JPH0375724A - 内部電極を有するplzt積層圧着体 - Google Patents

内部電極を有するplzt積層圧着体

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JPH0375724A
JPH0375724A JP21218889A JP21218889A JPH0375724A JP H0375724 A JPH0375724 A JP H0375724A JP 21218889 A JP21218889 A JP 21218889A JP 21218889 A JP21218889 A JP 21218889A JP H0375724 A JPH0375724 A JP H0375724A
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JP
Japan
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plzt
green sheet
laminated
internal electrodes
printed
Prior art date
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Application number
JP21218889A
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English (en)
Inventor
Kingo Omura
大村 金吾
Atsushi Noto
能戸 敦志
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Fujitsu General Ltd
Original Assignee
Fujitsu General Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、投射型デイスプレィや直視型デイスプレィな
どに用いられるPLZTライトバルブの製造工程中に製
造されるPLZT積層圧着体に関するものである。
[従来の技I!] 近年、PLZT(例えば(P bo−sz Lao−a
m)(Zrs−ssTlo−as)03)を用いたマト
リックス型ライトバルブの研究開発が盛んになってきた
。このようなPLZTライトバルブを用いた投射型デイ
スプレィや直視型デイスプレィは高輝度、高精細化が期
待されているが、その電極構造が問題となっていた。
従来のPLZTライトバルブは1本出願人が既に提案し
た特願昭63−108648号(以下、単に第1提案と
いう)のr従来の技術」の欄で説明したように、表面電
極法や平行板電極法などによって縦方向電極と横方向電
極とを形成していた。しかし、第1提案の「発明が解決
しようとする課題」の欄で説明したように、表面電極法
はPLZT内部の電界分布が不均一になってコントラス
トやクロストークの低下が生じるという問題があり、平
行板電極法は加工工程が複雑でしかも高い加工精度が要
求されるという問題があった。このような問題を解決す
るため1本出願人は第1提案において、グリーンシート
プロセスを用いて電極をPLZTの内部に埋設した内部
電極型とし、電界分布を均一とし、作成が容易なマトリ
ックス型のPLZTライトパルプおよびその製造方法を
提案した。
この第1提案のものでは、第4図に示すように。
表面に縦方向内部電極群1,1.1.・・・を印刷した
第1のPLZTグリーンシート2と、表面に横方向内部
電極群3.3,3.・・・を印刷した第2のPLZTグ
リーンシート4とを交互に積層し、ついで圧着すること
によって第5図に示すようなPLZT積層圧着体5を形
成する。そして、このPLZT積層圧着体5を焼成する
ことによって第6図に示すようなPLZT焼結体6を形
成し、このPLZT焼結体6を縦方向内部電極群1,1
.1゜・・・と直交し、かつ横方向内部電極群3.3,
3、・・・と平行な切断面7で切断し9両面を研磨する
ことによってマトリックス型のPLZTライトパルプを
製造していた。
しかしながら、第4図に示すように、第1.第2PLZ
Tグリーンシート2,4の表面には内部電極群1,1.
1、・・・ 3.3.3、・・・のそれぞれの電極間に
間隙8.8.8、・・・が有り1表面に段差が有るので
、このような段差の有る第1、第2PLZTグリーンシ
ート2.4の複数枚を積層圧着して形成したPLZT積
層圧着体5は、間隙8.8.8.・・・部分の機械的強
度が低下するとともに、内部電極群1,1、l、・・・
 3,3.3、・・・の電極間の絶縁性が悪くなるとい
う問題があった。また、PLZT積層圧着体5を焼成し
て第6図に示すようなPLZT焼結体6を形成した場合
、間隙8.8.8.・・・部分に空孔9.9.9、・・
・が生じ。
機械的強度が低下したり、空孔9.9.9、・・・に内
部電極群1,1.1.・・・、3.3.3、・・・が入
り込んで、電極間が短絡したり、電極間の絶縁性が悪く
なったりするという問題があった。
このような問題を解決するため、本出願人は、特願平1
−69474号(以下、単に第2提案という)において
、第3図に示すように、PLZTグリーンシート15の
内部電極群11.・・・の間隙にPLZTペーストを印
刷することによって、間隙埋設体18.・・・を形成し
たものを複数枚積層圧着してなるPLZT積層圧着体1
0を提案した。
[発明が解決しようとする課題] しかしながら、第3図に示すような第2提案のPLZT
積層圧着体10は、PLZTグリーンシート15と、そ
の上面に印刷形成された内部電極群11゜・・・および
間隙埋設体18.・・・との境界(印刷面境界)Lにお
ける接着状態は良好であるが、内部電極群11、・・・
および間隙埋設体18、・・・と、その上部に位置する
PLZTグリーンシート15との境界(圧着面境界)U
における接着状態が不十分となり易いため、熱圧着時間
を長くしないと脱バインダ時に境界UにおいてPLZT
グリーンシート15が剥離するデラミネーションが生じ
るという問題点があった。これは、PLZTグリーンシ
ート15のバインダと間隙埋設体18を形成するPLZ
Tペーストのバインダとが異なるため、PLZTグリー
ンシート15と間隙埋設体18との「なじみ」が悪いこ
とによるものと考えられる。
本発明は、上述の問題点に鑑みてなされたもので、熱圧
着時間を短くしても脱バインダ時にデラミネーションが
生じないPLZT積層圧着体を提供することを目的とす
るものである。
[課題を解決するための手段〕 本発明による内部電極を有するPLZT積層圧着体は、
複数枚のPLZTグリーンシートを積層圧着してなるP
LZT積層圧着体において、上下に隣接する下側のPL
ZTグリーンシートの上面には、電極パターンと、この
電極パターンの電極間を埋めるPLZTペーストからな
る間隙埋設体とが印刷され、上下に隣接する上側のPL
ZTグリーンシートの下面には、前記間隙埋設体を形成
するPLZTペーストと同質のPLZTペーストからな
る圧着層が印刷されてなることを特徴とするものである
[作用] 上下に隣接するPLZTグリーンシートの下側のPLZ
Tグリーンシートの上面には、電極パターンの電極間に
存在する間隙を埋めるPLZTペーストからなる間隙埋
設体が設けられているので。
段差が生じない、このため、内部電極パターンの電極間
に空孔が生じない、さらに、上下に隣接するPLZTグ
リーンシートのうち、上側のPLZTグリーンシートの
下面には、下側のPLZTグリーンシートの上面に印刷
された間隙埋設体を形成するPLZTペーストと同質の
PLZTペーストからなる圧着層が印刷されているので
、この同質の圧着層と間隙埋設体とが熱圧着によって十
分に接着し、デラミネーションが生じない。
[実施例] 以下、本発明の一実施例を図面を用いて説明する。
第1図および第2図は本発明の一実施例を示すもので、
これらの図において第3図と同一部分は同一符号とする
第1図において、20は、本発明に係る内部電極を有す
るPLZT積層圧着体である。前記PLZT積層圧着体
20は、第2図に示すように、上面に電極パターンとし
ての内部電極群11.11.11.・・・と、この内部
電極群11.11.’11.・・・の間隙を埋める絶縁
性の間隙埋設体群18.18,18.、・・・とを印刷
し。
下面に前記間隙埋設体18と同質の圧着層13を印刷し
たPLZTグリーンシート15を複数枚積層し。
さらに最下層には上面に電極パターンとしての内部電極
群11.11.11.・・・と、この内部電極群11゜
tt、 11.・・・の間隙を埋める絶縁性の間隙埋設
体群18.18.18、・・・とを印刷したPLZTグ
リーンシート16を設け、最上層には下面に前記間隙埋
設体18と同質の圧着層13を印刷したPLZTグリー
ンシート17を設け、全体を所定時間熱圧着することに
よって形成される。前記内部電極群11.11.11゜
・・・は導電性ペーストを印刷することによって、前記
間隙埋設体群18.18.18、・・・および圧着層1
3は同質のPLZTペーストを印刷することによって。
それぞれ形成される。前述のPLZTペーストは。
前記PLZTグIJ−ンシート15.16.17ト同一
の母材であるPLZT粉末と、バインダと、溶剤とを混
合して形成される。
上述のようにして形成されたPLZT積層圧着体20を
脱バインダし、ついで焼成することによってPLZT焼
結体が形成され、これを所定の切断面で切断することに
よってPLZTライトパルプが形成されるが、この熱圧
着時間を第2提案の場合より短くしても脱バインダ時に
デラミネーションが生じない、すなわち、上下に隣接す
るPLZTグリーンシート17と15.15と15また
は15と16のうち、上側のPLZTグリーンシート1
7.15または15の下面には、下側のPLZTグリー
ンシート15゜15または16の上面に印刷された間隙
埋設体18.18.18、・・・を形成するPLZTペ
ーストと同質のPLZTペーストからなる圧着層13が
印刷されているので、境界Uにおいて圧着層13と間隙
埋設体18゜1B、18、・・・とが熱圧着によって十
分に接着し、デラミネーションが生じない、これは圧着
層13と間隙埋設体18,18.18、・・・とが同質
のPLZTペーストからなり、両者のバインダが同じで
「なじみ」がよいことによるものと考えられる。このた
め、熱圧着時間を第2提案の場合より短くしても脱バイ
ンダ時にデラミネーションが生じない。
また、積層圧着される複数枚のPLZTグリーンシート
15〜15.16のそれぞれの上面には、内部電極群1
1.11.11.・・・の電極間に存在する間隙を埋め
る間隙埋設体群1B、 18.18、・・・が設けられ
ているので、複数枚のPLZTグリーンシート15〜1
5.16の上面に段差が生じない、このため、PLZT
積層圧着体10の内部電極群11.11.11.・・・
の電極間に間隙や密度の小さい部分が生じず、PLZT
積層圧着体20を焼成して形成されるPLZT焼結体に
は、空孔が生じない。
[発明の効果] 本発明による内部電極を有するPLZT積層圧着体は、
上記のように、上下に隣接するPLZTグリーンシート
の下側のPLZTグリーンシートの上面には、電極パタ
ーンの電極間に存在する間隙を埋めるPLZTペースト
からなる間隙埋設体が設けられているので1段差が生じ
ない、このため、内部電極パターンの電極間に空孔が生
じない。
さらに、上下に隣接するPLZTグリーンシートのうち
、上側のPLZTグリーンシートの下面には、下側のP
LZTグリーンシートの上面に印刷された間隙埋設体を
形成するPLZTペーストと同質のPLZTペーストか
らなる圧着層が印刷されているので、この同質の圧着層
と間隙埋設体とが熱圧着によって十分に接着し、デラミ
ネーションが生じない、このため、熱圧着時間を第2提
案の場合より短くしても脱バインダ時にデラミネーショ
ンが生じない0本出願人による実験結果では、脱バイン
ダ時にデラミネーションが生じないようにするための熱
圧着時間を、第2提案の場合の半分にすることができた
(例えば30分を15分にすることができた)。
【図面の簡単な説明】
第1図および第2図は本発明による内部電極を有するP
LZT積層圧着体の一実施例を示すもので、第1図は一
部を省略して表示した断面図、第2図は第1図のPLZ
T積層圧着体を製造する工程の要部を説明する説明図、
第3図は本出願人が第2提案として既に提案したPLZ
T積層圧着体の一部を省略した断面図、第4図および第
5図は本出願人が第1提案として既に提案したPLZT
積層圧着体を示すもので、第4WiはPLZT積層圧着
体を製造する工程を示す斜視図、第5図はPLZT積層
圧着体を示す斜視図、第6図は第5図のPLZT積層圧
着体を焼成したPLZT焼結体を示す斜視図である。 11・・・内部電極(内部電極パターン)、13・・・
圧着層、15.16.17・・・PLZTグリーンシー
ト、18・・・間隙埋設体、20・・・PLZT積層圧
着体、U・・・境界(圧着面境界)、L・・・境界(印
刷面境界)。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 複数枚のPLZTグリーンシートを積層圧着してなるP
    LZT積層圧着体において、上下に隣接する下側のPL
    ZTグリーンシートの上面には、電極パターンと、この
    電極パターンの電極間を埋めるPLZTペーストからな
    る間隙埋設体とが印刷され、上下に隣接する上側のPL
    ZTグリーンシートの下面には、前記間隙埋設体を形成
    するPLZTペーストと同質のPLZTペーストからな
    る圧着層が印刷されてなることを特徴とする内部電極を
    有するPLZT積層圧着体。
JP21218889A 1989-08-18 1989-08-18 内部電極を有するplzt積層圧着体 Pending JPH0375724A (ja)

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