JPH0373804B2 - - Google Patents

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JPH0373804B2
JPH0373804B2 JP57159753A JP15975382A JPH0373804B2 JP H0373804 B2 JPH0373804 B2 JP H0373804B2 JP 57159753 A JP57159753 A JP 57159753A JP 15975382 A JP15975382 A JP 15975382A JP H0373804 B2 JPH0373804 B2 JP H0373804B2
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01DMEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01D5/00Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
    • G01D5/26Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
    • G01D5/32Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
    • G01D5/34Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
    • G01D5/347Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
    • G01D5/34746Linear encoders
    • G01D5/34753Carriages; Driving or coupling means
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/0002Arrangements for supporting, fixing or guiding the measuring instrument or the object to be measured
    • G01B5/0009Guiding surfaces; Arrangements compensating for non-linearity there-of

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  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Optical Transform (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、精密機械及び位置決め測定器の誤
差補正のための装置、特に尺度具体化部材と測定
方向に移動して調節部材によつて客体の結合方向
に区分毎に補正すべき誤差に合わせて偏向可能
な、前記客体のうち一方の客体にある補正定規
と、前記客体のうちのもう一方の客体の前記尺度
具体化部材を走査する走査装置と、この走査装置
に測定方向の、補正定規の移動に対応する補正運
動を重ねる伝達部材とを有する、特に測定方向に
縦移動する二個の客体の相対位置を測定するため
の防護蓋測長器用の装置に関する。前記の二つの
対象物は精密機械のベツトとスライドとで構成さ
れる場合がある。
機械誤差を補正するための補正装置はいくつか
知られている。ドイツ連邦共和国特許第866402号
明細書に記載された技術水準の測定装置には補正
定規があり、測定装置の読取マークは機械的にス
ピンドルのそれぞれの誤差に対応する。尺度に対
応する位置へ動かされる。米国特許第226162号明
細書に類似の解決策が記載されている。米国特許
第3039032号明細書から一つの補正原型を有する
位置測定装置が知られている。その補正原型は一
つの感知器によつて走査され、この感知器は直接
測定値発生器(回転告知器)に作用する。スイス
特許第266408号明細書には光学的測定装置が記載
されている。この測定装置では補正に関わる制御
手段が光学的読取ユニツト中の放射路に影響を与
える。ドイツ連邦共和国出願公告公報第1231595
号には移動する機械構成部分の運動の電気的遠隔
表示のための装置が開示されている。この装置で
は誤差の平均化のために補償装置を設けてあり、
この補償装置には変形可能な金属帯があり、この
金属帯は一台の発生器によつて走査される。変形
可能な金属帯は米国特許第3182375及び米国特許
第2326550号で補正型として提案されている。更
に別の誤差補正装置がドイツ連邦共和国出願公開
第2042505号公報に記載されている。この公報に
よれば一台の機械の数量測定装置は補正原型を走
査する部材によつて機械スピンドルのそれぞれの
誤差値に対応する附加運動をする。
更にドイツ連邦共和国特許第1303080号、第
1070522号及び米国特許第2995826号明細書から知
られる補正装置がある。それらの補正装置では補
正原型が一点で回転し、これによつて補正型が測
定方向に対して直角方向に調節できる。
更にドイツ連邦共和国特許第2724858号明細書
から、補正型を個々の型断片から構成することが
知られている。それらの型断片は鎖のように相互
に関節式に連結されており且つ測定方向に対して
直角方向に調節することができる。この装置は、
測定長が長いために補正装置も同様に長くする必
要がある場合には、個々の型断片から任意の長さ
の補正装置を組立てることができるので有利であ
る。
前記のいくつかの補正装置は一部は附加的な電
気式又は光学式調節部材又は回転発生器で作動さ
せられるか或いは直接機械に接続されている。し
かしこれらの装置は何れも構造的には非常に費用
がかゝり、従つて高価であり、製造と組立に問題
がなくはない。
この発明の基本的課題は、場所を節約し、大き
な補正範囲を有し、非線形補正も可能にし、その
個有の誤差は極く僅かであり、構成、製造、組立
が特に容易な補正装置の創成にある。
前記の課題はこの発明によつて次のようにして
達成される。即ち補正定規を測定方向に延在する
一体の型で構成し、型は間隔をおいて横断面に縮
小部を有し、これらの横断面縮小部が曲がり箇所
を形成し、曲がり箇所の間にそれぞれ一個の直線
部があり、伝達部材は回動するアームと、走査装
置を変位させるための偏心輪から成り、偏心輪で
ある調節部材は外径が型の幅より大きく、中空体
で回転可能に走査方向に延びる長孔に軸支され同
方向に変位し、任意の位置に固定可能であり、型
を曲がり箇所で曲げるように構成する。
この発明の特別の利点は次の点にある。即ち型
が中空体の内部にあり、型が補正すべき誤差の経
過に応じて中空体の外側から偏心輪によつて偏向
させられる。
調節と固定のために本質的に規格化された、即
ち廉価な構成要素を組込むことができる。
一実施例を示した図をもとに更に説明する。
第1図の、簡単にして示した断面は中空体1を
有する防護覆蓋測長器である。この測長器は加工
機械或いは測定機械のベツト2に任意の態様で固
定的にとりつけてある。加工又は測定機械のサド
ル3は据付脚部4を有する。この据付脚部はたと
えばねじ5でサドル3に固定されている。据付脚
部4は刃状体6を有する。この刃状体は間隙1a
から、その他は完全に閉鎖された中空体1の中へ
突出している。中空体1の内面には弾性接着層7
を介してスケール8がとりつけられており、この
スケールは測定標準を具体化する。スケール8に
は走査ユニツト9が支承されており、この走査ユ
ニツトは第1図には図示してない自体公知の手段
でスケール8の目盛を走査する。機械ベツト2と
機械サドル3の相対運動はアングルレバー10を
介して据付脚部4と刃状体6から走査ユニツト9
とスケール8に伝達される。機械ベツト2と機械
サドル3の案内誤差は補正装置なしにやはり充分
に伝達されよう。そうして誤差としての測定結果
となる。従つてこの測長器は、中空体1の内部に
配設された補正装置を有する。アングル状の、一
片の型11は間隔をおいて横断面縮小部11aを
有する。横断面縮小部11aの近くにこゝでは偏
心輪12である調節部材があり、この調節部材に
よつて型11は補償される誤差の経過に応じてそ
の直線から反れる。アングルレバー10は軸1
0′を中心に回動するように走査ユニツト9に連
結している。アングルレバー10の一自由端はロ
ール13を有する。このロールは摺動に際して型
11の線移動に従い、アングルレバー10を軸1
0′の周りに回動させる。アングルレバー10の
回動運動は本装置の補正される誤差の経過に対応
する。偏心輪12は中空体1の右側の部分に回転
可能に支承されている。回転軸は短い水平の一点
鎖線で示してある。斜線を入れたL字形の型11
には第2図以下に示すように長孔16があり、こ
の長孔に偏心輪12の偏心した延長部が係合す
る。偏心輪12が回転すると偏心輪12の回転軸
に対して直角をなす方向からL字形の型11に力
が加えられるので、客体を結合する方向に対応し
かつ測定方向に対して直角方向になる偏向運動が
起こる。
補正はやはり偏心輪14としても構成すること
ができるアングルレバー10の第二アームによつ
て行なわれる。このアームはアングルレバー10
の回転運動を走査ユニツト9と刃状体6の間の相
対運動に転換する。中空体1の間隙1aから突出
している刃状体6は屋根状に配設された密閉唇状
部材15によつて密接して包囲されるので、この
箇所でも測定装置の確実な防護覆蓋が保証されて
いる。
第2図に理解し易いように構成部材の一部のみ
を側面図で示してある。固定ねじのための孔4′
を有する据付脚部4は刃状体6を支持している。
刃状体6の表面は円筒形の連行部材6′をそなえ
ており、この連行部材にアングルレバー10がそ
の偏心輪14で係合する。走査ユニツト9は断片
として、走査ユニツト9から突出している軸1
0′によるアングルレバー10の固定が分る程度
にしか示してない。さて据付脚部4が矢印方向に
摺動すると、この長手運動に走査ユニツト9が続
く。何となれば走査ユニツトはばね9′で連行部
材6′に保持されており、アングルレバー0はロ
ール13で型11を走査する。型の曲線走行は誤
差の経過に従つて偏心輪12を介して調節され
る。この場合アングルレバー10は軸10′を中
心に回動し、偏心輪14によつて走査ユニツト9
と円筒形の連行部材6′との間の間隔、つまり据
付脚部との間隔も変る。従つて据付脚部4が機械
サドル3毎生じる案内誤差は調節可能な型11に
原因がある、走査ユニツト9と据付脚部4との間
の相対運動によつて補償するとができる。
第3図には補正型11を示してある。この補正
型は偏心輪12によつて偏向されている。横断面
縮小部11aの間の組合曲線の直線状の経過が認
められ、横断面縮小部は曲がり箇所11bを形成
するとができる。偏向によつて長さが変化するの
で、型11に長穴16があり、これらの長穴が補
正型11の長手方向摺動を可能にする。補正型1
1の一端は測定ゼロ点に関して、こゝに図示はし
てないが公知の態様で固定されている。
第5図にはスケール18をそなえた走査板9a
を示してある。この例の場合には、第1図の場合
のように、光電式デイジタルの測長器である。簡
単な構造では走査ユニツト9がスケール8に沿つ
てではなく、直接搬送部材20を介して前記サド
ル3の一つに結合されている。走査板9aは板ば
ね21を介して搬送部材20に結合されていて、
従つて走査板は伝達部材10,13,14によつ
て測定方向に移動させることができる。機械の誤
差の経過に従つて補正定規11の偏向が起きた後
に補正定規は締付部材19によつて中空体1にそ
の位置で固定される。それに特に適しているのが
市販の標準ナツトである。何となれば締付部材1
9の使用とアングル形の型11の場合には、型ア
ングルの側部がねじれ防止となるからである。別
の固定の仕方は所謂滑り子の使用にある。これら
の滑り子は締付フランジを有する。
この発明は光電式のデイジタル測長器には限定
されず、光学、インダクタンス、容量、磁気測定
器に有利に使用することができる。無論この発明
は案内誤差の補正にのみ限定されるのではなく、
内部的目盛誤差の補正にも適している。
【図面の簡単な説明】
第1図は、防護覆蓋測長器の横断面図、第2図
は据付脚部、刃状体、アングルレバー及び部分的
に示した補正定規の図、第3図は直線から偏向し
たアングル状補正定規、第4a図は偏心輪と滑り
子を介して行なう調節部材付の扁平な補正型、第
4b図は第4a図の補正型の平面図、第5図は目
盛のある走査板と補正定規断片の図である。 図中符号、11……型、11a……横断面縮小
部、11b……曲がり箇所、11c……直線部、
12……調節手段。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 精密機械及び位置決め測定器の誤差補正のた
    めの装置、特に尺度具体化部材8と測定方向に移
    動して調節部材12によつて客体2,3の結合方
    向に区分毎に補正すべき誤差に合わせて偏向可能
    な、前記客体のうちの一方の客体2にある補正定
    規と、前記客体のうちのもう一方の客体3の前記
    尺度具体化部材8を走査する走査装置9と、この
    走査装置9に測定方向の、補正定規の移動に対応
    する補正運動を重ねる伝達部材とを有する、特に
    測定方向に縦移動する二個の客体2,3の相対位
    置を測定するための防護覆蓋測長器用の装置にお
    いて、補正定規を測定方向に延在する一体の型1
    1で構成し、型11は間隔をおいて横断面に縮小
    部11aを有し、、これらに横断面縮小部が曲が
    り箇所11bを形成し、曲がり箇所11bの間に
    それぞれ一個の直線部があり、伝達部材は回動す
    るアーム10と、走査装置9を変位させるための
    偏心輪14から成り、偏心輪である調節部材12
    は外径が型11の幅より大きく、中空体1中で回
    転可能に走査方向に延びる長孔16に軸支され同
    方向に変位し、任意の位置に固定可能であり、型
    11が曲がり箇所11bの所で曲げるように構成
    したことを特徴とする誤差補正装置。 2 型11をL字型アングル型として構成してあ
    ることを特徴とする特許請求の範囲1に記載の装
    置。
JP57159753A 1981-09-17 1982-09-16 誤差補正装置 Granted JPS5862510A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE3136981A DE3136981C1 (de) 1981-09-17 1981-09-17 Fehlerkompensationseinrichtung
DE3136981.2 1981-09-17

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5862510A JPS5862510A (ja) 1983-04-14
JPH0373804B2 true JPH0373804B2 (ja) 1991-11-25

Family

ID=6141945

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP57159753A Granted JPS5862510A (ja) 1981-09-17 1982-09-16 誤差補正装置

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4430799A (ja)
EP (1) EP0075081B1 (ja)
JP (1) JPS5862510A (ja)
AT (1) ATE25428T1 (ja)
DE (1) DE3136981C1 (ja)

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