JPH0373404A - 薄膜浮動式磁気ヘッド - Google Patents
薄膜浮動式磁気ヘッドInfo
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- JPH0373404A JPH0373404A JP20984689A JP20984689A JPH0373404A JP H0373404 A JPH0373404 A JP H0373404A JP 20984689 A JP20984689 A JP 20984689A JP 20984689 A JP20984689 A JP 20984689A JP H0373404 A JPH0373404 A JP H0373404A
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- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims description 24
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 61
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 20
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims abstract description 5
- 239000004020 conductor Substances 0.000 abstract description 8
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 abstract description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 abstract description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000009499 grossing Methods 0.000 description 1
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3103—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing
- G11B5/3106—Structure or manufacture of integrated heads or heads mechanically assembled and electrically connected to a support or housing where the integrated or assembled structure comprises means for conditioning against physical detrimental influence, e.g. wear, contamination
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/127—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive
- G11B5/31—Structure or manufacture of heads, e.g. inductive using thin films
- G11B5/3176—Structure of heads comprising at least in the transducing gap regions two magnetic thin films disposed respectively at both sides of the gaps
- G11B5/3179—Structure of heads comprising at least in the transducing gap regions two magnetic thin films disposed respectively at both sides of the gaps the films being mainly disposed in parallel planes
- G11B5/3183—Structure of heads comprising at least in the transducing gap regions two magnetic thin films disposed respectively at both sides of the gaps the films being mainly disposed in parallel planes intersecting the gap plane, e.g. "horizontal head structure"
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
この発明は、スライダーの浮上面にギャップ部を有する
水平型の薄膜浮動式磁気ヘッドの構造に係わり、特にギ
ャップ部における磁気コアの構造に関する。
水平型の薄膜浮動式磁気ヘッドの構造に係わり、特にギ
ャップ部における磁気コアの構造に関する。
「従来の技術およびその課題」
従来より、薄膜浮動式磁気ヘッドの１つとして、浮上型
スライダーの浮上面に薄膜磁気ヘッドを配置した構成の
水平型の薄膜浮動式磁気ヘッドが提案されている。この
水平型の薄ＦＡ＠気ｌ＼ツドは、スライダーの大きさを
薄膜磁気ヘッド素子の大きさにまで小さくできる可能性
があること及びスライダー形状の加工がウェハー単位で
行・５ことができ、工数の削減が計れるなどの有＋１な
点があることから、実用化に向けて種々の研究および提
案がなされてきている。
スライダーの浮上面に薄膜磁気ヘッドを配置した構成の
水平型の薄膜浮動式磁気ヘッドが提案されている。この
水平型の薄ＦＡ＠気ｌ＼ツドは、スライダーの大きさを
薄膜磁気ヘッド素子の大きさにまで小さくできる可能性
があること及びスライダー形状の加工がウェハー単位で
行・５ことができ、工数の削減が計れるなどの有＋１な
点があることから、実用化に向けて種々の研究および提
案がなされてきている。
このような水平型のＲ膜厚動式磁気ヘッドの従来例を説
明すると、第４図ないし第６図は、特開昭６２−１３４
８１２号公報に記載された複合型磁気ヘッド装置を示す
図である。この複合型磁気ヘッド装置は、回転磁気記録
媒体Ｉに対向して移動するスライダー２と、このスライ
ダー２の浮上面３に形成された記録再生兼用薄膜磁気ヘ
ッド４と消去用薄膜磁気ヘッド５よりなる複合薄膜磁気
ヘッド６とから構成されている。両薄膜磁気ヘッドは、
磁性基板７上に、絶縁層８を介してコイルとして導体層
９を形成し、この導体層９を絶縁層８を介して囲むよう
に各々磁性基板７と磁気的に結合した１対の磁気ヨーク
１０ａ、１．Ｏｂを形成し、１対の磁気ヨーク１０ａ、
１０ｂの端部間に磁気ギヤツブＧを形成して構成されて
いる。
明すると、第４図ないし第６図は、特開昭６２−１３４
８１２号公報に記載された複合型磁気ヘッド装置を示す
図である。この複合型磁気ヘッド装置は、回転磁気記録
媒体Ｉに対向して移動するスライダー２と、このスライ
ダー２の浮上面３に形成された記録再生兼用薄膜磁気ヘ
ッド４と消去用薄膜磁気ヘッド５よりなる複合薄膜磁気
ヘッド６とから構成されている。両薄膜磁気ヘッドは、
磁性基板７上に、絶縁層８を介してコイルとして導体層
９を形成し、この導体層９を絶縁層８を介して囲むよう
に各々磁性基板７と磁気的に結合した１対の磁気ヨーク
１０ａ、１．Ｏｂを形成し、１対の磁気ヨーク１０ａ、
１０ｂの端部間に磁気ギヤツブＧを形成して構成されて
いる。
しかしながら、先の磁気ヘッドには次のような問題があ
った。すなわち、上記磁気ギヤツブＧは通常、幅０，１
〜０．８μ―、高さ１〜２μｍ程度の微少膜状に形成さ
れ、このような薄い膜を垂直に立てて形成するのが困難
であり、ギャップ長の制御が難しかった。その結果、ギ
ャップ長の不均一に起因する不良品の発生率が高く、製
品の歩留りが悪かった。
った。すなわち、上記磁気ギヤツブＧは通常、幅０，１
〜０．８μ―、高さ１〜２μｍ程度の微少膜状に形成さ
れ、このような薄い膜を垂直に立てて形成するのが困難
であり、ギャップ長の制御が難しかった。その結果、ギ
ャップ長の不均一に起因する不良品の発生率が高く、製
品の歩留りが悪かった。
一方、ギャップ部を浮上面に対し角度θをもって形成し
た磁気ヘッドについても知られている。
た磁気ヘッドについても知られている。
第７図ないし第９図は、特開昭６０−１２１５０８号公
報に記載された磁気ヘッド装置を示す図である。この磁
気ヘッド装置は、基板ｉｌ上に段差部分１２を設け、こ
の段差部分Ｉ２の斜面および上部に第１磁極１３とその
上方の第２磁極１４とを非磁性体よりなる所定の厚みの
ギャップ形成層１５を挾んで形成し、その上に保護膜Ｉ
６を形成したのち、段差上部の第１磁極Ｉ３が存在する
深さまで表面を除去してヘッド面１７を形成して作製さ
れたものである。なお、第８図の図中符号１８は再生用
導体コイル、１９はリード線である。
報に記載された磁気ヘッド装置を示す図である。この磁
気ヘッド装置は、基板ｉｌ上に段差部分１２を設け、こ
の段差部分Ｉ２の斜面および上部に第１磁極１３とその
上方の第２磁極１４とを非磁性体よりなる所定の厚みの
ギャップ形成層１５を挾んで形成し、その上に保護膜Ｉ
６を形成したのち、段差上部の第１磁極Ｉ３が存在する
深さまで表面を除去してヘッド面１７を形成して作製さ
れたものである。なお、第８図の図中符号１８は再生用
導体コイル、１９はリード線である。
しかしながら、この磁気ヘッド装置では、基板１１に形
成した段差部分１２に第１磁極Ｉ３と第２磁極１４とを
ギヤツブ形成層Ｇを挾んで形成するため、スライダーの
トレーディングエツジ近傍にギヤツブ部Ｇを形成するこ
とができず、ギヤツブ部Ｇがスライダーのトレーリング
エツジから遠い位置に形成されていることから、ヘッド
作動時にギヤツブ部Ｇと記録媒体との距離（浮上高さ）
が大きくなり、このため記録媒体への記録、再生、消去
などの各操作における磁気効率が悪くなる問題があった
。
成した段差部分１２に第１磁極Ｉ３と第２磁極１４とを
ギヤツブ形成層Ｇを挾んで形成するため、スライダーの
トレーディングエツジ近傍にギヤツブ部Ｇを形成するこ
とができず、ギヤツブ部Ｇがスライダーのトレーリング
エツジから遠い位置に形成されていることから、ヘッド
作動時にギヤツブ部Ｇと記録媒体との距離（浮上高さ）
が大きくなり、このため記録媒体への記録、再生、消去
などの各操作における磁気効率が悪くなる問題があった
。
この発明は、上記事情に鑑みてなされたもので、ギャッ
プ長を精密に制御することができるとともに、ギャップ
部をスライダーのトレーリングエツジに近接させて形成
することのできる水平型の薄膜浮動式磁気ヘッドの提供
を目的としている。
プ長を精密に制御することができるとともに、ギャップ
部をスライダーのトレーリングエツジに近接させて形成
することのできる水平型の薄膜浮動式磁気ヘッドの提供
を目的としている。
「課題を解決するための手段」
本発明は、スライダーとなる基板上に、下部磁性層、絶
縁層を介して、導体コイル層、上部磁性層、保護層を順
次形成してなる水平型薄膜浮動式磁気ヘッドにおいて、
絶縁層を介して上記上部磁性層と下部磁性層で形成する
ギャップ部を、媒体対向面に対し角度をもって形成した
ことを、上記課題を解決するための手段とした。
縁層を介して、導体コイル層、上部磁性層、保護層を順
次形成してなる水平型薄膜浮動式磁気ヘッドにおいて、
絶縁層を介して上記上部磁性層と下部磁性層で形成する
ギャップ部を、媒体対向面に対し角度をもって形成した
ことを、上記課題を解決するための手段とした。
また、上記ギャップ部の媒体対向面に対する角度は、５
０〜８５°に形成するのが好ましい。
０〜８５°に形成するのが好ましい。
さらに、上記ギャップ部を、基板のトレーリングエツジ
に近接させて形成することが望ましい。
に近接させて形成することが望ましい。
「作用 」
この発明の薄膜浮動式磁気ヘッドでは、スライダーとな
る基板上に、絶縁層を介して上部磁性層と下部磁性層で
形成するギャップ部を、媒体対向面に対し角度をもって
形成したことにより、このギャップ部のギャップ長を絶
縁膜の膜厚によって制御することが可能となる。
る基板上に、絶縁層を介して上部磁性層と下部磁性層で
形成するギャップ部を、媒体対向面に対し角度をもって
形成したことにより、このギャップ部のギャップ長を絶
縁膜の膜厚によって制御することが可能となる。
またギャップ部を媒体対向面に対し角度をもって形成す
るので、ギャップ部を基板のトレーリングエツジに近接
させて形成することができ、スライダーの中で媒体に最
も近い位置で磁気ヘッドを動作させることができる。
るので、ギャップ部を基板のトレーリングエツジに近接
させて形成することができ、スライダーの中で媒体に最
も近い位置で磁気ヘッドを動作させることができる。
「実施例」
以下、図面を参照して本発明の詳細な説明する。
第１図ないし第３図は、本発明の一実施例を示す図であ
って、これらの図中符号２１は薄膜浮動式磁気ヘッド（
以下、磁気ヘッドという）である。
って、これらの図中符号２１は薄膜浮動式磁気ヘッド（
以下、磁気ヘッドという）である。
この磁気ヘッド２１は、スライダー２２となる基板２３
上に、下部磁性層２４、絶縁層２５を介して、導体コイ
ル層２６、上部磁性層２７、保護Ｎ５２８を順次形成し
、絶縁層２５を介して上部磁性層２７と下部磁性層２４
で形成するギヤツブ部Ｇを、記録媒体２９対向面に対し
角度θをもって形成された構成になっている。
上に、下部磁性層２４、絶縁層２５を介して、導体コイ
ル層２６、上部磁性層２７、保護Ｎ５２８を順次形成し
、絶縁層２５を介して上部磁性層２７と下部磁性層２４
で形成するギヤツブ部Ｇを、記録媒体２９対向面に対し
角度θをもって形成された構成になっている。
上記ギヤツブ部Ｇの記録媒体２９対向面に対するβ１度
θは、５０〜８５゛に形成されるのが好ま１、い。この
角度０を５０〜８５゛の範囲外以外とすると、ギャップ
長を絶縁材料の膜厚で制御できるという効果が得られな
くなり或いはギヤツブ部Ｇの斜面部分が長くなって記録
再生効率の低下をまねいたりギヤツブ部Ｇの機械強度が
弱くなってしまう等の不具合を生じるおそれがある。
θは、５０〜８５゛に形成されるのが好ま１、い。この
角度０を５０〜８５゛の範囲外以外とすると、ギャップ
長を絶縁材料の膜厚で制御できるという効果が得られな
くなり或いはギヤツブ部Ｇの斜面部分が長くなって記録
再生効率の低下をまねいたりギヤツブ部Ｇの機械強度が
弱くなってしまう等の不具合を生じるおそれがある。
また、第２図および第３図に示すように、この磁気ヘッ
ド２１は、スライダー２２の浮上面３０に、ギヤツブ部
Ｇをトレーリングエツジ３１に近接させた状態で配設さ
れている。
ド２１は、スライダー２２の浮上面３０に、ギヤツブ部
Ｇをトレーリングエツジ３１に近接させた状態で配設さ
れている。
先の磁気ヘッド２１は、例えば次のように作製さｔコる
。
。
ＡＢＳ面（浮上面）側にプロセス用の基板（たとえばＳ
ｉ）を考え、この基板上に、保護層２８、上部磁性＠２
７、絶縁層２５、導体コイル層２６、下部磁性層２４、
絶縁層３２の順で形成し、基板２３を接着したのち、プ
ロセス用基板をエツチング等の手法で除去する。更に、
必要に心じて表面平滑処理を行うことによって、磁気ヘ
ッド２１が作製される。
ｉ）を考え、この基板上に、保護層２８、上部磁性＠２
７、絶縁層２５、導体コイル層２６、下部磁性層２４、
絶縁層３２の順で形成し、基板２３を接着したのち、プ
ロセス用基板をエツチング等の手法で除去する。更に、
必要に心じて表面平滑処理を行うことによって、磁気ヘ
ッド２１が作製される。
先の製造方法では、下部磁性層２４上に絶縁層２５を形
成するときに、ギヤツブ部Ｇの角度に相当する角度で斜
面状に形成された下部磁性層２４の凹部面のトレーリン
グエッジ３１側端部に、ギャップ長２に相当する膜厚の
絶縁層２５の延長部分を形威し、上部磁性層２７を形成
することにより、下部磁性層２５ど上部磁性層２７間に
形成されるギャップＫＳＧのギャップ長りを絶縁材料の
膜厚によって制御することができる。
成するときに、ギヤツブ部Ｇの角度に相当する角度で斜
面状に形成された下部磁性層２４の凹部面のトレーリン
グエッジ３１側端部に、ギャップ長２に相当する膜厚の
絶縁層２５の延長部分を形威し、上部磁性層２７を形成
することにより、下部磁性層２５ど上部磁性層２７間に
形成されるギャップＫＳＧのギャップ長りを絶縁材料の
膜厚によって制御することができる。
また、先の製造方法によれば、従来用いられている磁気
ヘッドの製造工程を殆ど変更することなく水平型の薄膜
浮動式磁気ヘッドを作製ケることができろ。
ヘッドの製造工程を殆ど変更することなく水平型の薄膜
浮動式磁気ヘッドを作製ケることができろ。
そして、この実施例による磁気ヘッド２１は、スライダ
ー２２とｔ；る基板２３上に、絶縁層２５を介して上部
磁性層２７と下部磁性層２４で形成するギヤツブ部Ｇを
、記録媒体２９対向面に対し、５０〜８５゛の角度θを
もって形成したので、ギヤ。
ー２２とｔ；る基板２３上に、絶縁層２５を介して上部
磁性層２７と下部磁性層２４で形成するギヤツブ部Ｇを
、記録媒体２９対向面に対し、５０〜８５゛の角度θを
もって形成したので、ギヤ。
ツブ部Ｇのギヤツブ長グを絶縁材料の成膜時の膜厚によ
って制御することができることから、ギャップ長９を極
めて精密に制御することができる。
って制御することができることから、ギャップ長９を極
めて精密に制御することができる。
またギャップ長２が精密に制御できることから、歩留ま
りを向上させることができる。
りを向上させることができる。
また、この磁気ヘッド２１は、ギヤツブ部Ｇをスライダ
ー２２のトレーリングエツジ３１に近接させて形成する
ことができるので、スライダー２２のなかで記録媒体２
９に最も近い位置で磁気ヘッドを動作させることができ
、磁気効率を向上させることができる。
ー２２のトレーリングエツジ３１に近接させて形成する
ことができるので、スライダー２２のなかで記録媒体２
９に最も近い位置で磁気ヘッドを動作させることができ
、磁気効率を向上させることができる。
「発明の効果」
本発明の＃［浮動式磁気ヘッドは、上記構成と１、たこ
とにより、次のような効果を奏する。
とにより、次のような効果を奏する。
本発明の薄膜浮動式磁気ｌ＼ラッド、スライダーとなる
基板上に、絶縁層を介して上部磁性層と下部磁性層で形
成するギャップ部を、記録媒体対向面に対し、角度θを
ちって形成したので、ギャップ部のギャップ長を絶縁材
料の成膜時の膜厚によって制御することができ、ギャッ
プ長を極めて精密に制御することができる。
基板上に、絶縁層を介して上部磁性層と下部磁性層で形
成するギャップ部を、記録媒体対向面に対し、角度θを
ちって形成したので、ギャップ部のギャップ長を絶縁材
料の成膜時の膜厚によって制御することができ、ギャッ
プ長を極めて精密に制御することができる。
またギャップ長が精密に制御できろことがら、歩留まり
を向上さＵ−ることかできる。
を向上さＵ−ることかできる。
また、ギャップ部をスライダーのトレーリングエツジに
近接させて形成することができるので、スライダーのな
かで記録媒体Ｉこ最も近い位置で磁気ヘッドを動作させ
ることができ、磁気ヘラトノ磁気効率を向上させること
ができる。
近接させて形成することができるので、スライダーのな
かで記録媒体Ｉこ最も近い位置で磁気ヘッドを動作させ
ることができ、磁気ヘラトノ磁気効率を向上させること
ができる。
更に、従来用いられている製造工程を殆ど変更すること
なく水平型の薄膜浮動式磁気ヘッドを作製することがで
きる。
なく水平型の薄膜浮動式磁気ヘッドを作製することがで
きる。
第１図ないし、第３図は、本発明の一実施例を示す図で
あって、第１図は磁気ヘッドの一部拡大断面図、第２図
はスライダーの斜視図、第３図は第２図の要部拡大斜視
図、第４図ないし第６図は従来の磁気ヘッドの一例を説
明するための図、第７図ないし第９図は、従来の磁気ヘ
ッドの他の例を説明するための図である。 １ ３ ５ ７ ９ １ ２２・・・スライダー ２４・・・下部磁性層 ２６・・・導体コイル ２８・・・保護層 Ｇ・・・ギャップ部 ングエッノ。 ・・・磁気ヘッド ・・・基板 ３２・・・絶＃層 ・・・上部磁性層 ・・・記録媒体 ・・・トレーリ
あって、第１図は磁気ヘッドの一部拡大断面図、第２図
はスライダーの斜視図、第３図は第２図の要部拡大斜視
図、第４図ないし第６図は従来の磁気ヘッドの一例を説
明するための図、第７図ないし第９図は、従来の磁気ヘ
ッドの他の例を説明するための図である。 １ ３ ５ ７ ９ １ ２２・・・スライダー ２４・・・下部磁性層 ２６・・・導体コイル ２８・・・保護層 Ｇ・・・ギャップ部 ングエッノ。 ・・・磁気ヘッド ・・・基板 ３２・・・絶＃層 ・・・上部磁性層 ・・・記録媒体 ・・・トレーリ
Claims (3)
- （１）スライダーとなる基板上に、下部磁性層、絶縁層
を介して、導体コイル層、上部磁性層、保護層を順次形
成してなる水平型薄膜浮動式磁気ヘッドにおいて、 絶縁層を介して上記上部磁性層と下部磁性層で形成する
ギャップ部を、媒体対向面に対し角度をもって形成した
ことを特徴とする薄膜浮動式磁気ヘッド。 - （２）請求項１記載の薄膜浮動式磁気ヘッドにおいて、
ギャップ部の媒体対向面に対する角度を５０〜８５゜に
形成したことを特徴とする薄膜浮動式磁気ヘッド。 - （３）請求項１記載の薄膜浮動式磁気ヘッドにおいて、
上記ギャップ部を、基板のトレーリングエッジに近接さ
せて形成したことを特徴とする薄膜浮動式磁気ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20984689A JPH0373404A (ja) | 1989-08-14 | 1989-08-14 | 薄膜浮動式磁気ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20984689A JPH0373404A (ja) | 1989-08-14 | 1989-08-14 | 薄膜浮動式磁気ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0373404A true JPH0373404A (ja) | 1991-03-28 |
Family
ID=16579592
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20984689A Pending JPH0373404A (ja) | 1989-08-14 | 1989-08-14 | 薄膜浮動式磁気ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0373404A (ja) |
-
1989
- 1989-08-14 JP JP20984689A patent/JPH0373404A/ja active Pending
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