油捕集室２９から伝動室３への油の戻し
を保証するために、一方では戻し導管３６は油面
９の下方において伝動室３に開口し、他方では油
捕集室２９の位置は伝動室３における油面９に対
して高くつまり、霧化油フイルタ３５に貫流抵抗
によつて生じる圧力差pg−psが、油面９の上方
に位置する油捕集室２９の高さに関連した搬送圧
の差よりも小さくなるように高く選ばれている。
もし圧力特性が逆の場合つまりpsがpgより大き
い場合には油は伝動室３から油捕集室２９に吸い
込まれて伝動室３における油面は許容できないほ
ど降下せしめられてしまう。

伝動室３における圧力pgと油捕集室２９にお
ける圧力psとの間の圧力差が所定の値を越えない
ようにするために、有利には霧化油フイルタ３５
に調圧弁３７が後置されていて、この調圧弁の作
動ピストン３９が片側では導管３８を介して伝動
室３の圧力pgによつてかつ他方の側では油捕集
室２９における圧力psによつて負荷されている。
さらに作動ピストン３９はばね４１の作用下にあ
り、このばね４１はピストン重量を補償しかつ、
いかなる圧力差において弁が所定の開放位置を占
めるかを規定している。

このように構成された調圧弁３７によつて、霧
化油フイルタ３５には常にコンタクトな圧力差が
生ぜしめられる。霧化油フイルタ３５は通常層流
状に貫流されるので、同フイルタにおいて生じる
圧力差は体積流れに正比例する。つまり上述のよ
うに圧力差を調整することによつて同時に体積流
れが調整されるので、結局体積流れも同様にほぼ
コンタクトに保たれる。

第５図に示された実施例では導管１３を介して
伝動室３を排気する真空ポンプ１４は、内部に油
貯え室を有する油密の真空ポンプである。この実
施例では伝動室３から連行された油は真空ポンプ
１４の油溜めに達し、そこから供給導管４３を介
して油貯え容器４５に供給される。この油貯え容
器４５は接続導管１６を介して伝動室３と接続さ
れている。油貯え容器４５及び接続導管１６は伝
動室３における油面９の高さに配置されている。
油面９の調整はこの実施例においても、軸４７を
中心にして旋回可能な閉鎖部材４６を有するフロ
ート４４によつて行われ、この場合閉鎖部材４６
は供給導管４３の開口から油の供給を制御する。

供給導管４３及び付加的な油貯え容器４５は、
真空ポンプ１４がルーツ式ポンプ１のそばに配置
されていて、両方のポンプにおける所望の油面が
等しい高さにある場合には省くことができる。

油密の真空ポンプ、ここでは真空ポンプ１４
に、系からの油の流出を阻止する高効率の排気フ
イルタが設けられていてもよい。このように構成
されていると、伝動室３から連行された油を常に
再び伝動室３に戻すことが保証される。

第６図には第２の発明による２軸式の真空ポン
プの１実施例が示されている。この場合仕切り壁
４においてころがり軸受６とラビリンスパツキン
１２との間には油鎮静室５１が配置されており、
この油鎮静室５１は少なくとも１つの油戻し通路
５２を介して伝動室３と接続されている。油鎮静
室５１はさらに、真空ポンプ１４に通じる導管１
３が接続されている。油鎮静室３２には僅かな油
を含んだ蒸気しか達しないので、油鎮静室３２を
介して伝動室３を排気するように構成するだけで
油の消費量は著しく減じられる。またラビリンス
パツキン１２の範囲における適宜に方向付けられ
た流れは既に述べた実施例の場合よりもむしろ良
好に維持され得る。また既に述べた実施例と組み
合わせることによつて油の損失はほぼ完全に回避
され得る。

【図面の簡単な説明】

第１図、第２図、第３図、第４図及び第５図は
それぞれ第１の発明による２軸式の真空ポンプの
異なつた実施例を示すものであつて、第１図は伝
動室に付加的な油貯え容器が配属されている第１
実施例を示す図、第２図及び第３図は伝動室と真
空ポンプとの間の接続導管に油分離装置が設けら
れている第２及び第３実施例を示す図、第３ａ図
は第３図に示された油分離装置の変化実施例を示
す図、第４図は伝動室と真空ポンプとの間の接続
導管に霧化油フイルタとして構成された油分離装
置が設けられている第４実施例を示す図、第５図
は第５実施例を示す図、第６図は第２の発明によ
る２軸式の真空ポンプの１実施例を示すものであ
る。 １……ルーツ式ポンプ、２……作業室、３……
伝動室、４……仕切り壁、５……軸端、６……こ
ろがり軸受、７……歯車、８……油すくい円板、
９……油面、１１……潤滑油、１２……ラビリン
スパツキン、１４……真空ポンプ、１５……油貯
え容器、１６……接続導管、１７……油面調整
室、１８……フロート、１９……閉鎖部材、２１
……軸、２２……供給導管、２３……油貯え室、
２４……フイルタ材料、２５……油分離装置、２
６……ケーシング、２７，２８……底部、２９…
…油捕集室、３１……冷却装置、３２……供給管
片、３３……排出管片、３５……霧化油フイル
タ、３６……戻し導管、３７……調圧弁、３８…
…導管、３９……作動ピストン、４１……ばね、
４３……供給導管、４４……フロート、４５……
油貯え容器、４６……閉鎖部材、４７……軸、５
１……油鎮静室、５２……油戻し通路、６１……
キヤツプ、６２……リング状の区分、６３……金
網、６４，６５……室、６６……孔、６７……カ
ラー、６８……油滴フイルタ、６９……メタルウ
ール、７１，７２……リング。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ ２軸式の真空ポンプ１であつて、１つの作業
   室２と、該作業室の側方に配置されていて油１１
   を内蔵しかつ排気装置と接続された少なくとも１
   つの伝動室３とを有し、作業室２に位置する回転
   子の軸を支承するための軸受６を備えた仕切り壁
   ４を作業室２と伝動室３との間に有し、仕切り壁
   ４を貫通する軸に配属されたラビリンスパツキン
   １２を作業室２と伝動室３との間に有し、さら
   に、伝動室３の排気によつて該伝動室に生じる油
   の欠乏又は損失を回避するための手段を有してい
   る形式のものにおいて、伝動室３に接続された前
   記排気装置が、２軸式の真空ポンプ１の作業室２
   において生じる最低圧よりもさらに低い圧力を生
   ぜしめることができる別体の真空ポンプ１４であ
   り、この場合該真空ポンプの入口が導管１３を介
   して直接伝動室３と接続されており、該伝動室３
   から導管１３を通つて真空ポンプ１４に流れる油
   を含むガスから油を分離するために、導管１３に
   油分離装置２５，３５が設けられており、該油分
   離装置２５，３５が、分離された油を戻すために
   別の導管１６を介して伝動室３と接続されている
   ことを特徴とする２軸式の真空ポンプ。 ２ 伝動室３に付加的な油貯え容器１５，４５が
   配属されている、特許請求の範囲第１項記載の真
   空ポンプ。 ３ 油貯え容器１５，４５から伝動室３への油の
   供給がフロート１８，４４によつて調整される、
   特許請求の範囲第２項記載の真空ポンプ。 ４ 油分離装置２５が、メタルウールを満たされ
   たフイルタとして構成されている、特許請求の範
   囲第１項記載の真空ポンプ。 ５ 油分離装置２５が、伝動室３に直接保持され
   たキヤツプ状の付加部６１，６２として構成され
   ている、特許請求の範囲第１項記載の真空ポン
   プ。 ６ 付加部がリング状の構成部材６２とキヤツプ
   状の構成部材６１とから成つていて、両構成部材
   の間に多層の金網６３が油フイルタとして緊締さ
   れている、特許請求の範囲第５項記載の真空ポン
   プ。 ７ 油分離装置２５に水冷式の冷却装置３１が配
   属されている、特許請求の範囲第１項記載の真空
   ポンプ。 ８ 水冷式の冷却装置３１がキヤツプ６１に配属
   されており、該キヤツプが熱伝導性の良好な材料
   から、リング状の区分６２が熱伝導性の悪い材料
   から成つている、特許請求の範囲第６項又は第７
   項記載の真空ポンプ。 ９ 分離された油を戻すために油分離装置２５，
   ３５の油捕集室２９がポンプ１の伝動室３と接続
   されている、特許請求の範囲第１項記載の真空ポ
   ンプ。 １０ 油を戻すためにフロート式調整装置４４，
   ４６，４７が設けられている、特許請求の範囲第
   １項記載の真空ポンプ。 １１ 油分離装置が霧化油フイルタ３５として構
   成されている、特許請求の範囲第１項記載の真空
   ポンプ。 １２ 油を戻すため働く戻し導管３６が伝動装置
   ３において油面９の下で開口しており、霧化油フ
   イルタ３５の油捕集室２９が、油を確実に戻すた
   めに伝動室３における油面９よりも高い位置に配
   置されている、特許請求の範囲第９項又は第１１
   項記載の真空ポンプ。 １３ 霧化油フイルタ３５に調圧弁３７が、後置
   されている、特許請求の範囲第１１項記載の真空
   ポンプ。 １４ 伝動室３が、該伝動装置を排気にするため
   に働く油密な真空ポンプ１４の油貯え容器４５と
   接続されている、特許請求の範囲第１項記載の真
   空ポンプ。 １５ 真空ポンプ１４の油貯え容器４５から伝動
   室３への油の供給を調整するためにフロート式調
   整装置４４，４６，４７が設けられている、特許
   請求の範囲第１４項記載の真空ポンプ。 １６ 油密な真空ポンプ１４に排気フイルタが配
   属されている、特許請求の範囲第１４項又は第１
   ５項記載の真空ポンプ。 １７ 互いに接続している２つの伝動室が設けら
   れている、特許請求の範囲第１項から第１６項ま
   でのいずれか１項記載の真空ポンプ。 １８ 伝動室３に排気装置を接続するための孔６
   ６の伝動室側に、油飛沫の侵入を阻止するために
   カラー６７が設けられている、特許請求の範囲第
   １項から第１９項までのいずれか１項記載の真空
   ポンプ。 １９ 伝動室３から真空ポンプ１４に通じる導管
   １３に、２つの油分離装置６８，６９が配置され
   ている、特許請求の範囲第１項記載の真空ポン
   プ。 ２０ 第１の油滴フイルタ６８に、メタルウール
   ６９から成る霧化油分離装置が後置されている、
   特許請求の範囲第１９項記載の真空ポンプ。 ２１ ２軸式の真空ポンプ１であつて、１つの作
   業室２と、該作業室の側方に配置されていて油１
   １を内蔵しかつ排気装置１４と接続された少なく
   とも１つの伝動室３とを有し、作業室２に位置す
   る回転子の軸を支承するための軸受６を備えた仕
   切り壁４を作業室２と伝動室３との間に有し、さ
   らに、仕切り壁４を貫通する軸に配属されたラビ
   リンスパツキン１２を作業室２と伝動室３との間
   に有している形式のものにおいて、仕切り壁４に
   おいて軸受６とラビリンスパツキン１２との間に
   油鎮静室５１が配置されており、該油鎮静室に、
   伝動室３を排気するための排気装置１４として真
   空ポンプが接続されていることを特徴とする２軸
   式の真空ポンプ。