JPH0375268A - マイクロ波用誘電体磁器組成物の製造方法 - Google Patents
マイクロ波用誘電体磁器組成物の製造方法Info
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- ZKATWMILCYLAPD-UHFFFAOYSA-N niobium pentoxide Chemical compound O=[Nb](=O)O[Nb](=O)=O ZKATWMILCYLAPD-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 6
- UBEWDCMIDFGDOO-UHFFFAOYSA-N cobalt(II,III) oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Co+2].[Co+3].[Co+3] UBEWDCMIDFGDOO-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 4
- PBCFLUZVCVVTBY-UHFFFAOYSA-N tantalum pentoxide Inorganic materials O=[Ta](=O)O[Ta](=O)=O PBCFLUZVCVVTBY-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 3
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract 2
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（イ）産業上の利用分野
本発明はマイクロ波領域で共振器材料等に使用される誘
電体磁器組成物の製造方法に関する。
電体磁器組成物の製造方法に関する。
（ロ）従来の技術
過早、マイクロ波領域において誘電体磁器が共振機やＭ
ＩＣ（マイクロ波集積回路）基板等の材料として広く使
用されている。
ＩＣ（マイクロ波集積回路）基板等の材料として広く使
用されている。
この種の誘電体磁器として、出願人は特願平１−９９５
５２号において、Ｔ ｉ Ｏ＊ −Ｚ ｒ Ｏ＊ −５
ｎＯ８を主成分とし、これに添加物としてａＣ。
５２号において、Ｔ ｉ Ｏ＊ −Ｚ ｒ Ｏ＊ −５
ｎＯ８を主成分とし、これに添加物としてａＣ。
Ｏ＋βＣ０Ｉ０４とＮ ｂ ＊ ＯｓまたはＴａｌｏｇ
とを含有させてなるマイクロ波用誘電体磁器組成物を提
案した。
とを含有させてなるマイクロ波用誘電体磁器組成物を提
案した。
この誘電体磁器の製造方法の一例を以下説明する。Ｔｉ
ｅ、、ＺｒＯ＊ｅ Ｓｎｏｗ、ａｃｏＯ＋βＣ０Ｉ０
４及びＮｂ＊Ｏｓ（またはＴ ａ ｇｏ ｉ）をそれぞ
れ所定量秤量し、５〜１０時間湿式混合する。
ｅ、、ＺｒＯ＊ｅ Ｓｎｏｗ、ａｃｏＯ＋βＣ０Ｉ０
４及びＮｂ＊Ｏｓ（またはＴ ａ ｇｏ ｉ）をそれぞ
れ所定量秤量し、５〜１０時間湿式混合する。
次にこれを脱水、乾燥し、得られた粉末を１０００〜１
２００℃で１〜２時間予備焼結を行なう。
２００℃で１〜２時間予備焼結を行なう。
そして、この予備焼結物に対して２０〜６０時間湿式粉
砕を行なう。次にそれを脱水、乾燥し、得られた粉末を
２０００−３０００ｋｇ／ｃｍ”の圧力をかけて直径１
０ｍｍ、厚み６ｍｍの円板に底型する。その後、この成
型物の本焼結を空気中で先の予備焼結時よりも高い温度
で数時間行なう。そして、最後にこの本焼結によって４
する焼結物の厚みが径の１八になるように両面研磨を行
ない誘電体磁器を得る。
砕を行なう。次にそれを脱水、乾燥し、得られた粉末を
２０００−３０００ｋｇ／ｃｍ”の圧力をかけて直径１
０ｍｍ、厚み６ｍｍの円板に底型する。その後、この成
型物の本焼結を空気中で先の予備焼結時よりも高い温度
で数時間行なう。そして、最後にこの本焼結によって４
する焼結物の厚みが径の１八になるように両面研磨を行
ない誘電体磁器を得る。
以上のようにして得られる誘電体磁器は特性的には良好
なものとなる。
なものとなる。
しかしながら、予備焼結時及び本焼結時に焼結性及び特
性向上に寄与するコバルトが蒸発してしまい特性がバラ
つくという問題があった。
性向上に寄与するコバルトが蒸発してしまい特性がバラ
つくという問題があった。
このことは焼結後、焼結ポート内部にコバルトの蒸発し
た跡が見られることにより確認される。
た跡が見られることにより確認される。
（ハ）発明が解決しようとする課題
本発明は上述の問題に鑑み焼結特にコバルトが蒸発する
のをできるだけ抑え得るマイクロ波用誘電体磁器組戊物
の製造方法を提供することを目的とする。
のをできるだけ抑え得るマイクロ波用誘電体磁器組戊物
の製造方法を提供することを目的とする。
（ニ）課題を解決するための手段
本発明はモル分率をＸ、ｙ、ｚ （ｘ＋ｙ＋ｚ＝ｌ）と
した時組成式がｘ Ｔｉｏｘ−ｙ−ＺｒＯｔ−ｚ・Ｓｎ
Ｏ＊（但し、０．３０≦ｘ≦０．６０．０゜２５≦ｙ≦
０．６０，０．０２５≦ｚ≦０．２０）で表わされる物
質を主成分とし、これに添加物としてａｃｏｏ＋βＣｏ
５ｔ４（但し、０≦Ｃ【≦ｌ、Ｏ≦β≦１、α＋β＝１
）を５重量％以下でＮｂｔＯＳまたはＴ ａ ！ Ｏｓ
を１０重量％以下含有させてなるマイクロ波用誘電体磁
器組成物の製造方法であって、添加物のαＣｏＯ＋βＣ
ｏ３Ｏ４とＮｂ。
した時組成式がｘ Ｔｉｏｘ−ｙ−ＺｒＯｔ−ｚ・Ｓｎ
Ｏ＊（但し、０．３０≦ｘ≦０．６０．０゜２５≦ｙ≦
０．６０，０．０２５≦ｚ≦０．２０）で表わされる物
質を主成分とし、これに添加物としてａｃｏｏ＋βＣｏ
５ｔ４（但し、０≦Ｃ【≦ｌ、Ｏ≦β≦１、α＋β＝１
）を５重量％以下でＮｂｔＯＳまたはＴ ａ ！ Ｏｓ
を１０重量％以下含有させてなるマイクロ波用誘電体磁
器組成物の製造方法であって、添加物のαＣｏＯ＋βＣ
ｏ３Ｏ４とＮｂ。
ＯｓまたはＴａ２Ｏ３を予め合成しておき、主成分に添
加することを特徴とするものである。
加することを特徴とするものである。
（ホ）作 用
上述のように添加物のａｃｏｏ＋βＣｏ５ｔｓとＮ ｂ
１０１またはＴａ１Ｏｓとを予め脅威することにより
焼結時におけるコバルトの蒸発が抑えられる。
１０１またはＴａ１Ｏｓとを予め脅威することにより
焼結時におけるコバルトの蒸発が抑えられる。
（へ）実施例
本発明による誘電体磁器の製造方法の一実施例を以下説
明する。
明する。
マイクロ波用誘電体磁器材料として高純度のＴｉ０ｔ、
ＺｒＯｔ、ＳｎＯ，、Ｎ ｂ ｔ ０−１Ｔａ、０゜及
びαＣｏＯ＋βＣｏ２Ｏ３を使用する。まず、主成分の
ＴｉＱ、、Ｚ ｒ ０１及びＳｎＯ！と、添加物のａｃ
ｏｏ＋βＣｏ５Ｏ４，ＮｂｔｏＳまたはＴａ。
ＺｒＯｔ、ＳｎＯ，、Ｎ ｂ ｔ ０−１Ｔａ、０゜及
びαＣｏＯ＋βＣｏ２Ｏ３を使用する。まず、主成分の
ＴｉＱ、、Ｚ ｒ ０１及びＳｎＯ！と、添加物のａｃ
ｏｏ＋βＣｏ５Ｏ４，ＮｂｔｏＳまたはＴａ。
Ｏ，をそれぞれ別々に秤量し、ボールミル等で５〜１０
時間湿式混合する。次にこれらを脱水、乾燥し、得られ
たそれぞれの粉末を、主成分は１゜００〜１２００℃で
１〜２時間予備焼結を行ない、添加物は８００〜１００
０ｔ：で１〜２時間予備焼結により脅威する。そして、
主成分に対し所定の割合で添加物を合成したものを加え
、２０〜６０時間湿式粉砕を行なう。次にそれを脱水、
乾燥し、得られた粉末を２０００〜ａｏｏｏｋｇ／ｃｍ
廖の圧力をかけて直径１ｏｌＩＩＩ１１、厚み６ｆｆｉ
１１の円板に底型する。その後、この成型物の本焼結を
空気中で１３５０〜１５００ ’Ｃで数時間行なう。そ
して、最後にこの本焼結によって得る焼結物の厚みが径
の１八になるように両面研磨を行いｔｌｔｌ礁体を得る
。次に、上述の如き、本発明の製造方法による磁器試料
の２０℃、７〜８．５Ｇｆｌｚにおける誘電率（ｃ）及
びＱをハジキコールマン法により測定した結果を前述の
従来の製造方法によるものと比較して説明する。
時間湿式混合する。次にこれらを脱水、乾燥し、得られ
たそれぞれの粉末を、主成分は１゜００〜１２００℃で
１〜２時間予備焼結を行ない、添加物は８００〜１００
０ｔ：で１〜２時間予備焼結により脅威する。そして、
主成分に対し所定の割合で添加物を合成したものを加え
、２０〜６０時間湿式粉砕を行なう。次にそれを脱水、
乾燥し、得られた粉末を２０００〜ａｏｏｏｋｇ／ｃｍ
廖の圧力をかけて直径１ｏｌＩＩＩ１１、厚み６ｆｆｉ
１１の円板に底型する。その後、この成型物の本焼結を
空気中で１３５０〜１５００ ’Ｃで数時間行なう。そ
して、最後にこの本焼結によって得る焼結物の厚みが径
の１八になるように両面研磨を行いｔｌｔｌ礁体を得る
。次に、上述の如き、本発明の製造方法による磁器試料
の２０℃、７〜８．５Ｇｆｌｚにおける誘電率（ｃ）及
びＱをハジキコールマン法により測定した結果を前述の
従来の製造方法によるものと比較して説明する。
尚、作成した磁器試料の主成分子ｉＯ，，Ｚｒ０１及び
ＳｎＯ，はモル分率でこの順に０．５２：０．４２ ：
０．０６になるよろ秤量し、１１５０℃×２時間で予
備焼結を行った。また、添加物は９００℃×２時間で予
備焼結により合成した。
ＳｎＯ，はモル分率でこの順に０．５２：０．４２ ：
０．０６になるよろ秤量し、１１５０℃×２時間で予
備焼結を行った。また、添加物は９００℃×２時間で予
備焼結により合成した。
（１）第１表は添加物としてａｃｏｏ＋βＣ。
２Ｏ３（ただし、ａ＝０．８５、β＝０．１５とし、以
下ＣｏｘＯｘと略記する）とＮｂｘＯｓをモル分率でｌ
：ｌの割合にしたときの測定結果である。
下ＣｏｘＯｘと略記する）とＮｂｘＯｓをモル分率でｌ
：ｌの割合にしたときの測定結果である。
以下余白
第１表
申二本発明範囲外
（２）第２表は添加物として、ＣｏｘＯｘとＮｂ、０．
をモル分率で２＝１の割合にしたときの測定結果である
。
をモル分率で２＝１の割合にしたときの測定結果である
。
中：本発明範囲外
（３）第３表は添加物として、ＣｏｘＯｘとＴａ、０．
をモル分率で２：１の割合にしたときの測定結果である
。
をモル分率で２：１の割合にしたときの測定結果である
。
第３表
中本発明範囲外
（４）第４表は添加物とし°（、ＣｏｘＯｘとＮｂ＊Ｏ
ｓを２：ｌのモル分率で３．５重量％とした第１〜３表
かられかるように本発明の構造方法による磁器試料と従
来例によるものの測定結果とを比較すると、特性的に１
よ路間等かそれ以上の値となっている。
ｓを２：ｌのモル分率で３．５重量％とした第１〜３表
かられかるように本発明の構造方法による磁器試料と従
来例によるものの測定結果とを比較すると、特性的に１
よ路間等かそれ以上の値となっている。
また、添加物のＣｏｘＯｘ、Ｎｂ＊Ｏｓ及びＴａ、０．
は量的なバランスが重要であり、添加量が一定量以上に
なると特性が悪くなるが、本発明によると悪くなる程度
は小さい。
は量的なバランスが重要であり、添加量が一定量以上に
なると特性が悪くなるが、本発明によると悪くなる程度
は小さい。
さらに、第４表かられかるように本発明によると同一条
件で作成した試料において、従来方法に比べて特性のば
らつきが小さくなっている。
件で作成した試料において、従来方法に比べて特性のば
らつきが小さくなっている。
（ト）発明の詳細
な説明したように本発明によれば、Ｃｏの蒸発が少なく
なり、特性のばらつきを減少させることができ、また従
来方法に比べて路間等かそれ以上の特性を有するマイク
ロ波用誘電体磁器組戊物が得られる。
なり、特性のばらつきを減少させることができ、また従
来方法に比べて路間等かそれ以上の特性を有するマイク
ロ波用誘電体磁器組戊物が得られる。
Claims (1)
- （１）モル分率をｘ、ｙ、ｚ（ｘ＋ｙ＋ｚ＝１）とした
時組成式がｘ・ＴｉＯ＿２−ｙ・ＺｒＯ＿２−ｚ・Ｓｎ
Ｏ＿２（但し、０．３０≦ｘ≦０．６０、０．２５≦ｙ
≦０．６０、０．０２５≦ｚ≦０．２０）で表わされる
物質を主成分とし、これに添加物としてαＣｏＯ＋βＣ
ｏ＿３Ｏ＿４（但し、０≦α≦１、０≦β≦１、α＋β
＝１）を５重量％以下でＮｂ＿２Ｏ＿３またはＴａ＿２
Ｏ＿３を１０重量％以下含有させてなるマイクロ波用誘
電体磁器組成物の製造方法であって、 前記添加物のαＣｏＯ＋βＣｏ＿３Ｏ＿４とＮｂ＿２Ｏ
＿３またはＴａ＿２Ｏ＿３とを予め合成しておき、前記
主成分に添加することを特徴とするマイクロ波用誘電体
磁器組成物の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1208100A JP2804531B2 (ja) | 1989-08-11 | 1989-08-11 | マイクロ波用誘電体磁器組成物の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1208100A JP2804531B2 (ja) | 1989-08-11 | 1989-08-11 | マイクロ波用誘電体磁器組成物の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0375268A true JPH0375268A (ja) | 1991-03-29 |
| JP2804531B2 JP2804531B2 (ja) | 1998-09-30 |
Family
ID=16550636
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1208100A Expired - Fee Related JP2804531B2 (ja) | 1989-08-11 | 1989-08-11 | マイクロ波用誘電体磁器組成物の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2804531B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008013168A1 (en) * | 2006-07-27 | 2008-01-31 | Sharp Kabushiki Kaisha | Optical information recording medium, reproducing device for optical information recording medium, and reproducing method for optical information recording medium |
| JP2018534226A (ja) * | 2015-09-28 | 2018-11-22 | コーニング インコーポレイテッド | チタン酸ジルコニウムスズ組成物、それを含むセラミック体、およびそれを製造する方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5217697A (en) * | 1975-07-31 | 1977-02-09 | Murata Mfg Co Ltd | Dielectic porcelain composite to the high frequency purpose |
| JPS58217465A (ja) * | 1982-06-08 | 1983-12-17 | 株式会社村田製作所 | 高周波用誘電体磁器組成物 |
-
1989
- 1989-08-11 JP JP1208100A patent/JP2804531B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5217697A (en) * | 1975-07-31 | 1977-02-09 | Murata Mfg Co Ltd | Dielectic porcelain composite to the high frequency purpose |
| JPS58217465A (ja) * | 1982-06-08 | 1983-12-17 | 株式会社村田製作所 | 高周波用誘電体磁器組成物 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008013168A1 (en) * | 2006-07-27 | 2008-01-31 | Sharp Kabushiki Kaisha | Optical information recording medium, reproducing device for optical information recording medium, and reproducing method for optical information recording medium |
| JP2018534226A (ja) * | 2015-09-28 | 2018-11-22 | コーニング インコーポレイテッド | チタン酸ジルコニウムスズ組成物、それを含むセラミック体、およびそれを製造する方法 |
| US10882794B2 (en) | 2015-09-28 | 2021-01-05 | Corning Incorporated | Zirconium tin titanate compositions, ceramic bodies comprising same, and methods of manufacturing same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2804531B2 (ja) | 1998-09-30 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |