JPS5924809A - 光軸調整装置 - Google Patents
光軸調整装置Info
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- JPS5924809A JPS5924809A JP13536582A JP13536582A JPS5924809A JP S5924809 A JPS5924809 A JP S5924809A JP 13536582 A JP13536582 A JP 13536582A JP 13536582 A JP13536582 A JP 13536582A JP S5924809 A JPS5924809 A JP S5924809A
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- laser beam
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/26—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes
- G01B11/27—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes
- G01B11/272—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring angles or tapers; for testing the alignment of axes for testing the alignment of axes using photoelectric detection means
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、入射レーザビーム全筒体に内蔵されるミラー
、プリズム又はレンズ等金介して所定方向に搬送出力す
るための光［１１１１１調整装置に関するものである。
、プリズム又はレンズ等金介して所定方向に搬送出力す
るための光［１１１１１調整装置に関するものである。
従来、この種装置として３１１１図に示すものがあった
。図において、（１）は可動筒体、（２）は該可動筒体
（１）Ｋ内蔵さハている光軸制御１１１１材たるミラー
で。
。図において、（１）は可動筒体、（２）は該可動筒体
（１）Ｋ内蔵さハている光軸制御１１１１材たるミラー
で。
こ九ら可動節体（１）及びミラー（２）でレーザビーム
（８）を所定方向に搬送出力する光路変更器を形成する
。
（８）を所定方向に搬送出力する光路変更器を形成する
。
咬た、（４）は可動筒体（１）を駆動する筒体駆動器、
（５）にミラー（２）を駆動するミラー（光軸制御部材
）駆動器で、こ八らの駆動により上記光路変更器の光幅
全調整するものである。更にまた、（６α） 、 （６
ｂ）にそれぞれ、筒体（１）の入射レーザビームの位置
、又は出射レーザビームの位置全検出するアクリル板で
、こハによる検出値に基づき上述のＩＥｒＪＪ器（４）
。
（５）にミラー（２）を駆動するミラー（光軸制御部材
）駆動器で、こ八らの駆動により上記光路変更器の光幅
全調整するものである。更にまた、（６α） 、 （６
ｂ）にそれぞれ、筒体（１）の入射レーザビームの位置
、又は出射レーザビームの位置全検出するアクリル板で
、こハによる検出値に基づき上述のＩＥｒＪＪ器（４）
。
（５）の駆動側−が行なわれる。なお−（７ａ）、（７
ｂ）はアクリル板（６ａＬ（６ｂ）によるレーザビーム
（８）の照射位ａの検出ｋＷｉ実化ならしめる為アクリ
ル板（６ａ）、（６ｂ）に吹き付けらハる不活性ガスで
ある。
ｂ）はアクリル板（６ａＬ（６ｂ）によるレーザビーム
（８）の照射位ａの検出ｋＷｉ実化ならしめる為アクリ
ル板（６ａ）、（６ｂ）に吹き付けらハる不活性ガスで
ある。
次に、上記構成全盲する従来の光軸調整装置〃全周いた
光路変更器の光軸調整の動作についてｈ９明する。
光路変更器の光軸調整の動作についてｈ９明する。
先ず最初に、可動節体（１）の入射口にアクリル板（６
ａ）全配置し、そのアクリル板（６ａ）に不活性ガス（
７ａ流吹き付けた状態でレーザビーム（ａｌ ｋ 照射
し、可動節体（１）への入射レーザビームの光１ｑ１１
位置全確認する。次いで、この光軸位置に基づき、レー
ザビーム（８）がミラー（２）まで搬送されるような可
動筒体（１）の位置を決め、筒体駆動器（４）にエフ可
動節体（１）をその位置に移動させる。次に、アクリル
板（６ａ）及び不活性ガス（７ａＸ：除き、可動節体（
１）の出射口に別のアクリル板（６ｂＸ−配して、その
アクリル板（６ｂ）に不活性ガス（７ｂ）全吹き付けた
状態でレーザビーム（３）を照射し、ミラー（２）で反
射８２１７ｊビームの光＃Ｑｊ位置全確認する。そして
、最後にこの反射ビームの光軸位置に基づきミラー（２
）の適切な位置全快め、ミラー駆動器（５）を使ってミ
ラー（２）の位置金変える。このような調整［、Ｊ：つ
て、レーザビーム（８）ハ可動筒体（１）及びミラー（
２）からなる光路変更器にエリ希望の所に搬送さＪし得
、レーザ加工等に用いられ得る状態となる。
ａ）全配置し、そのアクリル板（６ａ）に不活性ガス（
７ａ流吹き付けた状態でレーザビーム（ａｌ ｋ 照射
し、可動節体（１）への入射レーザビームの光１ｑ１１
位置全確認する。次いで、この光軸位置に基づき、レー
ザビーム（８）がミラー（２）まで搬送されるような可
動筒体（１）の位置を決め、筒体駆動器（４）にエフ可
動節体（１）をその位置に移動させる。次に、アクリル
板（６ａ）及び不活性ガス（７ａＸ：除き、可動節体（
１）の出射口に別のアクリル板（６ｂＸ−配して、その
アクリル板（６ｂ）に不活性ガス（７ｂ）全吹き付けた
状態でレーザビーム（３）を照射し、ミラー（２）で反
射８２１７ｊビームの光＃Ｑｊ位置全確認する。そして
、最後にこの反射ビームの光軸位置に基づきミラー（２
）の適切な位置全快め、ミラー駆動器（５）を使ってミ
ラー（２）の位置金変える。このような調整［、Ｊ：つ
て、レーザビーム（８）ハ可動筒体（１）及びミラー（
２）からなる光路変更器にエリ希望の所に搬送さＪし得
、レーザ加工等に用いられ得る状態となる。
しかるに、従来の光軸調整装置＋ｒ＋は以上のように第
１ｑ成され、レーザビームの光軸位置音検出する毎に新
しいアクリル板金要し、多くの手間がかかると共に、不
経済ｔあるという欠点、更に、アクリル板上の光軸位置
の確認、駆動４：’ｈのに１く動という一連の動作が自
動化さ１ｔておらず、正確さ及び迅速性に欠けるという
欠点があつ１こ１゜ そこで、本発明は、光軸調整が！８易で迅速かつ正確に
行い得る光軸調整装置の提供全目的とし、係る目的全達
成するためＶＣ％本発明１；！：、可ＭＪ節体のレーザ
ビーム入射側ｊ及び出射側に七れぞツを入射側筒体及び
出射側筒体全着脱自在に設けて該入射側筒体及び出射１
１１！ｌ筒体の各内壁に、レーザビーム径エリ小さい通
過孔合有し、かつ、該レーザビームの一部を受けて光軸
位置を検出するビーム位置検出器を該ビームの進行方向
に沿ってそｎぞれ一対固着すると共に、こハら各ビーム
位置検出器の検出値の入力に基いて光軸制御仰材駆動器
と筒体駆動器に駆動制御イハ号を与えるコントローラを
備え、該コントローラは前記入射側筒体の各ビーム位置
検出器の検出値に基づき前記筒体駆動器に駆動制御信号
？送出すると共に、前記入射側筒体及び出射側筒体双方
の各ビーム位置検出器の検出値に基づきｎｉＪ記光＋Ｉ
Ｉ！＋制御部、目駆動器に駆ｙｆυ制御（ｉｆ号金送出
すん構成としたの’Ｃ、Ｔ４ｒる。
１ｑ成され、レーザビームの光軸位置音検出する毎に新
しいアクリル板金要し、多くの手間がかかると共に、不
経済ｔあるという欠点、更に、アクリル板上の光軸位置
の確認、駆動４：’ｈのに１く動という一連の動作が自
動化さ１ｔておらず、正確さ及び迅速性に欠けるという
欠点があつ１こ１゜ そこで、本発明は、光軸調整が！８易で迅速かつ正確に
行い得る光軸調整装置の提供全目的とし、係る目的全達
成するためＶＣ％本発明１；！：、可ＭＪ節体のレーザ
ビーム入射側ｊ及び出射側に七れぞツを入射側筒体及び
出射側筒体全着脱自在に設けて該入射側筒体及び出射１
１１！ｌ筒体の各内壁に、レーザビーム径エリ小さい通
過孔合有し、かつ、該レーザビームの一部を受けて光軸
位置を検出するビーム位置検出器を該ビームの進行方向
に沿ってそｎぞれ一対固着すると共に、こハら各ビーム
位置検出器の検出値の入力に基いて光軸制御仰材駆動器
と筒体駆動器に駆動制御イハ号を与えるコントローラを
備え、該コントローラは前記入射側筒体の各ビーム位置
検出器の検出値に基づき前記筒体駆動器に駆動制御信号
？送出すると共に、前記入射側筒体及び出射側筒体双方
の各ビーム位置検出器の検出値に基づきｎｉＪ記光＋Ｉ
Ｉ！＋制御部、目駆動器に駆ｙｆυ制御（ｉｆ号金送出
すん構成としたの’Ｃ、Ｔ４ｒる。
係る構成イ（：有する本発明の一実施例を第１図と同−
又げ同効の部分に同・−符号を附して第２図に示す。図
においてｓ （８） 、 （ｏ）は可動筒体（１）のレ
ーザビーム入射ｉｌｔ！Ｉ及び出射９１１］にそれぞれ
、着脱自在に設けら汎た入射側筒体及び出射側筒体で、
こノ１ら入射１０１ｊ筒体（８）及び出射側筒体（９）
の各日収には、レーザビーム径、Ｊ：！ｌｌ小さい；角
過孔全刊し、かつ、該レーザビーム（３）の一部ケ受け
てその光＋ｌ）１位置を検出する一対のビーム位置（央
出器（１０ａ）、（１０ｂ）又ｒ、Ｉ（Ｉｌａ）＋（１
ｔｂ）が該ビームの進行方向にτθつて同着されている
。また、 （＋２；ｌは、上述のビーム位置検出器（１
ｏａ）、（ｉｏｂ）、（１１ａ）、（１ｉｂ）の検出値
に基づき筒体駆動器（４）及びミラー駆動器（５）の各
移動片及び回転１を演算し、駆動制御信号として出力す
るコントローラで、該コントローラ（６）は入射側筒体
（８）のビーム位置検出器（ＩＤａ）、（１０ｂ）の検
出値に基づきＮ体、駆動器（４）Ｋ駆動制御信号全送出
すると共に、入射側筒体（８）及び出射側筒体（９）双
方のビーム位置検出器（１［）ａ）、（１０ｂ）、（１
１ａ）、（ｌｌｂ）の検出値に基づきミラ・−１駆動器
（５）に駆動制御・１言−号音送出′ｒる工うに成さｎ
ている。更に、（１勇〜（１すｒ、＋：、−ｔ−れぞ７
を出射側筒体（９）に着脱自在に設けらＩ’Ｌ ｌｊ−
’ｌＴｈ：ｆ体、該筒体０３）に内破さｎているミラー
、該ミラーＱ・りに１９反射さｉ’Ｌ ｆＣレーザビー
ムにＶｌ、収丁べく筒体（１段の一端に設けら１１．７
ζ吸収仮で、こ１１ら筒体（１勇、ミラー０舗吸Ｊス板
（同は光軸調整用に使われ７ｔレーザビーム（８）全屓
終的に吸収処理Ｊ“るビームエネルギ臥収装置金１′シ
成しており安全性を確保する為のものである。
又げ同効の部分に同・−符号を附して第２図に示す。図
においてｓ （８） 、 （ｏ）は可動筒体（１）のレ
ーザビーム入射ｉｌｔ！Ｉ及び出射９１１］にそれぞれ
、着脱自在に設けら汎た入射側筒体及び出射側筒体で、
こノ１ら入射１０１ｊ筒体（８）及び出射側筒体（９）
の各日収には、レーザビーム径、Ｊ：！ｌｌ小さい；角
過孔全刊し、かつ、該レーザビーム（３）の一部ケ受け
てその光＋ｌ）１位置を検出する一対のビーム位置（央
出器（１０ａ）、（１０ｂ）又ｒ、Ｉ（Ｉｌａ）＋（１
ｔｂ）が該ビームの進行方向にτθつて同着されている
。また、 （＋２；ｌは、上述のビーム位置検出器（１
ｏａ）、（ｉｏｂ）、（１１ａ）、（１ｉｂ）の検出値
に基づき筒体駆動器（４）及びミラー駆動器（５）の各
移動片及び回転１を演算し、駆動制御信号として出力す
るコントローラで、該コントローラ（６）は入射側筒体
（８）のビーム位置検出器（ＩＤａ）、（１０ｂ）の検
出値に基づきＮ体、駆動器（４）Ｋ駆動制御信号全送出
すると共に、入射側筒体（８）及び出射側筒体（９）双
方のビーム位置検出器（１［）ａ）、（１０ｂ）、（１
１ａ）、（ｌｌｂ）の検出値に基づきミラ・−１駆動器
（５）に駆動制御・１言−号音送出′ｒる工うに成さｎ
ている。更に、（１勇〜（１すｒ、＋：、−ｔ−れぞ７
を出射側筒体（９）に着脱自在に設けらＩ’Ｌ ｌｊ−
’ｌＴｈ：ｆ体、該筒体０３）に内破さｎているミラー
、該ミラーＱ・りに１９反射さｉ’Ｌ ｆＣレーザビー
ムにＶｌ、収丁べく筒体（１段の一端に設けら１１．７
ζ吸収仮で、こ１１ら筒体（１勇、ミラー０舗吸Ｊス板
（同は光軸調整用に使われ７ｔレーザビーム（８）全屓
終的に吸収処理Ｊ“るビームエネルギ臥収装置金１′シ
成しており安全性を確保する為のものである。
また、へ３５図（（転）、（Ｂ）は、上述のビーム位置
検出’ｈ’？ｓ （１０ａ）、（ＩＤｂ）、（１１ａ）
、（１１’ｂ）の具体的な禍成図で、第６図（Ａ）はレ
ーザビーム（８）の光軸 ｏ、Ｌと該ビーム位置検出器
の中心軸ＯＭが一致し７Ｃ場合？、第３ＩＩ （Ｂ）
ｋよレーザビーム（８）の光軸 ＯＬと検出器の中心軸
ＯＭが不一致の場合全セ九ぞｎ示す。図において、（
１６ａ）〜（１６ｄ）に一部に切欠部１有し、がっ。
検出’ｈ’？ｓ （１０ａ）、（ＩＤｂ）、（１１ａ）
、（１１’ｂ）の具体的な禍成図で、第６図（Ａ）はレ
ーザビーム（８）の光軸 ｏ、Ｌと該ビーム位置検出器
の中心軸ＯＭが一致し７Ｃ場合？、第３ＩＩ （Ｂ）
ｋよレーザビーム（８）の光軸 ＯＬと検出器の中心軸
ＯＭが不一致の場合全セ九ぞｎ示す。図において、（
１６ａ）〜（１６ｄ）に一部に切欠部１有し、がっ。
熱吸収率及び熱伝導率が共に高い材質で成る同一形状（
図のものは扇形）の板体であって、該板体（１６ａ）〜
（１６（１）は筒体（８）ゝ、（９）の断面中心部にレ
ーザビーム（８）？通過させる中心孔を有する工うに配
置されている。即ち、これら板体（１６ａ）〜（１６ｄ
）の切欠部でレーザビーム（８）の通路全形成している
。ま１こ、（１７ａ）〜（１７ｄ） ｒ：各板体（１６
ａ）〜（１６ｄ）の受光面上に接合部の一方が固層され
友熱電対で、上述のコントローラ（（２）に電気信号全
送出するものである。
図のものは扇形）の板体であって、該板体（１６ａ）〜
（１６（１）は筒体（８）ゝ、（９）の断面中心部にレ
ーザビーム（８）？通過させる中心孔を有する工うに配
置されている。即ち、これら板体（１６ａ）〜（１６ｄ
）の切欠部でレーザビーム（８）の通路全形成している
。ま１こ、（１７ａ）〜（１７ｄ） ｒ：各板体（１６
ａ）〜（１６ｄ）の受光面上に接合部の一方が固層され
友熱電対で、上述のコントローラ（（２）に電気信号全
送出するものである。
従って、第５図に示すビーム位置検出器は、板体（１６
ａ）〜（１６ｄ）と熱電文Ｊ （１７ａ）〜（１７ｄ）
でなる４つのパワーメータ會レーザビーム（８）の通過
孔を有するように分割配設して構成し７ｔものである。
ａ）〜（１６ｄ）と熱電文Ｊ （１７ａ）〜（１７ｄ）
でなる４つのパワーメータ會レーザビーム（８）の通過
孔を有するように分割配設して構成し７ｔものである。
次に、上記構成？有する本発明の一実施例に依る光軸調
剪装置會用い１ζ光路変更器の光軸調整操作全第２図、
第５図（Ａ） Ｉ （Ｂ）について説明する。
剪装置會用い１ζ光路変更器の光軸調整操作全第２図、
第５図（Ａ） Ｉ （Ｂ）について説明する。
先ず、可動筒体（１）の位置決め動作について説明する
と、□最初に、入射側筒体（８）の入射側に設けらハた
ビーム位置検出器（１０ａ）でその地点における入射レ
ーザビーム（８）の光軸位ｆｒｔｏＬ’！ｉ＝把える。
と、□最初に、入射側筒体（８）の入射側に設けらハた
ビーム位置検出器（１０ａ）でその地点における入射レ
ーザビーム（８）の光軸位ｆｒｔｏＬ’！ｉ＝把える。
即ち、ビーム位面検出器（１０ａ）の各板体（１６ａ）
〜（１６ｄ）がレーデビーム（＋１）の−郡を受光吸収
し、その受光面積ｆ３ａ −ａｄに応じて温度を変化さ
せ、熱電対（１７ａ）〜（１７ｄ）からその温度に応じ
た電気信号？そ九ぞハコントローラ（１＠に送出する。
〜（１６ｄ）がレーデビーム（＋１）の−郡を受光吸収
し、その受光面積ｆ３ａ −ａｄに応じて温度を変化さ
せ、熱電対（１７ａ）〜（１７ｄ）からその温度に応じ
た電気信号？そ九ぞハコントローラ（１＠に送出する。
コントローラ（’Ｅ ｕ ｔ これ全受け、この４つの
↑電気信号からレーザビーム（８）のビーム位置 ０７
□を演算する。この演算さ−ｊ″したビーム位置 ０□
、が第３図（Ｂ）に示すようにビーム位置検出器（１０
α）の中心軸ＯＭと不一致の場合には、第３図（Ａ）に
示す如くビーム位置０１が中心軸ＯＭに一致するように
、即ち、各板体（１６ａ）〜（Ｌ６ｄ）の受光面５ Ｓ
ａ −Ｅｔａが等しくなるようにコントローラ（四が可
動筒体（１）の移動・回転量を演算する。。そして、こ
の量に応じた駆動制御信号全筒体駆動器（４）に出力し
、町ＩＪＯ筒体（１）を駆動させ、ビーム位置検出器（
１０ａ）の地点でビーム位置Ｏ，Ｌ と該検ＩＢ器（
ＩＤａ）の中心軸 ０□とｔ一致させる。そし°Ｃ次に
、今度は入射側筒体（８）の他のビーム位置検出器（ｉ
ｏｂ）の検出値に基づき上述と同様な動作をする。即ち
、レーザビーム（３）のビーム位ｔｉｔ検出ＩＲ（ｉｏ
ｂ）における各版体（１６ａ）〜（１６ａ）の受光面ｆ
Ｑ Ｅｔａ −Ｓｄに応じたｉＩ”ｂ ’Ａ信号′（ｒ
熱ｉｔｃ幻（１７ａ）〜（１７ａ）がコントローラ（旧
に送り、コントローラ（−がこｊ、ら電気信号を基に可
動筒体（１）の移動・回転Ｊ：５Ｈ、即ち、−距離ＯＭ
〜ＯＴ、を零にするための駆動量な演算し、駆動制御イ
ご１づとして筒体駆動器（４）に送出し、該筒体駆動器
（４）が既に調蔚済のビーム位 □置検出器（１
０ａ）における光軸位１道全動かさないようにしつつ可
動筒体（１）Ｆ、ｃ ＩＩＡ動する。以上の動作に、［
す、可動筒体（１）の位置が定まりレーザビーム（８）
にミラー（２）へ伺ら妨げらυ、ることなく真ｉＦｔ
ＶＣ搬送される。
↑電気信号からレーザビーム（８）のビーム位置 ０７
□を演算する。この演算さ−ｊ″したビーム位置 ０□
、が第３図（Ｂ）に示すようにビーム位置検出器（１０
α）の中心軸ＯＭと不一致の場合には、第３図（Ａ）に
示す如くビーム位置０１が中心軸ＯＭに一致するように
、即ち、各板体（１６ａ）〜（Ｌ６ｄ）の受光面５ Ｓ
ａ −Ｅｔａが等しくなるようにコントローラ（四が可
動筒体（１）の移動・回転量を演算する。。そして、こ
の量に応じた駆動制御信号全筒体駆動器（４）に出力し
、町ＩＪＯ筒体（１）を駆動させ、ビーム位置検出器（
１０ａ）の地点でビーム位置Ｏ，Ｌ と該検ＩＢ器（
ＩＤａ）の中心軸 ０□とｔ一致させる。そし°Ｃ次に
、今度は入射側筒体（８）の他のビーム位置検出器（ｉ
ｏｂ）の検出値に基づき上述と同様な動作をする。即ち
、レーザビーム（３）のビーム位ｔｉｔ検出ＩＲ（ｉｏ
ｂ）における各版体（１６ａ）〜（１６ａ）の受光面ｆ
Ｑ Ｅｔａ −Ｓｄに応じたｉＩ”ｂ ’Ａ信号′（ｒ
熱ｉｔｃ幻（１７ａ）〜（１７ａ）がコントローラ（旧
に送り、コントローラ（−がこｊ、ら電気信号を基に可
動筒体（１）の移動・回転Ｊ：５Ｈ、即ち、−距離ＯＭ
〜ＯＴ、を零にするための駆動量な演算し、駆動制御イ
ご１づとして筒体駆動器（４）に送出し、該筒体駆動器
（４）が既に調蔚済のビーム位 □置検出器（１
０ａ）における光軸位１道全動かさないようにしつつ可
動筒体（１）Ｆ、ｃ ＩＩＡ動する。以上の動作に、［
す、可動筒体（１）の位置が定まりレーザビーム（８）
にミラー（２）へ伺ら妨げらυ、ることなく真ｉＦｔ
ＶＣ搬送される。
次に、ミラー（２）の位置決めについてｄｊｌ明すると
、この場合も可４（す筒体（１）の位置決め動作と同様
で、ｂろ。即ち、最初にミラー（２）で反射さ：ｔ′Ｌ
１こレーザビーム（８）の光軸位１４全出射Ｂ１１１筒
体（９）の最初のビーム位１眉検出器（１１ａ）で電気
１４号として検出してコントローラ（Ｉ匂に送出し、次
に、この電気毎号全糸にコントローラ（埒がミラー（２
）の移動・回転量全快め、ミラー駆動器（５）に出力し
てミラー（２）全移動・回転させる。更に、次いで、出
射側筒体（９）の他のビーム位置検出器（１１ｂ）から
の電気信号？基に該動作を繰り返して、再びミラー（２
）？回転移動させ最終的にミラー（２）の位置を固定さ
せる。なお、コントロー２（農が上述の如くミラー（２
）の移動・回転’Ａｋ決める際には、可動筒体（１）の
位１ｉｆ＋’、 ｓ即ち入射ｆｌｌ！＋筒体（８）の一
対のビーム位置検出器（１０ａ）、（１０ｂ）からの信
号？考慮することは勿論であり、ミラー（２）の移動全
平行移動又は回転移動の何れか一方だけに限定した場合
には上述のビーム位置検出器（１０ａ）。
、この場合も可４（す筒体（１）の位置決め動作と同様
で、ｂろ。即ち、最初にミラー（２）で反射さ：ｔ′Ｌ
１こレーザビーム（８）の光軸位１４全出射Ｂ１１１筒
体（９）の最初のビーム位１眉検出器（１１ａ）で電気
１４号として検出してコントローラ（Ｉ匂に送出し、次
に、この電気毎号全糸にコントローラ（埒がミラー（２
）の移動・回転量全快め、ミラー駆動器（５）に出力し
てミラー（２）全移動・回転させる。更に、次いで、出
射側筒体（９）の他のビーム位置検出器（１１ｂ）から
の電気信号？基に該動作を繰り返して、再びミラー（２
）？回転移動させ最終的にミラー（２）の位置を固定さ
せる。なお、コントロー２（農が上述の如くミラー（２
）の移動・回転’Ａｋ決める際には、可動筒体（１）の
位１ｉｆ＋’、 ｓ即ち入射ｆｌｌ！＋筒体（８）の一
対のビーム位置検出器（１０ａ）、（１０ｂ）からの信
号？考慮することは勿論であり、ミラー（２）の移動全
平行移動又は回転移動の何れか一方だけに限定した場合
には上述のビーム位置検出器（１０ａ）。
（ｉｏｂ）からの信号音用いること一８出射ｇ＋１１筒
体（９）の何れか一方の、ビーム位置検出器（１１ａ）
又は（１１ｂ）は不要となる。
体（９）の何れか一方の、ビーム位置検出器（１１ａ）
又は（１１ｂ）は不要となる。
更に、光軸Ｋｌ！整操作に用いたレーザビーム（８）自
体の処理動作について説明すると、先ず、出射側筒体（
０）全通過したレーザビーム（８）全処理用筒体（１８
）に入射し、ミラーα彎がこれ？反射して吸収板（ロ）
へ搬送し、そして、該吸収板（ロ）がそのレーザビーム
エネルギー金吸収１−る。！〜かして、こ７’Ｌにより
、安全性が確保できる。
体の処理動作について説明すると、先ず、出射側筒体（
０）全通過したレーザビーム（８）全処理用筒体（１８
）に入射し、ミラーα彎がこれ？反射して吸収板（ロ）
へ搬送し、そして、該吸収板（ロ）がそのレーザビーム
エネルギー金吸収１−る。！〜かして、こ７’Ｌにより
、安全性が確保できる。
以上の動作に１って、レーザピーＡ Ｃ３）ｋ 安−ｋ
Ｋ、〃・つ、所定位置に搬送出力できるように可動ｂ
カ体（１）及びミラー（２）の位置が定まり、可動筒体
（１）及びミラー（２）から成る光路変更器の光ｌ１１
］が調整さｔまたこととなる。そして、この調整後に、
上述の入射０１ｌＩ筒体（８）、出射側筒体（９）及び
処工１１１用筒体ＯＦ・）乏町動筒体（１）から取り外
し、レーザビーム（８）盆いつ’ｔ”％）レーザ加工等
に用い得る４ｋ ｊｉｌｔとなる。
Ｋ、〃・つ、所定位置に搬送出力できるように可動ｂ
カ体（１）及びミラー（２）の位置が定まり、可動筒体
（１）及びミラー（２）から成る光路変更器の光ｌ１１
］が調整さｔまたこととなる。そして、この調整後に、
上述の入射０１ｌＩ筒体（８）、出射側筒体（９）及び
処工１１１用筒体ＯＦ・）乏町動筒体（１）から取り外
し、レーザビーム（８）盆いつ’ｔ”％）レーザ加工等
に用い得る４ｋ ｊｉｌｔとなる。
なお、土紀夾施しリにおいては、ビーム位置検出器−（
ＩＬｌａ）Ｉ（ＩＯｂ）Ｉ（１１ａ）、（１１ｔ＋）
ｉ ４個のパワーメータで構成したものを示し罠が、該
個数に限られることはなく、ビームの光軸位置全確来に
把える為には少なくとも５個以上のパワーメータにより
（゛、１成さｎておれば良く、上記実施例と同ＦＦ、な
効果か期待さハる。また、上記実施例ｒ（おいてにパワ
ーメータを構成する板体（１６ｎ）〜（１６ｄ）の受光
面の拐質等については何等触れなかったか、該受光面は
熱吸収率が高い拐質で形成さハている力が良く、例えば
、その受光面に熱吸収率の良好なカーボン全付着したな
らば、ビームの吸収効阜も良くなり。
ＩＬｌａ）Ｉ（ＩＯｂ）Ｉ（１１ａ）、（１１ｔ＋）
ｉ ４個のパワーメータで構成したものを示し罠が、該
個数に限られることはなく、ビームの光軸位置全確来に
把える為には少なくとも５個以上のパワーメータにより
（゛、１成さｎておれば良く、上記実施例と同ＦＦ、な
効果か期待さハる。また、上記実施例ｒ（おいてにパワ
ーメータを構成する板体（１６ｎ）〜（１６ｄ）の受光
面の拐質等については何等触れなかったか、該受光面は
熱吸収率が高い拐質で形成さハている力が良く、例えば
、その受光面に熱吸収率の良好なカーボン全付着したな
らば、ビームの吸収効阜も良くなり。
熱電対（１７ａ）〜（１７ｄ）による電気信号への変換
効率も良くなってビームの光軸位１１°（ｉ−１じ明確
に把え寿るという効果がル］侍できる。
効率も良くなってビームの光軸位１１°（ｉ−１じ明確
に把え寿るという効果がル］侍できる。
以上のエフに１本発明の光＋１’ｌｌｌ ｉ！ＩＡＩ整
装置に工れば、可動筒体のレーザビーム入射ｌｌｌ１ｌ
及び出射１！１すにそれぞｉｔ入射１１１１筒体及び出
射Ｉｎ！Ｉ尚（＋全着脱自在に設けて該入射側筒体及び
出射側筒体の各内壁に、レー−ＩＪ’ ビーム径より小
さいｊ１過孔ｋ １１＋’ Ｌ 、かつ、該レーザビー
ムの一部全受けて光１１１＋ １．’ｔ、置を、険出す
乙ビーム位置演出器？該ビームの進杓°方向に沿ってそ
ｎ−ｔ’：ｎ一対固着すると共に、こＪｌら名ビーム位
置・検出器の検出値の入力に基いて前記光軸制御部拐駆
動器と節体駆動器に駆動制御１６１号を与えるコントロ
ーラ全備え、該コントローラはｔｉｌｌ記入射１１１！
Ｉ筒体の各ビーム位置検出器の検出値に基づき前記筒体
、駆動器に、駆動制御イぎ号全送山すると共に、前記入
射側筒体及び出射側筒体双方の各ビーム位置検出器の検
出値に基づき前記光軸制御部材駆動器に駆動制御信号全
送出″ｆ６構成としたので、従来装置に比べ光軸調整が
容易で、迅速かつ正確に行な得るという効果を有する。
装置に工れば、可動筒体のレーザビーム入射ｌｌｌ１ｌ
及び出射１！１すにそれぞｉｔ入射１１１１筒体及び出
射Ｉｎ！Ｉ尚（＋全着脱自在に設けて該入射側筒体及び
出射側筒体の各内壁に、レー−ＩＪ’ ビーム径より小
さいｊ１過孔ｋ １１＋’ Ｌ 、かつ、該レーザビー
ムの一部全受けて光１１１＋ １．’ｔ、置を、険出す
乙ビーム位置演出器？該ビームの進杓°方向に沿ってそ
ｎ−ｔ’：ｎ一対固着すると共に、こＪｌら名ビーム位
置・検出器の検出値の入力に基いて前記光軸制御部拐駆
動器と節体駆動器に駆動制御１６１号を与えるコントロ
ーラ全備え、該コントローラはｔｉｌｌ記入射１１１！
Ｉ筒体の各ビーム位置検出器の検出値に基づき前記筒体
、駆動器に、駆動制御イぎ号全送山すると共に、前記入
射側筒体及び出射側筒体双方の各ビーム位置検出器の検
出値に基づき前記光軸制御部材駆動器に駆動制御信号全
送出″ｆ６構成としたので、従来装置に比べ光軸調整が
容易で、迅速かつ正確に行な得るという効果を有する。
第１図は従来の光軸調整装置ｔ’！ｒ示す構成図、第２
図に本発明の一実施例による光軸調整装置？示す構成図
、第５図（Ａ） 、 （Ｂ）は本発明の光軸調整装置に
おけるビーム位置検出器の一実施例構成を示すと共にレ
ーザビームの照射牡況全示す正面図である。 （１） 、 （ａ）Ｉ （９）：筒体 （２）：光軸制御部材（ミラー） （３）：レーザビーム （４）：筒体駆動器（５）：
光軸制御部材駆動ｋ （ミラー駆動器）（１０ａ）、（
１０ｂ）、（１１ａ）、（１１ｂ） ：ビーム位置検出
器（旧：コントローラ （１６ａ）〜（１６ａ） ：
板体（１７ａ）〜（１７ｄ） ：熱電対 なお、図中、同一符号に同−又に和尚部分全示す。 代理人 葛 野 侶 − 第 ２ 図 第３図
図に本発明の一実施例による光軸調整装置？示す構成図
、第５図（Ａ） 、 （Ｂ）は本発明の光軸調整装置に
おけるビーム位置検出器の一実施例構成を示すと共にレ
ーザビームの照射牡況全示す正面図である。 （１） 、 （ａ）Ｉ （９）：筒体 （２）：光軸制御部材（ミラー） （３）：レーザビーム （４）：筒体駆動器（５）：
光軸制御部材駆動ｋ （ミラー駆動器）（１０ａ）、（
１０ｂ）、（１１ａ）、（１１ｂ） ：ビーム位置検出
器（旧：コントローラ （１６ａ）〜（１６ａ） ：
板体（１７ａ）〜（１７ｄ） ：熱電対 なお、図中、同一符号に同−又に和尚部分全示す。 代理人 葛 野 侶 − 第 ２ 図 第３図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１）ミラー又はレンズ等の九軸制０１１１部材と該光
軸制御部材全内蔵する可動筒体音それぞ−Ｊ１光軸制御
部材駆動器と筒体駆動器で駆動制御ｌｎ Ｌ ｋ前記可
動筒体へ入射さｎるレーザピー、ｋ ′Ｉａ：Ｊ’）（
定方向に搬送出力させる光軸調整装置において、前記可
動筒体のレーザビーム入射側及び出射側に（７ｎぞれ入
射側筒体及び田射側筒体七着脱自在に設けて該入射側節
体及び出射側筒体Ｏ各内■に、レーザビーム径裏り不妊
い通過孔を有し、かつ、該レーザビームの一部を受け−
〔そのビームの光軸位置を検出するビーム位置検出器を
該ビームの進行方向に沿ってそれぞｎ一対固着すると内
に、これら各ビーム位置検出器の検出値の入力に基いて
、前記光軸制御部材全内蔵と筒体駆動器に駆動制御信号
？与えるコントローラ全備え、該コントローラに前記入
射側筒体の各ビーム位置検出器の検出値に基づき前記筒
体駆動器に駆動制御信号を送出すると共に。 前記入射側筒体及び出射側筒体双方の各ビーム位置検出
器の検出値に基づき前記光軸制御部材全内蔵に駆動制御
信号を送出する構成としたこと全特徴とする光軸調整装
置。 （２）上記ビーム位置検出器は、上記筒体１１／ｉ面の
中心点から等距離の円周線上に分割配設されて上記
□レーザビームの通過孔全形成する少なくとも５つ
以上の一パワーメータで成り、照射され１ζレーザビー
ム金吸収し七の吸収熱に応じｙｃ各パワーメータの検出
値に基づいて該レーザビームの光軸位置全検出すること
゛ｒ特徴とするｌ持許藺求の範囲第１項記載の光軸調整
装置。 （８）上記、パワーメータに、上記レーザビームの受光
吸収面をζ−カーボンが付着されていて該レーザビーム
の熱を吸収すると共に、その吸収熱エネルギー’に熱電
対により電気信号に変換させる構成とし几こと全特徴と
する特許請求の範囲第２項記載の光軸調整装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13536582A JPS5924809A (ja) | 1982-08-03 | 1982-08-03 | 光軸調整装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13536582A JPS5924809A (ja) | 1982-08-03 | 1982-08-03 | 光軸調整装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5924809A true JPS5924809A (ja) | 1984-02-08 |
| JPH0376441B2 JPH0376441B2 (ja) | 1991-12-05 |
Family
ID=15150022
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13536582A Granted JPS5924809A (ja) | 1982-08-03 | 1982-08-03 | 光軸調整装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5924809A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6285837A (ja) * | 1985-10-12 | 1987-04-20 | Fuji Photo Optical Co Ltd | レ−ザ測定器におけるピンホ−ル調整装置 |
| JPH01291760A (ja) * | 1988-05-20 | 1989-11-24 | Shinkawaya:Kk | 長麺茹で容器 |
-
1982
- 1982-08-03 JP JP13536582A patent/JPS5924809A/ja active Granted
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6285837A (ja) * | 1985-10-12 | 1987-04-20 | Fuji Photo Optical Co Ltd | レ−ザ測定器におけるピンホ−ル調整装置 |
| JPH01291760A (ja) * | 1988-05-20 | 1989-11-24 | Shinkawaya:Kk | 長麺茹で容器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0376441B2 (ja) | 1991-12-05 |
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