JPH0376441B2 - - Google Patents
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- JPH0376441B2 JPH0376441B2 JP13536582A JP13536582A JPH0376441B2 JP H0376441 B2 JPH0376441 B2 JP H0376441B2 JP 13536582 A JP13536582 A JP 13536582A JP 13536582 A JP13536582 A JP 13536582A JP H0376441 B2 JPH0376441 B2 JP H0376441B2
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- JP
- Japan
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- optical axis
- laser beam
- cylinder
- adjustment device
- driver
- Prior art date
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
- G01B11/27—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes
- G01B11/272—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes using photoelectric detection means
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、入射レーザビームを筒体に内蔵され
るミラー、プリズム又はレンズ等を介して所定方
向に搬送出力するための光軸調整装置に関するも
のである。
るミラー、プリズム又はレンズ等を介して所定方
向に搬送出力するための光軸調整装置に関するも
のである。
従来、この種装置として第１図に示すものがあ
つた。図において、１は可動筒体、２は該可動筒
体１に内蔵されている光軸制御部材たるミラー
で、これら可動筒体１及びミラー２でレーザビー
ム３を所定方向に搬送出力する光略変更器を形成
する。また、４は可動筒体１を駆動する筒体駆動
器、５はミラー２を駆動するミラー（光軸制御部
材）駆動器で、これらの駆動により上記光路変更
器の光軸を調整するものである。更にまた、６
ａ，６ｂはそれぞれ、筒体１の入射レーザビーム
の位置、又は出射レーザビームの位置の検出する
アクリル板で、これによる検出値に基づき上述の
駆動器４，５の駆動制御が行なわれる。なお、７
ａ，７ｂはアクリル板６ａ，６ｂによるレーザビ
ーム３の照射位置の検出を確実化ならしめる為ア
クリル板６ａ，６ｂに吹き付けられる不活性ガス
である。
つた。図において、１は可動筒体、２は該可動筒
体１に内蔵されている光軸制御部材たるミラー
で、これら可動筒体１及びミラー２でレーザビー
ム３を所定方向に搬送出力する光略変更器を形成
する。また、４は可動筒体１を駆動する筒体駆動
器、５はミラー２を駆動するミラー（光軸制御部
材）駆動器で、これらの駆動により上記光路変更
器の光軸を調整するものである。更にまた、６
ａ，６ｂはそれぞれ、筒体１の入射レーザビーム
の位置、又は出射レーザビームの位置の検出する
アクリル板で、これによる検出値に基づき上述の
駆動器４，５の駆動制御が行なわれる。なお、７
ａ，７ｂはアクリル板６ａ，６ｂによるレーザビ
ーム３の照射位置の検出を確実化ならしめる為ア
クリル板６ａ，６ｂに吹き付けられる不活性ガス
である。
次に、上記構成を有する従来の光軸調整装置を
用いた光路変更器の光軸調整の動作について説明
する。
用いた光路変更器の光軸調整の動作について説明
する。
先ず最初に、可動筒体１の入射口にアクリル板
６ａを配置し、そのアクリル板６ａに不活性ガス
７ａを吹き付けた状態でレーザビーム３を照射
し、可動筒体１への入射レーザビームの光軸位置
を確認する。次いで、この光軸位置に基づき、レ
ーザビーム３がミラー２まで搬送されるような可
動筒体１の位置を決め、筒体駆動器４により可動
筒体１をその位置に移動させる。次に、アクリル
板６ａ及び不活性ガス７ａを除き、可動筒体１の
出射口に別のアクリル板６ｂを配して、そのアク
リル板６ｂに不活性ガス７ｂを吹き付けた状態で
レーザビーム３を照射し、ミラー２で反射された
ビームの光軸位置を確認する。そして、最後にこ
の反射ビームの光軸位置に基づきミラー２の適切
な位置を決め、ミラー駆動器５を使つてミラー２
の位置を変える。このような調整によつて、レー
ザビーム８は可動筒体１及びミラー２からなる光
路変更器により希望の所に搬送され得、レーザ加
工等に用いられ得る状態となる。
６ａを配置し、そのアクリル板６ａに不活性ガス
７ａを吹き付けた状態でレーザビーム３を照射
し、可動筒体１への入射レーザビームの光軸位置
を確認する。次いで、この光軸位置に基づき、レ
ーザビーム３がミラー２まで搬送されるような可
動筒体１の位置を決め、筒体駆動器４により可動
筒体１をその位置に移動させる。次に、アクリル
板６ａ及び不活性ガス７ａを除き、可動筒体１の
出射口に別のアクリル板６ｂを配して、そのアク
リル板６ｂに不活性ガス７ｂを吹き付けた状態で
レーザビーム３を照射し、ミラー２で反射された
ビームの光軸位置を確認する。そして、最後にこ
の反射ビームの光軸位置に基づきミラー２の適切
な位置を決め、ミラー駆動器５を使つてミラー２
の位置を変える。このような調整によつて、レー
ザビーム８は可動筒体１及びミラー２からなる光
路変更器により希望の所に搬送され得、レーザ加
工等に用いられ得る状態となる。
しかるに、従来の光軸調整装置は以上のように
構成され、レーザビームの光軸位置を検出する毎
に新しいアクリル板を要し、多くの手間がかかる
と共に、不経済であるという欠点、更に、アクリ
ル板上の光軸位置の確認、駆動器の駆動という一
連の動作が自動化されておらず、正確さ及び迅速
性に欠けるという欠点があつた。
構成され、レーザビームの光軸位置を検出する毎
に新しいアクリル板を要し、多くの手間がかかる
と共に、不経済であるという欠点、更に、アクリ
ル板上の光軸位置の確認、駆動器の駆動という一
連の動作が自動化されておらず、正確さ及び迅速
性に欠けるという欠点があつた。
そこで、本発明は、光軸調整が容易で迅速かつ
正確に行い得る光軸調整装置の提供を目的とし、
係る目的を達成するために、本発明は、可動筒体
のレーザビーム入射側及び出射側にそれぞれ入射
側筒体及び出射側筒体を着脱自在に設けて該入射
側筒体及び出射側筒体の各内壁に、レーザビーム
径より小さい通過孔を有し、かつ、該レーザビー
ムの一部を受けて光軸位置を検出するビーム位置
検出器を該ビームの進行方向に沿つてそれぞれ一
対固着すると共に、これら各ビーム位置検出器の
検出値の入力に基いて光軸制御部材駆動器と筒体
駆動器に駆動側制御信号を与えるコントローラを
備え、該コントローラは前記入射側筒体の各ビー
ム位置検出器の検出値に基づき前記筒体駆動器に
駆動制御信号を送出すると共に、前記入射側筒体
及び出射側筒体双方の各ビーム位置検出器の検出
値に基づき前記光軸制御部材駆動器に駆動制御信
号を送出する構成としたのである。
正確に行い得る光軸調整装置の提供を目的とし、
係る目的を達成するために、本発明は、可動筒体
のレーザビーム入射側及び出射側にそれぞれ入射
側筒体及び出射側筒体を着脱自在に設けて該入射
側筒体及び出射側筒体の各内壁に、レーザビーム
径より小さい通過孔を有し、かつ、該レーザビー
ムの一部を受けて光軸位置を検出するビーム位置
検出器を該ビームの進行方向に沿つてそれぞれ一
対固着すると共に、これら各ビーム位置検出器の
検出値の入力に基いて光軸制御部材駆動器と筒体
駆動器に駆動側制御信号を与えるコントローラを
備え、該コントローラは前記入射側筒体の各ビー
ム位置検出器の検出値に基づき前記筒体駆動器に
駆動制御信号を送出すると共に、前記入射側筒体
及び出射側筒体双方の各ビーム位置検出器の検出
値に基づき前記光軸制御部材駆動器に駆動制御信
号を送出する構成としたのである。
係る構成を有する本発明の一実施例を第１図と
同一又は同効の部分に同一符号を附して第２図に
示す。図において、８，９は可動筒体１のレーザ
ビーム入射側及び出射側にそれぞれ、着脱自在に
設けられ入射側筒体及び出射側筒体で、これら入
射側筒体８及び出射側筒体９の各内壁には、レー
ザビーム径より小さい通過孔を有し、かつ、該レ
ーザビーム３の一部を受けてその光軸位置を検出
する一対のビーム位置検出器１０ａ，１０ｂ又は
１１ａ，１１ｂが該ビームの進行方向に沿つて固
着されている。また、１２は、上述のビーム位置
検出器１０ａ，１０ｂ，１１ａ，１１ｂの検出値
に基づき筒体駆動器４及びミラー駆動器５の各移
動量及び回転量を演算し、駆動制御信号として出
力するコントローラで、該コントローラ１２は入
射筒体８のビーム位置検出器１０ａ，１０ｂの検
出値に基づき筒体駆動器４に駆動制御信号を送出
すると共に、入射側筒体８及び出射側筒体９双方
のビーム位置検出器１０ａ，１０ｂ，１１ａ，１
１ｂの検出値に基づきミラー駆動器５に駆動制御
信号を送出するように成されている。更に、１３
〜１５は、それぞれ出射側筒体９に着脱自在に設
けられた筒体、該筒体１３に内蔵されているミラ
ー、該ミラー１４により反射されたレーザビーム
を吸収すべく筒体１３の一端に設けられた吸収板
で、これら筒体１３、ミラー１４吸収板１５は光
軸調整用に使われたレーザビーム３を最終的に吸
収処理するビームエネルギ吸収装置を構成してお
り安全性を確保する為のものである。
同一又は同効の部分に同一符号を附して第２図に
示す。図において、８，９は可動筒体１のレーザ
ビーム入射側及び出射側にそれぞれ、着脱自在に
設けられ入射側筒体及び出射側筒体で、これら入
射側筒体８及び出射側筒体９の各内壁には、レー
ザビーム径より小さい通過孔を有し、かつ、該レ
ーザビーム３の一部を受けてその光軸位置を検出
する一対のビーム位置検出器１０ａ，１０ｂ又は
１１ａ，１１ｂが該ビームの進行方向に沿つて固
着されている。また、１２は、上述のビーム位置
検出器１０ａ，１０ｂ，１１ａ，１１ｂの検出値
に基づき筒体駆動器４及びミラー駆動器５の各移
動量及び回転量を演算し、駆動制御信号として出
力するコントローラで、該コントローラ１２は入
射筒体８のビーム位置検出器１０ａ，１０ｂの検
出値に基づき筒体駆動器４に駆動制御信号を送出
すると共に、入射側筒体８及び出射側筒体９双方
のビーム位置検出器１０ａ，１０ｂ，１１ａ，１
１ｂの検出値に基づきミラー駆動器５に駆動制御
信号を送出するように成されている。更に、１３
〜１５は、それぞれ出射側筒体９に着脱自在に設
けられた筒体、該筒体１３に内蔵されているミラ
ー、該ミラー１４により反射されたレーザビーム
を吸収すべく筒体１３の一端に設けられた吸収板
で、これら筒体１３、ミラー１４吸収板１５は光
軸調整用に使われたレーザビーム３を最終的に吸
収処理するビームエネルギ吸収装置を構成してお
り安全性を確保する為のものである。
また、第３図Ａ，Ｂは、上述のビーム位置検出
器１０ａ，１０ｂ，１１ａ，１１ｂの具体的な構
成図で、第３図Ａはレーザビーム３の光軸OLと
該ビーム位置検出器の中心軸OMが一致した場合
を、第３図Ｂはレーザビーム３の光軸OLと検出
器の中心軸OMが不一致の場合をそれぞれ示す。
図において、１６ａ〜１６ｄは一部に切欠部を有
し、かつ、熱吸収率及び熱伝道率が共に高い材質
で成る同一形状（図のものは扇形）の板体であつ
て、該板体１６ａ〜１６ｄは筒体８，９の断面中
心部にレーザビーム３を通過させる中心孔を有す
るように配置されている。即ち、これら板体１６
ａ〜１６ｄの切欠部でレーザビーム３の通路を形
成している。また、１７ａ〜１７ｄは各板体１６
ａ〜１６ｄの受光面上に接合部の一方が固着され
た熱電対で、上述のコントローラ１２で電気信号
を送出するものである。従つて、第３図に示すビ
ーム位置検出器は、板体１６ａ〜１６ｄと熱電対
１７ａ〜１７ｄでなる４つのパワーメータをレー
ザビーム３の通過孔を有するように分割配設して
構成したものである。
器１０ａ，１０ｂ，１１ａ，１１ｂの具体的な構
成図で、第３図Ａはレーザビーム３の光軸OLと
該ビーム位置検出器の中心軸OMが一致した場合
を、第３図Ｂはレーザビーム３の光軸OLと検出
器の中心軸OMが不一致の場合をそれぞれ示す。
図において、１６ａ〜１６ｄは一部に切欠部を有
し、かつ、熱吸収率及び熱伝道率が共に高い材質
で成る同一形状（図のものは扇形）の板体であつ
て、該板体１６ａ〜１６ｄは筒体８，９の断面中
心部にレーザビーム３を通過させる中心孔を有す
るように配置されている。即ち、これら板体１６
ａ〜１６ｄの切欠部でレーザビーム３の通路を形
成している。また、１７ａ〜１７ｄは各板体１６
ａ〜１６ｄの受光面上に接合部の一方が固着され
た熱電対で、上述のコントローラ１２で電気信号
を送出するものである。従つて、第３図に示すビ
ーム位置検出器は、板体１６ａ〜１６ｄと熱電対
１７ａ〜１７ｄでなる４つのパワーメータをレー
ザビーム３の通過孔を有するように分割配設して
構成したものである。
次に、上記構成を有する本発明の一実施例に依
る光軸調整装置を用いた光路変更器の光軸調整操
作を第２図、第３図Ａ，Ｂについて説明する。
る光軸調整装置を用いた光路変更器の光軸調整操
作を第２図、第３図Ａ，Ｂについて説明する。
先ず、可動筒体１の位置決め動作について説明
すると、最初に、入射側筒体８の入射側に設けら
れたビーム位置検出器１０ａでその地点における
入射レーザビーム３の光軸位置OLを把える。即
ち、ビーム位置検出器１０ａの各板体１６ａ〜１
６ｄがレーザビーム３の一部を受光吸収し、その
受光面積Sa〜Sdに応じて温度を変化させ、熱電
対１７ａ〜１７ｄからその温度に応じた電気信号
をそれぞれコントローラ１２に送出する。コント
ローラ１２は、これを受け、この４つの電気信号
からレーザビーム３のビーム位置OLを演算する。
この演算されたビーム位置OLが第３図Ｂに示す
ようにビーム位置検出器１０ａの中心軸OMと不
一致の場合には、第３図Ａに示す如くビーム位置
OLが中心軸OMに一致するように、即ち、各板体
１６ａ〜１６ｄの受光面積Sa〜Sdが等しくなる
ようにコントローラ１２が可動筒体１の移動・回
転量を演算する。そして、この量に応じた駆動制
御信号を筒体駆動器４に出力し、可動筒体１を駆
動させ、ビーム位置検出器１０ａの地点でビーム
位置OLと該検出器１０ａの中心軸OMとを一致さ
せる。そして次に、今度は入射側筒体８の他のビ
ーム位置検出器１０ｂの検出値に基づき上述と同
様な動作をする。即ち、レーザビーム３のビーム
位置検出器１０ｂにおける各板体１６ａ〜１６ｄ
の受光面積Sa〜Sdに応じた電気信号を熱電対１
７ａ〜１７ｄがコントローラ１２に送り、コント
ローラ１２がこれら電気信号を基に可動筒体１の
移動・回転量、即ち、距離OM〜OLを零にするた
めの駆動量を演算し、駆動制御信号として筒体駆
動器４に送出し、該筒体駆動器４が既に調整済の
ビーム位置検出器１０ａにおける光軸位置を動か
さないようにしつつ可動筒体１を駆動する。以上
の動作により、可動筒体１の位置が定まりレーザ
ビーム３はミラー２へ何ら妨げられることなく真
直に搬送される。
すると、最初に、入射側筒体８の入射側に設けら
れたビーム位置検出器１０ａでその地点における
入射レーザビーム３の光軸位置OLを把える。即
ち、ビーム位置検出器１０ａの各板体１６ａ〜１
６ｄがレーザビーム３の一部を受光吸収し、その
受光面積Sa〜Sdに応じて温度を変化させ、熱電
対１７ａ〜１７ｄからその温度に応じた電気信号
をそれぞれコントローラ１２に送出する。コント
ローラ１２は、これを受け、この４つの電気信号
からレーザビーム３のビーム位置OLを演算する。
この演算されたビーム位置OLが第３図Ｂに示す
ようにビーム位置検出器１０ａの中心軸OMと不
一致の場合には、第３図Ａに示す如くビーム位置
OLが中心軸OMに一致するように、即ち、各板体
１６ａ〜１６ｄの受光面積Sa〜Sdが等しくなる
ようにコントローラ１２が可動筒体１の移動・回
転量を演算する。そして、この量に応じた駆動制
御信号を筒体駆動器４に出力し、可動筒体１を駆
動させ、ビーム位置検出器１０ａの地点でビーム
位置OLと該検出器１０ａの中心軸OMとを一致さ
せる。そして次に、今度は入射側筒体８の他のビ
ーム位置検出器１０ｂの検出値に基づき上述と同
様な動作をする。即ち、レーザビーム３のビーム
位置検出器１０ｂにおける各板体１６ａ〜１６ｄ
の受光面積Sa〜Sdに応じた電気信号を熱電対１
７ａ〜１７ｄがコントローラ１２に送り、コント
ローラ１２がこれら電気信号を基に可動筒体１の
移動・回転量、即ち、距離OM〜OLを零にするた
めの駆動量を演算し、駆動制御信号として筒体駆
動器４に送出し、該筒体駆動器４が既に調整済の
ビーム位置検出器１０ａにおける光軸位置を動か
さないようにしつつ可動筒体１を駆動する。以上
の動作により、可動筒体１の位置が定まりレーザ
ビーム３はミラー２へ何ら妨げられることなく真
直に搬送される。
次に、ミラー２の位置決めについて説明する
と、この場合も可動筒体１の位置決め動作と同様
である。即ち、最初にミラー２で反射されたレー
ザビーム３の光軸位置を出射側筒体９の最初のビ
ーム位置検出器１１ａで電気信号として検出して
コントローラ１２に送出し、次に、この電気信号
を基にコントローラ１２がミラー２の移動・回転
量を決め、ミラー駆動器５に出力してミラー２を
移動・回転させる。更に、次いで、出射側筒体９
の他のビーム位置検出器１１ｂからの電気信号を
基に該動作を繰り返して、再びミラー２を回転移
動させ最終的にミラー２の位置を固定させる。な
お、コントローラ１２が上述の如くミラー２の移
動・回転量を決める際には、可動筒体１の位置、
即ち入射側筒体８の一対のビーム位置検出器１０
ａ，１０ｂからの信号を考慮することは勿論であ
り、ミラー２の移動を平行移動又は回転移動の何
れか一方だけに限定した場合には上述のビーム位
置検出器１０ａ，１０ｂからの信号を用いること
で出射側筒体９の何れか一方のビーム位置検出器
１１ａ又は１１ｂは不要となる。
と、この場合も可動筒体１の位置決め動作と同様
である。即ち、最初にミラー２で反射されたレー
ザビーム３の光軸位置を出射側筒体９の最初のビ
ーム位置検出器１１ａで電気信号として検出して
コントローラ１２に送出し、次に、この電気信号
を基にコントローラ１２がミラー２の移動・回転
量を決め、ミラー駆動器５に出力してミラー２を
移動・回転させる。更に、次いで、出射側筒体９
の他のビーム位置検出器１１ｂからの電気信号を
基に該動作を繰り返して、再びミラー２を回転移
動させ最終的にミラー２の位置を固定させる。な
お、コントローラ１２が上述の如くミラー２の移
動・回転量を決める際には、可動筒体１の位置、
即ち入射側筒体８の一対のビーム位置検出器１０
ａ，１０ｂからの信号を考慮することは勿論であ
り、ミラー２の移動を平行移動又は回転移動の何
れか一方だけに限定した場合には上述のビーム位
置検出器１０ａ，１０ｂからの信号を用いること
で出射側筒体９の何れか一方のビーム位置検出器
１１ａ又は１１ｂは不要となる。
更に、光軸調整操作に用いたビームレーザ３自
体の処理動作について説明すると、先ず、出射側
筒体９を通過したレーザビーム３を処理用筒体１
３に入射し、ミラー１４がこれを反射して吸収板
１５へ搬送し、そして、該吸収板１５がそのレー
ザビームエネルギーを吸収する。しかして、これ
により、安全性が確保できる。
体の処理動作について説明すると、先ず、出射側
筒体９を通過したレーザビーム３を処理用筒体１
３に入射し、ミラー１４がこれを反射して吸収板
１５へ搬送し、そして、該吸収板１５がそのレー
ザビームエネルギーを吸収する。しかして、これ
により、安全性が確保できる。
以上の動作によつて、レーザビーム３を安全
に、かつ、所定位置に搬送出力できるように可動
筒体１及びミラー２の位置が定まり、可動筒体１
及びミラー２から成る光路変更器の光軸が調整さ
れたこととなる。そして、この調整後に、上述の
入射側筒体８、出射側筒体９及び処理用筒体１３
を可動筒体１から取り外し、レーザビーム３をつ
いでもレーザ加工等に用い得る状態となる。
に、かつ、所定位置に搬送出力できるように可動
筒体１及びミラー２の位置が定まり、可動筒体１
及びミラー２から成る光路変更器の光軸が調整さ
れたこととなる。そして、この調整後に、上述の
入射側筒体８、出射側筒体９及び処理用筒体１３
を可動筒体１から取り外し、レーザビーム３をつ
いでもレーザ加工等に用い得る状態となる。
なお、上記実施例においては、ビーム位置検出
器１０ａ，１０ｂ，１１ａ，１１ｂを４個のパワ
ーメータで構成したものを示したが、該個数に限
られることはなく、ビームの光軸位置を確実に把
える為には少なくとも３個以上のパワーメータに
より構成されておれば良く、上記実施例と同様な
効果が期待される。また、上記実施例においては
パワーメータを構成する板体１６ａ〜１６ｄの受
光面の材質等については何等触れなかつたが、該
受光面は熱吸収率が高い材質で形成されている方
が良く、例えば、その受光面に熱吸収率の良好な
カーボンを付着したらならば、ビームの吸収率も
良くなり、熱電対１７ａ〜１７ｄによる電気信号
への変換効率も良くなつてビームの光軸位置を明
確に把え得るという効果が期待できる。
器１０ａ，１０ｂ，１１ａ，１１ｂを４個のパワ
ーメータで構成したものを示したが、該個数に限
られることはなく、ビームの光軸位置を確実に把
える為には少なくとも３個以上のパワーメータに
より構成されておれば良く、上記実施例と同様な
効果が期待される。また、上記実施例においては
パワーメータを構成する板体１６ａ〜１６ｄの受
光面の材質等については何等触れなかつたが、該
受光面は熱吸収率が高い材質で形成されている方
が良く、例えば、その受光面に熱吸収率の良好な
カーボンを付着したらならば、ビームの吸収率も
良くなり、熱電対１７ａ〜１７ｄによる電気信号
への変換効率も良くなつてビームの光軸位置を明
確に把え得るという効果が期待できる。
以上のように、本発明の光軸調整装置によれ
ば、可動筒体のレーザビーム入射側及び出射側に
それぞれ入射側筒体及び主射側筒体を着脱自在に
設けて該入射側筒体及び出射側筒体の各内壁に、
レーザビーム径より小さい通過孔を有し、かつ、
該レーザビームの一部を受けて光軸位置を検出す
るビーム位置検出器を該ビームの進行方向に沿つ
てそれぞれ一対固着すると共に、これら各ビーム
位置検出器の検出値の入力に基いて前記光軸制御
部材駆動器と筒体駆動器に駆動制御信号を与える
コントローラを備え、該コントローラは前記入射
側筒体の各ビーム位置検出器の検出値に基づき前
記筒体駆動器に駆動制御信号を送出すると共に、
前記入射側筒体及び出射側筒体双方の各ビーム位
置検出器の検出値に基づき前記光軸制御部材駆動
器に駆動制御信号を送出する構成としたので、従
来装置に比べ光軸調整が容易で、迅速かつ正確に
行な得るという効果を有する。
ば、可動筒体のレーザビーム入射側及び出射側に
それぞれ入射側筒体及び主射側筒体を着脱自在に
設けて該入射側筒体及び出射側筒体の各内壁に、
レーザビーム径より小さい通過孔を有し、かつ、
該レーザビームの一部を受けて光軸位置を検出す
るビーム位置検出器を該ビームの進行方向に沿つ
てそれぞれ一対固着すると共に、これら各ビーム
位置検出器の検出値の入力に基いて前記光軸制御
部材駆動器と筒体駆動器に駆動制御信号を与える
コントローラを備え、該コントローラは前記入射
側筒体の各ビーム位置検出器の検出値に基づき前
記筒体駆動器に駆動制御信号を送出すると共に、
前記入射側筒体及び出射側筒体双方の各ビーム位
置検出器の検出値に基づき前記光軸制御部材駆動
器に駆動制御信号を送出する構成としたので、従
来装置に比べ光軸調整が容易で、迅速かつ正確に
行な得るという効果を有する。
第１図は従来の光軸調整装置を示す構成図、第
２図は本発明の一実施例による光軸調整装置を示
す構成図、第３図Ａ，Ｂは本発明の光軸調整装置
におけるビーム位置検出器の一実施例構成を示す
と共にレーザビームの照射状況を示す正面図であ
る。 １，８，９：筒体、２：光軸制御部材（ミラ
ー）、３：レーザビーム、４：筒体駆動器、５：
光軸制御部材駆動器（ミラー駆動器）、１０ａ，
１０ｂ，１１ａ，１１ｂ：ビーム位置検出器、１
２：コントローラ、１６ａ〜１６ｄ：板体、１７
ａ〜１７ｄ：熱電対、なお、図中、同一符号は同
一又は相当部分を示す。
２図は本発明の一実施例による光軸調整装置を示
す構成図、第３図Ａ，Ｂは本発明の光軸調整装置
におけるビーム位置検出器の一実施例構成を示す
と共にレーザビームの照射状況を示す正面図であ
る。 １，８，９：筒体、２：光軸制御部材（ミラ
ー）、３：レーザビーム、４：筒体駆動器、５：
光軸制御部材駆動器（ミラー駆動器）、１０ａ，
１０ｂ，１１ａ，１１ｂ：ビーム位置検出器、１
２：コントローラ、１６ａ〜１６ｄ：板体、１７
ａ〜１７ｄ：熱電対、なお、図中、同一符号は同
一又は相当部分を示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ ミラー又はレンズ等の光軸制御部材と該光軸
制御部材を内蔵する可動筒体をそれぞれ光軸制御
部材駆動器と筒体駆動器で駆動制御し、前記可動
筒体へ入射されるレーザビームを所定方向に搬送
出力させる光軸調整装置において、前記可動筒体
のレーザビーム入射側及び出射側にそれぞれ入射
側筒体及び出射側筒体を着脱自在に設けて該入射
側筒体及び出射側筒体の各内壁に、レーザビーム
径より小さい通過孔を有し、かつ、該レーザビー
ムの一部を受けてそのビームの光軸位置を検出す
るビーム位置検出器を該ビームの進行方向に沿つ
てそれぞれ一対固着すると共に、これら各ビーム
位置検出器の検出値の入力に基いて、前記光軸制
御部材駆動器と筒体駆動器に駆動制御信号を与え
るコントローラを備え、該コントローラは前記入
射側筒体の各ビーム位置検出器の検出値に基づき
前記筒体駆動器に駆動制御信号を送出すると共
に、前記入射側筒体及び出射側筒体双方の各ビー
ム位置検出器の検出値に基づき前記光軸制御部材
駆動器に駆動制御信号を送出する構成としたこと
を特徴とする光軸調整装置。 ２ 上記ビーム位置検出器は、上記筒体断面の中
心点から等距離の円周線上に分割配設されて上記
レーザビームの通過孔を形成する少なくとも３つ
以上のパワーメータで成り、照射されたレーザビ
ームを吸収しその吸収熱に応じた各パワーメータ
の検出値に基づいて該レーザビームの光軸位置を
検出することを特徴とする特許請求の範囲第１項
記載の光軸調整装置。 ３ 上記パワーメータは、上記レーザビームの受
光吸収面にカーボンが付着されていて該レーザビ
ームの熱を吸収すると共に、その吸収熱エネルギ
ーを熱電対により電気信号に変換させる構成とし
たことを特徴とする特許請求の範囲第２項記載の
光軸調整装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13536582A JPS5924809A (ja) | 1982-08-03 | 1982-08-03 | 光軸調整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13536582A JPS5924809A (ja) | 1982-08-03 | 1982-08-03 | 光軸調整装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5924809A JPS5924809A (ja) | 1984-02-08 |
| JPH0376441B2 true JPH0376441B2 (ja) | 1991-12-05 |
Family
ID=15150022
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13536582A Granted JPS5924809A (ja) | 1982-08-03 | 1982-08-03 | 光軸調整装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5924809A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6285837A (ja) * | 1985-10-12 | 1987-04-20 | Fuji Photo Optical Co Ltd | レ−ザ測定器におけるピンホ−ル調整装置 |
| JPH01291760A (ja) * | 1988-05-20 | 1989-11-24 | Shinkawaya:Kk | 長麺茹で容器 |
-
1982
- 1982-08-03 JP JP13536582A patent/JPS5924809A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5924809A (ja) | 1984-02-08 |
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