JPH037586Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案はクライオポンプの超低温の冷却面に凝
縮、吸着された気体分子を加熱して該冷却面の凝
縮、吸着の能力を再生する再生用ヒータに関す
る。

（従来の技術） 従来、クライオポンプの再生のため、ヒータで
ポンプケースの外側から加熱し、冷却面に吸着凝
縮した気体分子を蒸発させてロータリポンプによ
り排出することは行なわれており、この場合ヒー
タはクライオポンプの冷凍機のコールドヘツドが
約70℃以上の温度には耐えられないので温度調節
器により約70℃以下に制御されたニクロム線ヒー
タが使用されている。

該温度調節器の誤作動はポンプを故障させる原
因となるので温度調節器のない低温用ヒータを使
用することが安全上好ましい。

これに適した低温のヒータは、ポリエステルの
絶縁部材内に銀ペーストの電極を１対設け、両電
極間の面域にエチレン酢酸ビニル共重合体等を主
成分とする抵抗ペーストからなる発熱部を形成し
て成るもので、これによれば約70℃になると該発
熱部の抵抗が高まり電流の流通が止まつて自己制
御的に温度制御することが出来る。

（考案が解決しようとする問題点） 温度調節器を有するヒータは高価であり、該調
節器の不要な低温用ヒータを使用することが望ま
しいが、クライオポンプの円筒形のポンプケース
に簡単容易に密接して取付け得るようにしたもの
がない。

本考案はクライオポンプに簡単に取付け得る温
度調節器の不要な再生用ヒータを提供することを
目的とするものである。

（問題点を解決するための手段） 本考案では、SUS製その他の可撓性ベルトに、
これをクライオポンプのポンプケースの外周に環
状に固定する締着具を設け、該可撓性ベルトの内
面に、これよりも多少小さいゴム製断熱板を沿わ
せ、その長さ方向の中央部に於いてピンにより該
可撓性ベルトとゴム製断熱板とを互に係着すると
共に該可撓性ベルトの上下の端縁に形成した保持
片により該ゴム製断熱板を遊動自在に保持し、該
ゴム製断熱板の内面に自己温度制御型面状発熱体
を貼着するようにして前記問題点を解決するよう
にした。

（作用） クライオポンプの運転を止め、ポンプケースの
外周に可撓性ベルトを環状に巻き付け、締着具に
より該外周に固定して通電すると該ベルトの内面
のゴム製断熱板に設けた自己温度制御型面状発熱
体が発熱してポンプケース内の冷却面を温める。
該冷却面の表面に凝縮、吸着していた気体分子は
該面の温度の上昇で蒸発し、その蒸発成分は該ポ
ンプケースに接続したロータリポンプ等のポンプ
によりケース外に排出され、冷却面が再生され
る。

該面状発熱体の熱量が散逸しないようにその背
面に断熱板が設けられるので、ポンプケースに該
ベルトを捲回した場合巻き径の差が生じて内側の
発熱体が該ケースから遊離して波打ち、良好な加
熱を行なえなくなる可能性があるが、該ゴム製断
熱板が可撓性ベルトに遊動自在に保持片により保
持されており、しかも該断熱板が可塑性を有する
ので、該発熱体をポンプケースに密接して捲回さ
せ得、熱効率良くクライオポンプを再生出来る。

（実施例） 本考案の実施例を図面につき説明すると、第１
図に於いて１はクライオポンプ、２はヘリウム冷
凍機、３は該冷凍機２により冷却されて気体分子
が凝縮、吸着する冷却面、４は該ポンプ１の円筒
状のポンプケース５をその外周から環状に囲繞し
て加熱することにより該冷却面３に凝縮した気体
分子を蒸発させる再生用ヒータ、６は該ケース５
内に再生の際に蒸発する気体分子を排除するロー
タリポンプである。

該再生用ヒータ４の詳細は第２図乃至第５図に
見られるように、両端部にボルト７を有する締着
具８，８が設けられたSUS製断熱板１０と、該
断熱板１０の内面に接着剤により貼着した自己温
度制御型面状発熱体１１とで構成される。

該ゴム製断熱板１０は該ベルト９よりも多少小
さい相似形であり、その長さ方向の中央部に於い
てピン１２により該ベルト９へ係着され、その両
端部は該ベルト９の上下の端縁に形成した保持片
１３，１３で遊動自在に保持されるようにした。

また該発熱体１１の詳細は第４図及び第５図示
のようにポリエステルの絶縁部材１４内に１対の
銀ペーストの電極１５を環状に配置し、両電極１
５，１５間の面域にエチレン酢酸ビニル共重合体
等を主成分とする抵抗ペーストを層状に設けて発
熱部１６が構成されるようにした。

ポンプケース５の外周に可撓性ベルト９を巻き
付け、締着具８により取付固定されるが、その際
ゴム製断熱板１０が該ベルト９に保持片１３，１
３により遊動自在であり、しかも可塑性があるの
でその内面の発熱体１１を巻き付け半径差があつ
てもポンプケース５に密接させることが出来、熱
効率が良好になる。

また該発熱体１１は温度が上昇して冷凍機２の
コールドヘツドを損傷させる70℃以上になると発
熱部１６の抵抗が増大して電流の流通を止め、自
己制御的に温度調節するので、温度調節器が不要
で安価且つ安全に温度制御出来る。

（考案の効果） このように本考案によるときは、クライオポン
プのポンプケースへの締着具を設けた可撓性ベル
トの内面にピンで係着すると共に該可撓性ベルト
の上下の端縁に形成した保持片で支えてゴム製断
熱板を遊動自在に設け、該断熱板の内面に自己温
度制御型面状発熱体を貼着するようにしたので、
温度調節器の不要な発熱体をポンプケースに密接
して簡単に熱効率の良好な状態で取付けることが
出来、クライオポンプの再生中に温度調節器の故
障でクライオポンプが損傷する危険がなくなり、
安全且つ安価なクライオポンプ再生用ヒータが得
られる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の実施例の概略線図、第２図は
本考案の実施例の斜視図、第３図は第２図の−
線断面図、第４図はその要部の正面図、第５図
は第４図の−線截断面図である。 １……クライオポンプ、４……再生用ヒータ、
５……ポンプケース、８……締着具、９……可撓
性ベルト、１０……ゴム製断熱板、１１……自己
温度制御型面状発熱体、１３……保持片。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. SUS製その他の可撓性ベルトに、これをクラ
   イオポンプのポンプケースの外周に環状に固定す
   る締着具を設け、該可撓性ベルトの内面に、これ
   よりも多少小さいゴム製断熱板を沿わせ、その長
   さ方向の中央部に於いてピンにより該可撓性ベル
   トとゴム製断熱板とを互に係着すると共に該可撓
   性ベルトの上下の端縁に形成した保持片により該
   ゴム製断熱板を遊動自在に保持し、該ゴム製断熱
   板の内面に自己温度制御型面状発熱体を貼着して
   成るクライオポンプ再生用ヒータ。