JPH02248922A - 内部に電極パターンを有する積層固着体 - Google Patents
内部に電極パターンを有する積層固着体Info
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- JPH02248922A JPH02248922A JP6947489A JP6947489A JPH02248922A JP H02248922 A JPH02248922 A JP H02248922A JP 6947489 A JP6947489 A JP 6947489A JP 6947489 A JP6947489 A JP 6947489A JP H02248922 A JPH02248922 A JP H02248922A
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- Japan
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- plzt
- laminated
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- electrode pattern
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野コ
本発明は、投射型デイスプレィや直視型デイスプレィな
どに用いられるライトバルブの製造工程中に製造される
PLZT積層圧着体のような、内部に電極パターンを有
する積層固着体に関するものである。
どに用いられるライトバルブの製造工程中に製造される
PLZT積層圧着体のような、内部に電極パターンを有
する積層固着体に関するものである。
[従来の技術]
近年、PLZT(例えば(Pbs−s、Laa−ms)
(Zr1゜、、Ti、、□)0.)を用いたマトリック
ス型ライトバルブの研究開発が盛んになってきた。この
ようなマトリックス型ライトバルブを用いた投射型デイ
スプレィや直視型デイスプレィは高輝度、高精細化が期
待されているが、その電極構造が問題となっていた。
(Zr1゜、、Ti、、□)0.)を用いたマトリック
ス型ライトバルブの研究開発が盛んになってきた。この
ようなマトリックス型ライトバルブを用いた投射型デイ
スプレィや直視型デイスプレィは高輝度、高精細化が期
待されているが、その電極構造が問題となっていた。
従来のPLZTを用いたマトリックス型ライトバルブは
、本出願人が既に出願した特願昭63−108648号
(以下、既出願という)の「従来の技術」の欄で説明し
たように、表面電極法や平行板電極法などによって縦方
向電極と横方向電極とを形成していた。しかし、既出願
の「発明が解決しようとする、課題」の欄で説明したよ
うに、表面電極法はPLZT内部の電界分布が不均一に
なってコントラストやクロストークの低下が生じるとい
う問題があり、平行板電極法は加工工程が複雑でしかも
高い加工精度が要求されるという問題があった。このよ
うな問題を解決するため、本出願人は既出願において、
グリーンシートプロセスを用いて電極をPLZTの内部
に埋設した内部電極型とし、電界分布を均一とし、作成
が容易なマトリックス型ライトバルブおよびその製造方
法を提案した。
、本出願人が既に出願した特願昭63−108648号
(以下、既出願という)の「従来の技術」の欄で説明し
たように、表面電極法や平行板電極法などによって縦方
向電極と横方向電極とを形成していた。しかし、既出願
の「発明が解決しようとする、課題」の欄で説明したよ
うに、表面電極法はPLZT内部の電界分布が不均一に
なってコントラストやクロストークの低下が生じるとい
う問題があり、平行板電極法は加工工程が複雑でしかも
高い加工精度が要求されるという問題があった。このよ
うな問題を解決するため、本出願人は既出願において、
グリーンシートプロセスを用いて電極をPLZTの内部
に埋設した内部電極型とし、電界分布を均一とし、作成
が容易なマトリックス型ライトバルブおよびその製造方
法を提案した。
この既提案のものでは、第4図に示すように、表面に縦
方向内部電極群1,1.1、・・・を印刷した第1のP
LZTグリーンシート2と、表面に横方向内部電極群3
,3.3、・・・を印刷した第2のPLZTグリーンシ
ート4とを交互に積層し、ついで圧着することによって
第5図に示すようなPLZT積層圧着体5を形成する。
方向内部電極群1,1.1、・・・を印刷した第1のP
LZTグリーンシート2と、表面に横方向内部電極群3
,3.3、・・・を印刷した第2のPLZTグリーンシ
ート4とを交互に積層し、ついで圧着することによって
第5図に示すようなPLZT積層圧着体5を形成する。
そして、このPLZT積層圧着体5を焼成することによ
って第6図に示すようなPLZT焼結体6を形成し、こ
のPLZT焼結体6を縦方向内部電極群1.1.l、・
・・と直交し、かつ横方向内部電極群3.3,3、・・
・と平行な切断面7で切断し1両面を研磨することによ
ってマトリックス型ライトバルブを製造していた。
って第6図に示すようなPLZT焼結体6を形成し、こ
のPLZT焼結体6を縦方向内部電極群1.1.l、・
・・と直交し、かつ横方向内部電極群3.3,3、・・
・と平行な切断面7で切断し1両面を研磨することによ
ってマトリックス型ライトバルブを製造していた。
[発明が解決しようとする課題]
しかしながら、第4図に示すように、第1、第2PLZ
Tグリーンシート2.4の表面には内部電極群1.1.
1、・・・、3.3,3.・・・のそれぞれの電極間に
間隙8.8.8.・・・が有り、表面に段差が有るので
、このような段差の有る第1.第2PLZTグリーンシ
ート2,4の複数枚を積層圧着して第5図に示すような
PLZT積層圧着体5を形成し、このPLZT積層圧着
体5を焼成して第6図に示すようなPLZT焼結体6を
形成した場合、間隙8,8.8、・・・部分に空孔9.
9.9、・・・が生じ、機械的強度が低下したり、空孔
9.9.9、・・・に内部電極群1.1.1、・・・、
3,3.3、・・・が入り込んで、電極間が短絡したり
、電極間の絶縁性が悪くなったりするという問題点があ
った・ 本発明は、上述の問題点に鑑みてなされたもので、機械
的強度を向上させ、かつ内部電極パターン(例えば内部
電極群)の電極間の絶縁性を向上させることのできる積
層固着体を提供することを目的とするものである。そし
て、ライトバルブの製造工程中に製造されるPLZT積
層圧着体に応用した場合に、このPLZT積層圧着体を
焼成しても、PLZT焼結体の機械的強度が低下せず、
かつ内部電極群の電極間が短絡したり、電極間の絶縁性
が悪くなったりすることのないようにするものである。
Tグリーンシート2.4の表面には内部電極群1.1.
1、・・・、3.3,3.・・・のそれぞれの電極間に
間隙8.8.8.・・・が有り、表面に段差が有るので
、このような段差の有る第1.第2PLZTグリーンシ
ート2,4の複数枚を積層圧着して第5図に示すような
PLZT積層圧着体5を形成し、このPLZT積層圧着
体5を焼成して第6図に示すようなPLZT焼結体6を
形成した場合、間隙8,8.8、・・・部分に空孔9.
9.9、・・・が生じ、機械的強度が低下したり、空孔
9.9.9、・・・に内部電極群1.1.1、・・・、
3,3.3、・・・が入り込んで、電極間が短絡したり
、電極間の絶縁性が悪くなったりするという問題点があ
った・ 本発明は、上述の問題点に鑑みてなされたもので、機械
的強度を向上させ、かつ内部電極パターン(例えば内部
電極群)の電極間の絶縁性を向上させることのできる積
層固着体を提供することを目的とするものである。そし
て、ライトバルブの製造工程中に製造されるPLZT積
層圧着体に応用した場合に、このPLZT積層圧着体を
焼成しても、PLZT焼結体の機械的強度が低下せず、
かつ内部電極群の電極間が短絡したり、電極間の絶縁性
が悪くなったりすることのないようにするものである。
〔課題を解決するための手段]
本発明による内部に電極パターンを有する積層固着体は
1表面に電極パターンを印刷した複数枚のシートを積層
固着してなり、前記複数枚のシートの少なくとも1枚お
きのシートの表面には、その電極パターンの電極間に存
在する間隙を埋める絶縁性の間隙埋設体が設けられてい
ることを特徴とするものである。
1表面に電極パターンを印刷した複数枚のシートを積層
固着してなり、前記複数枚のシートの少なくとも1枚お
きのシートの表面には、その電極パターンの電極間に存
在する間隙を埋める絶縁性の間隙埋設体が設けられてい
ることを特徴とするものである。
そして、本発明をライトバルブの製造工程中に製造され
るPLZT積層圧着体に応用するために。
るPLZT積層圧着体に応用するために。
積層固着した複数枚のシートは1表面に縦方向内部電極
群を印刷した第1のPLZTグリーンシートと、表面に
横方向内部電極群を印刷した第2のPLZTグリーンシ
ートとを交互に積層圧着した複数枚のPLZTグリーン
シートとしてなり1間隙埋設体は前記第1、第2PLZ
Tグリーンシートのうちの少なくとも第1PLZTグリ
ーンシートの表面に設けてなることを特徴とするもので
ある。
群を印刷した第1のPLZTグリーンシートと、表面に
横方向内部電極群を印刷した第2のPLZTグリーンシ
ートとを交互に積層圧着した複数枚のPLZTグリーン
シートとしてなり1間隙埋設体は前記第1、第2PLZ
Tグリーンシートのうちの少なくとも第1PLZTグリ
ーンシートの表面に設けてなることを特徴とするもので
ある。
【作用]
積層固着された複数枚のシートのうち、少なくとも1枚
おきのシートの表面には、その電極パターンの電極間に
存在する間隙を埋める絶縁性の間隙埋設体が設けられて
いるので1段差が生じない。
おきのシートの表面には、その電極パターンの電極間に
存在する間隙を埋める絶縁性の間隙埋設体が設けられて
いるので1段差が生じない。
このため、少なくとも積層固着体の間隙埋設体が設けら
れているシート部分については、内部電極パターンの電
極間に間隔や密度の小さい部分が生じない、また、ライ
トバルブの製造工程中に製造されるPLZT積層圧着体
に応用した場合には、少なくとも第1PLZTグリーン
シートの表面に間隙埋設体が設けられているので、段差
が生じない、このため、少なくともライトバルブ用PL
ZT積層圧着体の縦方向内部電極群の電極間に密度の小
さい部分が生じない、したがって、このPLZT積層圧
着体を焼成して形成されるPLZT焼結体には、空孔が
生じないか生じても僅かとなる。
れているシート部分については、内部電極パターンの電
極間に間隔や密度の小さい部分が生じない、また、ライ
トバルブの製造工程中に製造されるPLZT積層圧着体
に応用した場合には、少なくとも第1PLZTグリーン
シートの表面に間隙埋設体が設けられているので、段差
が生じない、このため、少なくともライトバルブ用PL
ZT積層圧着体の縦方向内部電極群の電極間に密度の小
さい部分が生じない、したがって、このPLZT積層圧
着体を焼成して形成されるPLZT焼結体には、空孔が
生じないか生じても僅かとなる。
[実施例]
以下、本発明の一実施例を図面を用いて説明する。
第1図、第2図および第3図は本発明の一実施例を示す
もので、これらの図において第4図、第5図および第6
図と同一部分は同一符号とする。
もので、これらの図において第4図、第5図および第6
図と同一部分は同一符号とする。
第1図において、10は、本発明に係る内部電極パター
ンを有する積層固着体の一例としてのPLZT積層圧着
体である。前記PLZT積層圧着体lOは、第3図に示
すように、表面に内部電極パターンとしての縦方向内部
電極群1.1.1.・・・と絶縁性の間隙埋設体群12
.12.12.・・・とを設けた第1のPLZTグリー
ンシート2と1表面に内部電極パターンとしての横方向
内部電極群3.3,3、・・・と絶縁性の間隙埋設体群
14.14.14、・・・とを設けた第2のPLZTグ
リーンシート4とを交互に積層圧着することによって形
成される。前記内部電極群1,1.1.・・・および3
.3.3.・・・は白金ペーストをスクリーン印刷する
ことにより形成されている。前記間隙埋設体群12.1
2.12、・・・は、前記縦方向内部電極群1.1.1
、・・・の電極間の間隙(第4図の8に相当する)を埋
めるように、絶縁体ペーストのスクリーン印刷で形成さ
れている。
ンを有する積層固着体の一例としてのPLZT積層圧着
体である。前記PLZT積層圧着体lOは、第3図に示
すように、表面に内部電極パターンとしての縦方向内部
電極群1.1.1.・・・と絶縁性の間隙埋設体群12
.12.12.・・・とを設けた第1のPLZTグリー
ンシート2と1表面に内部電極パターンとしての横方向
内部電極群3.3,3、・・・と絶縁性の間隙埋設体群
14.14.14、・・・とを設けた第2のPLZTグ
リーンシート4とを交互に積層圧着することによって形
成される。前記内部電極群1,1.1.・・・および3
.3.3.・・・は白金ペーストをスクリーン印刷する
ことにより形成されている。前記間隙埋設体群12.1
2.12、・・・は、前記縦方向内部電極群1.1.1
、・・・の電極間の間隙(第4図の8に相当する)を埋
めるように、絶縁体ペーストのスクリーン印刷で形成さ
れている。
この絶縁体ペーストは、前記第1、第2PLZTグリー
ンシート2,4と同一の母材であるPLZT粉末と、バ
インダと、溶剤とを混合することによって形成されてい
る。前記間隙埋設体群14.14.14、・・・は、前
記間隙埋設体群12.12.12.・・・と同様に、前
記横方向内部電極群3.3.3、・・・の電極間の間1
1JR(第4図の8に相当する)を埋めるように、絶縁
性ペーストのスクリーン印刷で形成されている。
ンシート2,4と同一の母材であるPLZT粉末と、バ
インダと、溶剤とを混合することによって形成されてい
る。前記間隙埋設体群14.14.14、・・・は、前
記間隙埋設体群12.12.12.・・・と同様に、前
記横方向内部電極群3.3.3、・・・の電極間の間1
1JR(第4図の8に相当する)を埋めるように、絶縁
性ペーストのスクリーン印刷で形成されている。
上述のようにして形成されたPLZT積層圧着体10を
焼成することによって、第2図に示すようなPLZT焼
結体20が形成される。この焼成時において1間隙埋設
体群12.12.12、・・・および14゜14.14
、・・・は、同一母材である第1.第2PLZTグリー
ンシート2.4と一体化し、かつ、内部電極群1.1.
1.・・・ 3,3.3、・・・の電極間に空孔が生じ
るのを防止している。そして、このPLZT焼結体20
を縦方向内部電極群1.1.1、・・・と直交し、かつ
横方向内部電極群3,3.3、・・・と平行な切断面7
で切断し1両面を研磨することによってマトリックス型
ライトバルブが製造される。
焼成することによって、第2図に示すようなPLZT焼
結体20が形成される。この焼成時において1間隙埋設
体群12.12.12、・・・および14゜14.14
、・・・は、同一母材である第1.第2PLZTグリー
ンシート2.4と一体化し、かつ、内部電極群1.1.
1.・・・ 3,3.3、・・・の電極間に空孔が生じ
るのを防止している。そして、このPLZT焼結体20
を縦方向内部電極群1.1.1、・・・と直交し、かつ
横方向内部電極群3,3.3、・・・と平行な切断面7
で切断し1両面を研磨することによってマトリックス型
ライトバルブが製造される。
つぎに、前記実施例の作用について説明する。
積層圧着される第1、第2PLZTグリーンシート2,
4のそれぞれの表面には、内部電極群1.1.1、・・
・、3.3.3、・・・の電極間に存在する間隙を埋め
る絶縁性の間隙埋設体群12.12.12゜・・・、1
4.14,14、・・・が設けられているので、第1゜
第2PLZTグリーンシート2.4の表面に段差が生じ
ない、このため、PLZT積層圧着体10の内部電極群
1.1.1、・・・、3,3.3.・・・の電極間に間
隙や密度の小さい部分が生じない、したがって、このP
LZT積層圧着体10を焼成して形成されるPLZT焼
結体20には、空孔が生じない。
4のそれぞれの表面には、内部電極群1.1.1、・・
・、3.3.3、・・・の電極間に存在する間隙を埋め
る絶縁性の間隙埋設体群12.12.12゜・・・、1
4.14,14、・・・が設けられているので、第1゜
第2PLZTグリーンシート2.4の表面に段差が生じ
ない、このため、PLZT積層圧着体10の内部電極群
1.1.1、・・・、3,3.3.・・・の電極間に間
隙や密度の小さい部分が生じない、したがって、このP
LZT積層圧着体10を焼成して形成されるPLZT焼
結体20には、空孔が生じない。
前記実施例では、絶縁性の間隙埋設体は、第1、第2P
LZTグリーンシートと同一の母材であるPLZT粉末
と、バインダと、溶剤とを混合してなる絶縁体ペースト
の印刷で形成し、焼成後に第1、第2PLZTグリーン
シートと一体化するようにしたが、本発明はこれに限る
ものでなく、第1、第2PLZTグリーンシートと異な
る絶縁粉末と、バインダと、溶剤とを混合してなる絶縁
体ペーストの印刷で形成するようにしてもよい。
LZTグリーンシートと同一の母材であるPLZT粉末
と、バインダと、溶剤とを混合してなる絶縁体ペースト
の印刷で形成し、焼成後に第1、第2PLZTグリーン
シートと一体化するようにしたが、本発明はこれに限る
ものでなく、第1、第2PLZTグリーンシートと異な
る絶縁粉末と、バインダと、溶剤とを混合してなる絶縁
体ペーストの印刷で形成するようにしてもよい。
前記実施例では、積層圧着される第1、第2PLZTグ
リーンシートの両方の表面に、内部電極群の電極間に存
在する間隙を埋める絶縁性の間隙埋設体を設けるように
したが1本発明はこれに限るものでなく、積層圧着され
る第1、第2PLZTグリーンシートのうちの少なくと
も第1PLZTグリーンシートの表面に、内部電極群の
電極間に存在する間隙を埋める絶縁性の間隙埋設体を設
けるものであればよい。
リーンシートの両方の表面に、内部電極群の電極間に存
在する間隙を埋める絶縁性の間隙埋設体を設けるように
したが1本発明はこれに限るものでなく、積層圧着され
る第1、第2PLZTグリーンシートのうちの少なくと
も第1PLZTグリーンシートの表面に、内部電極群の
電極間に存在する間隙を埋める絶縁性の間隙埋設体を設
けるものであればよい。
前記実施例では、内部に電極パターンを有する積層固着
体は、表面に縦方向内部電極群を印刷した第1のPLZ
Tグリーンシートと、表面に横方向内部電極群を印刷し
た第2のPLZTグリーンシートとを交互に積層圧着し
てなるPLZT積層圧着体としたが、本発明はこれに限
るものでなく、表面に電極パターンを印刷した複数枚の
シートを積層固着してなるものであればよい0例えば、
表面に電極パターンを印刷した複数枚の基板を積層固着
してなる多層基板であってもよい。
体は、表面に縦方向内部電極群を印刷した第1のPLZ
Tグリーンシートと、表面に横方向内部電極群を印刷し
た第2のPLZTグリーンシートとを交互に積層圧着し
てなるPLZT積層圧着体としたが、本発明はこれに限
るものでなく、表面に電極パターンを印刷した複数枚の
シートを積層固着してなるものであればよい0例えば、
表面に電極パターンを印刷した複数枚の基板を積層固着
してなる多層基板であってもよい。
[発明の効果]
本発明による内部に電極パターンを有する積層固着体は
、上記のように、積層固着された複数枚のシートのうち
、少なくとも1枚おきのシートの表面には、その電極パ
ターンの電極間に存在する間隙を埋める絶縁性の間隙埋
設体が設けられているので1段差が生じない、このため
、少なくとも積層固着体の間隙埋設体が設けられている
シート部分については、内部電極パターンの電極間に間
隙や密度の小さい部分が生じない、したがって、ライト
バルブの製造工程中に製造されるPLZT積層圧着体に
応用した場合には、少なくとも第1PLZTグリーンシ
ートの表面に間隙埋設体が設けられているので、段差が
生じない、このため、少なくともライトバルブ用PLZ
T積層圧着体の縦方向内部電極群の電極間に間隙や密度
の小さい部分が生じない、したがって、このPLZT積
層圧着体を焼成して形成されるPLZT焼結体には、空
孔が生じないか生じても僅かとなり、PLZT焼結体の
機械的強度を向上させることができるとともに、内部電
極群の電極間の絶縁性を向上させることができる。
、上記のように、積層固着された複数枚のシートのうち
、少なくとも1枚おきのシートの表面には、その電極パ
ターンの電極間に存在する間隙を埋める絶縁性の間隙埋
設体が設けられているので1段差が生じない、このため
、少なくとも積層固着体の間隙埋設体が設けられている
シート部分については、内部電極パターンの電極間に間
隙や密度の小さい部分が生じない、したがって、ライト
バルブの製造工程中に製造されるPLZT積層圧着体に
応用した場合には、少なくとも第1PLZTグリーンシ
ートの表面に間隙埋設体が設けられているので、段差が
生じない、このため、少なくともライトバルブ用PLZ
T積層圧着体の縦方向内部電極群の電極間に間隙や密度
の小さい部分が生じない、したがって、このPLZT積
層圧着体を焼成して形成されるPLZT焼結体には、空
孔が生じないか生じても僅かとなり、PLZT焼結体の
機械的強度を向上させることができるとともに、内部電
極群の電極間の絶縁性を向上させることができる。
第1図から第3図までは本発明による内部に電極パター
ンを有する積層固着体の一実施例を示すもので、第1図
は積層固着体の一例であるPLZT積層圧着体を示す斜
視図、第2図は第1図のPLZT積層圧着体を焼成した
PLZT焼結体を示す斜視図、第31i1は第1図のP
LZT積層圧着体を製造する工程の要部を説明する説明
図、第4図は既提案のPLZT積層圧着体を製造する工
程を示す斜視図、第5図は既提案のPLZT積層圧着体
を示す斜視図、第6図は第5図のPLZT積層圧着体を
焼成したPLZT焼結体を示す斜視図である。 1.1.1・・・縦方向内部電極群(内部電極パターン
)、2,4・・・PLZTグリーンシート、3.3.3
・・・横方向内部電極群(内部電極パターン)、10・
・・PLZT積層圧着体、12.14・・・間隙埋設体
、 20・・・PLZT焼結体。 出願人 株式会社富士通ゼネラル 第 図 第
ンを有する積層固着体の一実施例を示すもので、第1図
は積層固着体の一例であるPLZT積層圧着体を示す斜
視図、第2図は第1図のPLZT積層圧着体を焼成した
PLZT焼結体を示す斜視図、第31i1は第1図のP
LZT積層圧着体を製造する工程の要部を説明する説明
図、第4図は既提案のPLZT積層圧着体を製造する工
程を示す斜視図、第5図は既提案のPLZT積層圧着体
を示す斜視図、第6図は第5図のPLZT積層圧着体を
焼成したPLZT焼結体を示す斜視図である。 1.1.1・・・縦方向内部電極群(内部電極パターン
)、2,4・・・PLZTグリーンシート、3.3.3
・・・横方向内部電極群(内部電極パターン)、10・
・・PLZT積層圧着体、12.14・・・間隙埋設体
、 20・・・PLZT焼結体。 出願人 株式会社富士通ゼネラル 第 図 第
Claims (2)
- (1)表面に電極パターンを印刷した複数枚のシートを
積層固着してなり、前記複数枚のシートの少なくとも1
枚おきのシートの表面には、その電極パターンの電極間
に存在する間隙を埋める絶縁性の間隙埋設体が設けられ
ていることを特徴とする内部に電極パターンを有する積
層固着体。 - (2)積層固着した複数枚のシートは、表面に縦方向内
部電極群を印刷した第1のPLZTグリーンシートと、
表面に横方向内部電極群を印刷した第2のPLZTグリ
ーンシートとを交互に積層圧着した複数枚のPLZTグ
リーンシートとしてなり、間隙埋設体は前記第1、第2
PLZTグリーンシートのうちの少なくとも第1PLZ
Tグリーンシートの表面に設けてなる請求項1記載の内
部に電極パターンを有する積層固着体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6947489A JPH02248922A (ja) | 1989-03-22 | 1989-03-22 | 内部に電極パターンを有する積層固着体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6947489A JPH02248922A (ja) | 1989-03-22 | 1989-03-22 | 内部に電極パターンを有する積層固着体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02248922A true JPH02248922A (ja) | 1990-10-04 |
Family
ID=13403713
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6947489A Pending JPH02248922A (ja) | 1989-03-22 | 1989-03-22 | 内部に電極パターンを有する積層固着体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02248922A (ja) |
-
1989
- 1989-03-22 JP JP6947489A patent/JPH02248922A/ja active Pending
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