JPH0370421U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0370421U JPH0370421U JP13124589U JP13124589U JPH0370421U JP H0370421 U JPH0370421 U JP H0370421U JP 13124589 U JP13124589 U JP 13124589U JP 13124589 U JP13124589 U JP 13124589U JP H0370421 U JPH0370421 U JP H0370421U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- frame
- point
- intersection
- piezoelectric vibrator
- wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 2
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
第１図ないし第３図は本考案の圧電振動子片と
フレームとの接合部分の平面図、第４図は従来の
圧電振動子片とフレームとの接合部分の平面図で
ある。 １……フレーム、２……圧電振動子片、３……
接合部分、４……エツチング残り、５……切欠き
、１０……底面、１０′……底面線、１０″……
底線、１１，１１′…交接点。
フレームとの接合部分の平面図、第４図は従来の
圧電振動子片とフレームとの接合部分の平面図で
ある。 １……フレーム、２……圧電振動子片、３……
接合部分、４……エツチング残り、５……切欠き
、１０……底面、１０′……底面線、１０″……
底線、１１，１１′…交接点。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 複数個の圧電振動子の底面を、接合部を介
してフレームに連装し、エツチング加工により形
成されるウエハにおいて、形成された前記底面と
、前記接合部が直交する交接点が、前記底面の底
面線より前記フレーム側に設けたことを特徴とす
る圧電振動子のフレーム。 (2) 前記請求項１記載のフレームにおいて、前
記交接点が、前記底面線より前記圧電振動子側に
あるときは、前記交接点から前記底面線に平行を
なす直線部が少なくとも前記ウエハの厚み以上に
あることを特徴とする圧電振動子のフレーム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13124589U JPH0370421U (ja) | 1989-11-10 | 1989-11-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13124589U JPH0370421U (ja) | 1989-11-10 | 1989-11-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0370421U true JPH0370421U (ja) | 1991-07-15 |
Family
ID=31678764
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13124589U Pending JPH0370421U (ja) | 1989-11-10 | 1989-11-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0370421U (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011176665A (ja) * | 2010-02-25 | 2011-09-08 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子及び発振器 |
| JP2012119949A (ja) * | 2010-12-01 | 2012-06-21 | Seiko Epson Corp | 電子機器 |
| JP2013207509A (ja) * | 2012-03-28 | 2013-10-07 | Citizen Finetech Miyota Co Ltd | 圧電振動片およびその製造方法 |
-
1989
- 1989-11-10 JP JP13124589U patent/JPH0370421U/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011176665A (ja) * | 2010-02-25 | 2011-09-08 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子及び発振器 |
| JP2012119949A (ja) * | 2010-12-01 | 2012-06-21 | Seiko Epson Corp | 電子機器 |
| JP2013207509A (ja) * | 2012-03-28 | 2013-10-07 | Citizen Finetech Miyota Co Ltd | 圧電振動片およびその製造方法 |