JPH0372241U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0372241U JPH0372241U JP13130689U JP13130689U JPH0372241U JP H0372241 U JPH0372241 U JP H0372241U JP 13130689 U JP13130689 U JP 13130689U JP 13130689 U JP13130689 U JP 13130689U JP H0372241 U JPH0372241 U JP H0372241U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- duct
- dust
- suction device
- room
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims description 6
Landscapes
- Ventilation (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示す縦断面図であ
る。 １……ダストカウンター、２……クリーンルー
ム内の空気流、３……塵埃、４……空気吸引機、
４ａ……吸込ダクト、５……空気吸引量制御機、
６……室、７……フイルター、８……空気案内用
ダクト、９……空調機。
る。 １……ダストカウンター、２……クリーンルー
ム内の空気流、３……塵埃、４……空気吸引機、
４ａ……吸込ダクト、５……空気吸引量制御機、
６……室、７……フイルター、８……空気案内用
ダクト、９……空調機。
Claims (1)
- 空調機と、前記空調機より供給される空気を案
内するダクトと、前記ダクト内を流れる空気に含
まれる微少塵埃を除去するフイルターと、清浄な
空気を四方壁にて密封された室内を吸込ダクトを
介して排気する空気吸引機と、前記室内の塵埃量
を計測するダストカウンターと、前記ダストカウ
ンターの出力に基づいて空気吸引機の吸引量をコ
ントロールする制御機とを有することを特徴とす
るクリーンルーム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13130689U JPH0372241U (ja) | 1989-11-10 | 1989-11-10 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13130689U JPH0372241U (ja) | 1989-11-10 | 1989-11-10 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0372241U true JPH0372241U (ja) | 1991-07-22 |
Family
ID=31678822
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13130689U Pending JPH0372241U (ja) | 1989-11-10 | 1989-11-10 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0372241U (ja) |
-
1989
- 1989-11-10 JP JP13130689U patent/JPH0372241U/ja active Pending
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