JPS6042235Y2 - クライオポンプ - Google Patents

クライオポンプ

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Publication number
JPS6042235Y2
JPS6042235Y2 JP1980139075U JP13907580U JPS6042235Y2 JP S6042235 Y2 JPS6042235 Y2 JP S6042235Y2 JP 1980139075 U JP1980139075 U JP 1980139075U JP 13907580 U JP13907580 U JP 13907580U JP S6042235 Y2 JPS6042235 Y2 JP S6042235Y2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pump body
cryopump
cold head
heating plate
heating
Prior art date
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Expired
Application number
JP1980139075U
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English (en)
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JPS5761188U (ja
Inventor
卓司 長本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
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  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は、クライオポンプの改良に関する。
従来、クライオポンプは、第１図に示す如く、真空系１
に主バルブ２を介して接続されたポンプ本体３に、冷却
媒体が循環するコールドヘッド４を収容した構造を有し
ている。
ポンプ本体３には、バルブ５，６を介して再生ガス供給
管７及び排気管８が接続されている。
而して、クラ・イオポンプ９を再生する際には、主バル
ブ２を閉じて再生ガス供給管７及び排気管８に設けられ
たバルブ５，８を開けて、再生ガス供給管７からチッ素
ガス等の再生ガスをポンプ本体３内に供給し、内部に残
留した気体及び液体を排気管８から排気することにより
行っている。
しかしながら、このような構造のクライオポンプ９では
、ポンプ本体３内が低温であるため再生用の乾燥したチ
ッ素ガスによって、内部に残留した液体を完全に外部に
排気するには極めて長い処理時間を要する欠点があった
。
本考案は、かかる点に鑑みてなされたもので、再生時間
を短縮して作業性を著しく向上させることができるクラ
イオポンプを提供するものである。
以下、本考案の実施例を図面を参照して説明する。
第２図は、本考案の一実施例の断面図である。
図中１０は、被減圧体に取付けられるポンプ本体である
。
ポンプ本体１０の中央部にはその底部から円柱状のコー
ルドヘッド１１が立設されている。
コールドヘッド１１は、その下部を形成する１段目コー
ルドヘッド１１ａと上部を形成する２段目コールドヘッ
ドｌｌｂとで構成されている。
コールドヘッド１１の内部には、液体ヘリウム等の冷却
媒体が循環する冷媒通路（図示せず）が内蔵されている
。
１段目コールドヘッド１１ａと２段目コールドヘッドｌ
ｌｂとの接続部には、加熱板１２が鋸形に嵌着されてい
る。
加熱板１２上には、上部を開口したシールド容器１３が
２段目コールドヘッドｌｌｂを収容するようにして取付
けられている。
２段目コールドヘッドｌｌｂの先端部には、冷却板１４
が取付けられている。
冷却板１４の上方には、冷却板１４に対向してシールド
容器１３の開口部を塞ぐように遮へい板１５が設けられ
ている。
また、加熱板１２は、ポンプ本体１０の外部に設けられ
た加熱温度制御回路１６に電気的に接続されている。
また、ポンプ本体１０には、バルブ１７．１８を介して
再生ガス供給管１９及び排気管２０が接続されている。
このように構成されたクライオポンプ２１によれば、加
熱温度制御回路１６によって加熱板１２による加熱を停
止した状態で従来のクライオポンプと同様にコールドヘ
ッド１１内を循環する冷却媒体によって冷却板１４を冷
却して、被減圧体を所定に減圧状態に設定する。
次いで、クライオポンプ２１を再生する際には、加熱温
度制御回路１６によって加熱板１２を所定温度に加熱し
てポンプ本体１０内に残留した液体を気化させながら、
再生ガス供給管１９及び排気管２０のバルブ１７．１８
を開けて再生ガス供給管１９からポンプ本体１０内に再
生ガスとして例えば乾燥したチッ素ガスも供給する。
而して、ポンプ本体１０内は加熱板１２によって十分に
残留液体が気化する温度に加熱されているので、残留液
体及び気体は、すべて気体の状態で再生ガスによって排
気管２０から速やかに外部に排気される。
その結果、クライオポンプ２１の再生時間を著しく短縮
せしめて作業性を向上させることができる。
以上説明した如く、本考案に係るクライオポンプによれ
ば、ポンプ本体内に加熱板を設けて残留液体を気化させ
た状態で再生処理を行うようにしたので、再生時間を著
しく短縮して作業性を向上させることができるものであ
る。
【図面の簡単な説明】
第１図は、従来のクライオポンプの構成を示す説明図、
第２図は、本考案の一実施例の断面図である。 １０・・・・・・ポンプ本体、１１・・・・・・コール
ドヘッド、１２・・・・・・加熱板、１３・・・・・・
シールド容器、１４・・・・・・冷却板、１５・・・・
・・遮へい板、１６・・・・・・加熱温度制御回路、１
９・・・・・・再生ガス供給管、２０・・・・・・排気
管、２１−−−−−−クライオポンプ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 冷却媒体が循環する冷媒通路を内蔵したコールドヘッド
    と、該コールドヘッドに取付けられた冷却板とをポンプ
    本体内に収納してなるクライオポンプにおいて、ポンプ
    本体内に加熱板を設け、且つ該加熱板に対する加熱温度
    制御回路を設けたことを特徴とするクライオポンプ。
JP1980139075U 1980-09-30 1980-09-30 クライオポンプ Expired JPS6042235Y2 (ja)

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JPS5761188U JPS5761188U (ja) 1982-04-10
JPS6042235Y2 true JPS6042235Y2 (ja) 1985-12-24

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ID=29499063

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH037585Y2 (ja) * 1985-08-01 1991-02-25
JPH037586Y2 (ja) * 1985-08-01 1991-02-25
JPS62131983A (ja) * 1985-12-05 1987-06-15 Anelva Corp クライオポンプ
EP2310681A4 (en) * 2008-07-01 2017-04-12 Brooks Automation, Inc. Method and apparatus for providing temperature control to a cryopump

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5124690A (en) * 1974-08-23 1976-02-28 Teijin Ltd Horiesuteruno seizoho

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JPS5761188U (ja) 1982-04-10

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