JPH0377617A - 気体生成装置 - Google Patents
気体生成装置Info
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- JPH0377617A JPH0377617A JP1213159A JP21315989A JPH0377617A JP H0377617 A JPH0377617 A JP H0377617A JP 1213159 A JP1213159 A JP 1213159A JP 21315989 A JP21315989 A JP 21315989A JP H0377617 A JPH0377617 A JP H0377617A
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Landscapes
- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
- Oxygen, Ozone, And Oxides In General (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は気体生成装置に係り、特にPSA式%式%
に係り、特に気体濃度変更時に吸着剤の脱@粘度を高め
吸着剤の再生を確実に行なうよう構成した気体生成装置
に関する。
吸着剤の再生を確実に行なうよう構成した気体生成装置
に関する。
従来の技術
一般に、PSA式気体分離装璽は、分子ふるいカーボン
からなる吸着剤を用いて、低1本濃度ガス等の体濃度の
ガスを取出そうとするものである。
からなる吸着剤を用いて、低1本濃度ガス等の体濃度の
ガスを取出そうとするものである。
PSA式は、@着Mを充填した吸着槽に圧縮空気を導入
して酸素を吸着剤に吸着する吸着]L程と、該吸着槽内
を大気開放し又は真空ポンプで減圧して吸着した酸素を
wetsするI21!工程とを繰返し、脱着工程では吸
着槽内の吸着剤に酸素分子を吸着させ、一方、脱着工程
では吸着された酸素を脱着し、次の工程に備えるように
なっている。
して酸素を吸着剤に吸着する吸着]L程と、該吸着槽内
を大気開放し又は真空ポンプで減圧して吸着した酸素を
wetsするI21!工程とを繰返し、脱着工程では吸
着槽内の吸着剤に酸素分子を吸着させ、一方、脱着工程
では吸着された酸素を脱着し、次の工程に備えるように
なっている。
また、このような装置で酸素濃度を変更するためには吸
着工程及び脱着工程の時間を変えたり、圧縮空気の圧力
を変える方法が考えられる。
着工程及び脱着工程の時間を変えたり、圧縮空気の圧力
を変える方法が考えられる。
発明が解決しようとする課題
しかるに、従来のPSA式の気体生成装置で濃度をある
一定濃度からより低い濃度に変更しようとする場合、吸
脱着のサイクルvt間等のPSA条件の変更だけでは吸
着剤の気体の1211の条件が変更した状態に達するま
でに時間がかかるため設定した濃度に達するまでに長い
19間がかかってしまう等の問題点があった。
一定濃度からより低い濃度に変更しようとする場合、吸
脱着のサイクルvt間等のPSA条件の変更だけでは吸
着剤の気体の1211の条件が変更した状態に達するま
でに時間がかかるため設定した濃度に達するまでに長い
19間がかかってしまう等の問題点があった。
本発明は上記の点に鑑みてなされたもので、濃度の変更
時により短時間で設定した濃度を得ることができる気体
生成装置を提供することを目的とする。
時により短時間で設定した濃度を得ることができる気体
生成装置を提供することを目的とする。
課題を解決するための手段
本発明は内部に一の気体を@着する吸着剤が充填された
吸着槽に一の気体を含む混合気体を供給し、一の気体を
吸着剤に@着する吸着工程と、前記吸着剤に吸着した前
記一の気体を前記吸着剤よりl12Wする脱着工程とを
くり返えすことにより前記吸着槽から前記一の気体の濃
度が前記吸着[[程を行なう前の前記混合気体中に占め
る前記一の基体の濃度とは異なる濃度の混合基体を得る
気体生成装置において、前記吸着槽から得た気体の一部
を前記吸着槽に還流するlI!流丁段を設け、前記一の
気体の濃度を所定の濃度から他の濃度に変更する際、前
記脱着工程時にだけ前記還流手段により前記吸@槽より
得た気体を前記吸着槽に還流する。
吸着槽に一の気体を含む混合気体を供給し、一の気体を
吸着剤に@着する吸着工程と、前記吸着剤に吸着した前
記一の気体を前記吸着剤よりl12Wする脱着工程とを
くり返えすことにより前記吸着槽から前記一の気体の濃
度が前記吸着[[程を行なう前の前記混合気体中に占め
る前記一の基体の濃度とは異なる濃度の混合基体を得る
気体生成装置において、前記吸着槽から得た気体の一部
を前記吸着槽に還流するlI!流丁段を設け、前記一の
気体の濃度を所定の濃度から他の濃度に変更する際、前
記脱着工程時にだけ前記還流手段により前記吸@槽より
得た気体を前記吸着槽に還流する。
■用
混合気体中に占める〜の気体の濃度を所定の濃度から他
の濃度とする際、吸着槽より得た気体を吸着槽に還流す
ることにより吸着剤からの一の気体の脱着がより効率よ
く行なわれる。
の濃度とする際、吸着槽より得た気体を吸着槽に還流す
ることにより吸着剤からの一の気体の脱着がより効率よ
く行なわれる。
実施例
第1図に本発明になる気体生成装置の一実施例を示す。
同図中、2.3は第1.第2の吸着槽で、各吸着槽2,
3内にはそれぞれ分子ふるいカーボン2A、3Aが充填
されている。
3内にはそれぞれ分子ふるいカーボン2A、3Aが充填
されている。
1は圧縮空気供給源となるコンプレッサで、コンプレッ
サ1からの圧縮空気は空気吐出配管4及び配管7.8を
介して吸着槽2.3にそれぞれ突耳に供給されるように
なっており、このため該配管7,8の途中にはそれぞれ
電磁弁からなる空気供給用弁5,6が設けられている。
サ1からの圧縮空気は空気吐出配管4及び配管7.8を
介して吸着槽2.3にそれぞれ突耳に供給されるように
なっており、このため該配管7,8の途中にはそれぞれ
電磁弁からなる空気供給用弁5,6が設けられている。
10.11は12着時に吸着槽2.3からの気体は配管
7.8より、共通排出配管25に接続されており、前記
配管io、1iの途中にはそれぞれ吸着槽2.3内のE
!?排ガスを半サイクル毎に交互に排出する電磁弁から
なる気体排出用弁9゜10が設けられている。
7.8より、共通排出配管25に接続されており、前記
配管io、1iの途中にはそれぞれ吸着槽2.3内のE
!?排ガスを半サイクル毎に交互に排出する電磁弁から
なる気体排出用弁9゜10が設けられている。
13.14は吸着槽2.3の出口信に接続され吸着槽2
.3内で生成された低濃度酸素をそれぞれ取出す取出配
管、17は各配管13.14と連結した取出配管で、配
管13.14の途中には半サイクルの悶だけ後°述のl
1llの下に交互に開弁する電磁弁からなる取出用弁1
5,16がそれぞれ設けられている。また前記取出配管
17はバッファタンク19に接続されている。
.3内で生成された低濃度酸素をそれぞれ取出す取出配
管、17は各配管13.14と連結した取出配管で、配
管13.14の途中には半サイクルの悶だけ後°述のl
1llの下に交互に開弁する電磁弁からなる取出用弁1
5,16がそれぞれ設けられている。また前記取出配管
17はバッファタンク19に接続されている。
また、取出用弁15.16は吸着fI2.3による半サ
イクルの終了時に所定の短時間だけ同時に開弁し、各吸
着槽2,3間を均圧にする。
イクルの終了時に所定の短時間だけ同時に開弁し、各吸
着槽2,3間を均圧にする。
24はバッフ7タンク19に接続された取出配管で、そ
の途中には電磁弁からなる取出用弁20が設けられてい
る。
の途中には電磁弁からなる取出用弁20が設けられてい
る。
26はm素センリで、バッファタンク19に貯溜された
気体の酸sm度(組成値)を検出する。
気体の酸sm度(組成値)を検出する。
又、酸素センサ26からの酸素濃度検出信号は後述する
酸素濃度計27を介して111111回路28に入力さ
れる。
酸素濃度計27を介して111111回路28に入力さ
れる。
なお、酸素センサ26としては酸素分子の常磁性を利用
した磁気式酸素センサ、酸素が透過膜を介して電界液に
入ると電極で鹸化還元反応が起きg&流が流れるのを利
用したガルバニ電池式#!2糸センサ、ジルコニア磁器
の内外面に電極を設け、酸素濃度によって起電力が発生
するのを利用したジルコニア式酸素センサ等が用いられ
る。
した磁気式酸素センサ、酸素が透過膜を介して電界液に
入ると電極で鹸化還元反応が起きg&流が流れるのを利
用したガルバニ電池式#!2糸センサ、ジルコニア磁器
の内外面に電極を設け、酸素濃度によって起電力が発生
するのを利用したジルコニア式酸素センサ等が用いられ
る。
29は取出配管24から取出される[濃度を設定する濃
度設定スイッチで、バッフ7タンク19から取出すべぎ
酸素ガス濃度に応じて適宜に設定されるものである。
度設定スイッチで、バッフ7タンク19から取出すべぎ
酸素ガス濃度に応じて適宜に設定されるものである。
23は還流用配管で、上記取出配管13.14に逆止弁
11.12を介して接続されている。
11.12を介して接続されている。
還流用配管23には絞り弁21と還流用弁22とが配設
されている。還流用弁22は後述するように11度の換
時に開弁され、バッファタンク19内のガス(低濃度酸
素ガス)を吸着槽2.3へ還流させる。又、絞り弁21
はガスが圧縮されているので、還流されるガスの流量を
調整している。
されている。還流用弁22は後述するように11度の換
時に開弁され、バッファタンク19内のガス(低濃度酸
素ガス)を吸着槽2.3へ還流させる。又、絞り弁21
はガスが圧縮されているので、還流されるガスの流量を
調整している。
また、制tll101路28は例えば?イクロコンビ1
−夕等によって構成される弁ti制御手段で、入力側に
は酸素+1度計27.濃度設定スイッチ29が接続され
ている。
−夕等によって構成される弁ti制御手段で、入力側に
は酸素+1度計27.濃度設定スイッチ29が接続され
ている。
IJtl11回路28は予め人力されたプログラムに従
い、空気供給用弁5.6.気体掴出用弁9.10゜取出
用弁15.16.18.還流用弁22を開閉制御する。
い、空気供給用弁5.6.気体掴出用弁9.10゜取出
用弁15.16.18.還流用弁22を開閉制御する。
尚、上記f、lJt[1回路28により開閉制御される
各電磁弁は、開弁信号の供給により励磁されたとき開弁
じ、励磁されないときにはバネ力で閉弁するようになっ
ている。
各電磁弁は、開弁信号の供給により励磁されたとき開弁
じ、励磁されないときにはバネ力で閉弁するようになっ
ている。
次に装置の動nについて説明する。まず、酸素!111
設定スイッチ29で酸素濃度を5%とするように設定し
て装置の運転を開始すると、tilllo回路28は以
下に述べるステップで低濃度酸素ガスを得る。
設定スイッチ29で酸素濃度を5%とするように設定し
て装置の運転を開始すると、tilllo回路28は以
下に述べるステップで低濃度酸素ガスを得る。
空気供給弁6.排気弁9.取出用弁16.共通取出用弁
18を開弁、他の弁を閉弁する。したがって、コンプレ
ッサ1からの圧縮空気は空気吐出配管4.空気供給用弁
6.空気供給配管8を通って吸着槽3に供給される。吸
着槽3では分子ふるいカーボン3Aが圧縮空気中よりI
I素を吸着する。
18を開弁、他の弁を閉弁する。したがって、コンプレ
ッサ1からの圧縮空気は空気吐出配管4.空気供給用弁
6.空気供給配管8を通って吸着槽3に供給される。吸
着槽3では分子ふるいカーボン3Aが圧縮空気中よりI
I素を吸着する。
したがって、吸着槽3からは低S累濃度のガスが摺出さ
れ、この低酸素濃度のガスは取出用配管14、取出用弁
16.共通取出用配管17.共通取出弁18を通ってバ
ッフ7タンク19に供給される。低酸素濃度ガスはバッ
フ7タンク19で経過時間によらず略均−な濃度とされ
、バッフタンク19より取出用絞り弁20.最終取出用
配管24を通って製品ガスとして取り出される。
れ、この低酸素濃度のガスは取出用配管14、取出用弁
16.共通取出用配管17.共通取出弁18を通ってバ
ッフ7タンク19に供給される。低酸素濃度ガスはバッ
フ7タンク19で経過時間によらず略均−な濃度とされ
、バッフタンク19より取出用絞り弁20.最終取出用
配管24を通って製品ガスとして取り出される。
一方、このとき、吸着槽2は再生中で排気用弁9が開、
空気供給弁5及び取出用弁15が閏であるため、その内
部の分子ふるいカーボン2Aは大気圧にさらされ、吸着
していた酸素を吐き出す。
空気供給弁5及び取出用弁15が閏であるため、その内
部の分子ふるいカーボン2Aは大気圧にさらされ、吸着
していた酸素を吐き出す。
吐き出された酸素は排気用弁9.排気用配管を通って外
部に排気される。
部に排気される。
次に取出用弁15.16を開弁とし、空気供給用弁6.
祷気用弁9.共通取出用弁18を閉弁とし、吸着槽2と
3との圧力を均一にして@着槽3のガスの一部を吸着槽
2に回収し収率を上げる。
祷気用弁9.共通取出用弁18を閉弁とし、吸着槽2と
3との圧力を均一にして@着槽3のガスの一部を吸着槽
2に回収し収率を上げる。
次に空気供給用弁5.排気用弁10.取出用弁15、共
通取出用弁18を開弁し、他の弁を閉弁する。圧縮空気
は空気供給用弁5.空気供給配管7を通り、吸着槽2に
供給される。吸着槽2では分子ふるいカーボン2Aに酸
素が吸着され、低酸素濃度ガスが取り出される。低酸素
濃度ガスは吸着槽2より取出用配管13.取出用弁15
.共通取出用配管17を通すバッフ?タンク19に貯溜
される。
通取出用弁18を開弁し、他の弁を閉弁する。圧縮空気
は空気供給用弁5.空気供給配管7を通り、吸着槽2に
供給される。吸着槽2では分子ふるいカーボン2Aに酸
素が吸着され、低酸素濃度ガスが取り出される。低酸素
濃度ガスは吸着槽2より取出用配管13.取出用弁15
.共通取出用配管17を通すバッフ?タンク19に貯溜
される。
また、一方、吸着槽3は排気用弁1oが開弁されている
ため、大気圧となり、分子ふるいカーボン3Aに吸着さ
れていた′V素が脱着され、排気用弁10.排気用配管
25を通って外部に排気される。
ため、大気圧となり、分子ふるいカーボン3Aに吸着さ
れていた′V素が脱着され、排気用弁10.排気用配管
25を通って外部に排気される。
次に取出用弁15.16の両方を開弁し、他の弁を閉じ
、吸着槽2と吸着槽3とを取出用配管13.14を介し
て接続する。したがって、吸着槽2と@着槽3とが均圧
な状態となり、@@ltl 2から吸着槽3にガスが回
収され、吸着槽3の収率を向上させている。
、吸着槽2と吸着槽3とを取出用配管13.14を介し
て接続する。したがって、吸着槽2と@着槽3とが均圧
な状態となり、@@ltl 2から吸着槽3にガスが回
収され、吸着槽3の収率を向上させている。
以上の4ステツプを1サイクルとして繰り返すことによ
り低酸素濃度ガスをIIR的に取り出すことができる。
り低酸素濃度ガスをIIR的に取り出すことができる。
なお、lX濃度はサイクル時間により制御されていて、
IIl蟲濃度5%の低酸素濃度ガスを得るときにはサイ
クル時間を600 (3)とし、!本濃度1%の低1県
濃度ガスを得るときにはサイクル時間を180(S)と
する。これは、時はが長くなるほど分子ふるいカーボン
2A、3Aがちつ素を吸着するため、サイクル時間が長
いほど相対的にIll素arfIは高くなるためである
。
IIl蟲濃度5%の低酸素濃度ガスを得るときにはサイ
クル時間を600 (3)とし、!本濃度1%の低1県
濃度ガスを得るときにはサイクル時間を180(S)と
する。これは、時はが長くなるほど分子ふるいカーボン
2A、3Aがちつ素を吸着するため、サイクル時間が長
いほど相対的にIll素arfIは高くなるためである
。
ここで、酸素濃度5%運転時から酸素濃度1%で運転し
ようとする場合には、まず、濃度設定スイッチ29をI
ll索濃度1%側に設定する。tsm回路28は濃度設
定スイッチ29の切替動作に応じてサイクルl?周を6
00 (S )から180 (S )とすると共に還流
用弁22を開弁する。
ようとする場合には、まず、濃度設定スイッチ29をI
ll索濃度1%側に設定する。tsm回路28は濃度設
定スイッチ29の切替動作に応じてサイクルl?周を6
00 (S )から180 (S )とすると共に還流
用弁22を開弁する。
還流用弁22が開弁するとバッフ戸タンク19内の低酸
素濃度ガスは逆止弁11又は12を介して@看槽2又は
3に供給される。低酸X1度ガスの還流圧は絞り弁21
により調整され、コンプレッサ1からの圧縮空気圧より
小さく大気圧より大きい鎗とされている。このため、低
酸素濃度ガスは逆止弁11.12の働きにより還流圧よ
り低い気圧となる再生中の吸着槽2又は3のどちらかに
還流される。
素濃度ガスは逆止弁11又は12を介して@看槽2又は
3に供給される。低酸X1度ガスの還流圧は絞り弁21
により調整され、コンプレッサ1からの圧縮空気圧より
小さく大気圧より大きい鎗とされている。このため、低
酸素濃度ガスは逆止弁11.12の働きにより還流圧よ
り低い気圧となる再生中の吸着槽2又は3のどちらかに
還流される。
低11i11度ガスが還流された吸着槽2又は3では低
酸X1度ガスにより分子ふるいカーボン2A又は3Aに
吸着されていた酸素の脱着が効率よく行なわれる。還流
用弁22は酸素セン+J26及び酸素濃度計27により
計測された酸素濃度が1%になると制御回路28により
閉じられ1通常の運転が行なわれる。したがって、再生
時間が短くなっても十分な酸素の脱着を行なうことがで
き、設定されたlXl1度である1%に到達するまでの
時間が第2図1.ffに示すように本実施例の装置でパ
ージを行なわないものの35分に比し、10分と短い時
間で済む。本実施例では酸素濃度5%から1%にする場
合について説明したが、これに限ることなく要は所定の
濃度から他の濃度とする場合であればよく、例えば濃度
1%から5%など、低いS度から高い11度へ変更する
場合も考えられる。
酸X1度ガスにより分子ふるいカーボン2A又は3Aに
吸着されていた酸素の脱着が効率よく行なわれる。還流
用弁22は酸素セン+J26及び酸素濃度計27により
計測された酸素濃度が1%になると制御回路28により
閉じられ1通常の運転が行なわれる。したがって、再生
時間が短くなっても十分な酸素の脱着を行なうことがで
き、設定されたlXl1度である1%に到達するまでの
時間が第2図1.ffに示すように本実施例の装置でパ
ージを行なわないものの35分に比し、10分と短い時
間で済む。本実施例では酸素濃度5%から1%にする場
合について説明したが、これに限ることなく要は所定の
濃度から他の濃度とする場合であればよく、例えば濃度
1%から5%など、低いS度から高い11度へ変更する
場合も考えられる。
なお、本実施例では酸素濃度のυ制御をサイクルvt間
の制御により行ったが、これに限ることはなく、例えば
、圧縮空気の圧力を変更することによっても制御は可能
である。また、還流時間の設定も酸素センサ26及び酸
素濃度計27により酸素濃度を目測して、その目測結果
に応じて行っているが、予め設定しておいた時間だけ還
流を行なう構成としてもよい。さらに、本実施例では一
の気体を酸素としたが、これに限ることはなく他の気体
とすることも可能である。
の制御により行ったが、これに限ることはなく、例えば
、圧縮空気の圧力を変更することによっても制御は可能
である。また、還流時間の設定も酸素センサ26及び酸
素濃度計27により酸素濃度を目測して、その目測結果
に応じて行っているが、予め設定しておいた時間だけ還
流を行なう構成としてもよい。さらに、本実施例では一
の気体を酸素としたが、これに限ることはなく他の気体
とすることも可能である。
発明の効果
上述の如く、本発明によれば、吸着剤を用いて気体の濃
厚を変える装置で、現在得ている濃度から他のa度とす
る際に吸着剤から気体を11@する工程時に吸着槽より
得た気体を@看槽に還流することにより吸着剤の脱着を
より効率的に行なうことができるため、現る・得ている
濃度から他の濃度に素早く移行させることができる等の
特長を有する。
厚を変える装置で、現在得ている濃度から他のa度とす
る際に吸着剤から気体を11@する工程時に吸着槽より
得た気体を@看槽に還流することにより吸着剤の脱着を
より効率的に行なうことができるため、現る・得ている
濃度から他の濃度に素早く移行させることができる等の
特長を有する。
第1@lは本発明の一実施例の概略構成図、第2図は従
来及び、本発明の・一実施例の応答特性図である。 1・・・コンプレッサ、2.3・・・吸着槽、2A。 3A−・・分子ふるいカーボン、11.12・・・逆止
弁、15.16・・・取出用弁、21・・・還流用絞り
弁、22・・・環流用弁、26・・・酸素センサ、27
・・・酸素濃度計、28・・・w419@路、29・・
・酸素濃度設定スイッチ。 第1図
来及び、本発明の・一実施例の応答特性図である。 1・・・コンプレッサ、2.3・・・吸着槽、2A。 3A−・・分子ふるいカーボン、11.12・・・逆止
弁、15.16・・・取出用弁、21・・・還流用絞り
弁、22・・・環流用弁、26・・・酸素センサ、27
・・・酸素濃度計、28・・・w419@路、29・・
・酸素濃度設定スイッチ。 第1図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 内部に一の気体を吸着する吸着剤が充填された吸着槽
に該一の気体を含む混合気体を供給し、該一の気体を該
吸着剤に吸着する吸着工程と、前記吸着剤に吸着した前
記一の気体を前記吸着剤より脱着する脱着工程とをくり
返えすことにより前記吸着槽から前記一の気体の濃度が
前記吸着工程を行なう前の前記混合気体中に占める前記
一の気体の濃度と異なる一定の濃度の混合気体を得る気
体生成装置において、 前記吸着槽より得た気体を前記吸着槽に還流する還流手
段を設け、前記一の気体の濃度を所定の濃度から他の濃
度に変更する際、前記脱着工程時に前記還流手段により
前記吸着槽より得た気体の一部を前記吸着槽に還流する
ことを特徴とする気体生成装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1213159A JPH0691927B2 (ja) | 1989-08-18 | 1989-08-18 | 気体生成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1213159A JPH0691927B2 (ja) | 1989-08-18 | 1989-08-18 | 気体生成装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0377617A true JPH0377617A (ja) | 1991-04-03 |
| JPH0691927B2 JPH0691927B2 (ja) | 1994-11-16 |
Family
ID=16634545
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1213159A Expired - Fee Related JPH0691927B2 (ja) | 1989-08-18 | 1989-08-18 | 気体生成装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0691927B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1995003873A1 (en) * | 1993-07-27 | 1995-02-09 | Sumitomo Seika Chemicals Co., Ltd. | Method and apparatus for separating nitrogen-rich gas |
| US6314161B1 (en) | 1999-08-10 | 2001-11-06 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Rotary anode type x-ray tube and x-ray tube apparatus provided with x-ray tube |
| JP2021107058A (ja) * | 2019-12-27 | 2021-07-29 | 株式会社クラレ | 窒素ガス分離方法および窒素ガス分離装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58189022A (ja) * | 1982-04-19 | 1983-11-04 | カルゴン・カ−ボン・コ−ポレ−シヨン | 圧力揺動吸着システム |
-
1989
- 1989-08-18 JP JP1213159A patent/JPH0691927B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS58189022A (ja) * | 1982-04-19 | 1983-11-04 | カルゴン・カ−ボン・コ−ポレ−シヨン | 圧力揺動吸着システム |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1995003873A1 (en) * | 1993-07-27 | 1995-02-09 | Sumitomo Seika Chemicals Co., Ltd. | Method and apparatus for separating nitrogen-rich gas |
| US5505765A (en) * | 1993-07-27 | 1996-04-09 | Sumitomo Seika Chemicals Co., Ltd. | Method and apparatus for separating nitrogen-enriched gas |
| US6314161B1 (en) | 1999-08-10 | 2001-11-06 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Rotary anode type x-ray tube and x-ray tube apparatus provided with x-ray tube |
| JP2021107058A (ja) * | 2019-12-27 | 2021-07-29 | 株式会社クラレ | 窒素ガス分離方法および窒素ガス分離装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0691927B2 (ja) | 1994-11-16 |
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Legal Events
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