JPH0378036B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0378036B2 JPH0378036B2 JP58247943A JP24794383A JPH0378036B2 JP H0378036 B2 JPH0378036 B2 JP H0378036B2 JP 58247943 A JP58247943 A JP 58247943A JP 24794383 A JP24794383 A JP 24794383A JP H0378036 B2 JPH0378036 B2 JP H0378036B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- frame memory
- intensity data
- intensity
- epma
- display device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
- G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
- G01N23/04—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material and forming images of the material
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Closed-Circuit Television Systems (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
(イ) 産業上の利用分野
本発明はEPMA（Electron Probe Micro
Analyzer）などの分析機器における等高線表示
装置に関する。
Analyzer）などの分析機器における等高線表示
装置に関する。
(ロ) 従来技術
一般に、分析機器たとえばEPMAにおいては、
試料に含まれる元素の二次分布を調査する場合に
は、その観察を容易にするため、Ｘ線強度の同じ
ところを連続的に結んだいわゆる等高線表示が行
なわれることがある。等高線表示を行なう従来の
装置ａは、第１図に示すように、制御演算部ｂ、
外部記憶装置ｃおよびCRTなどの表示器ｄを備
える。そして、EPMAの電子ビームあるいは試
料ステージをXY2方向に２次元走査させながら
Ｘ線強度を測定し、各点で測定された強度ならび
にその位置Ｘ・Ｙのデータを遂次制御演算部ｂを
介して外部記憶装置ｂの所定のアドレス位置に記
憶する。測定が終了した時点で、外部記憶装置ｃ
から強度データを順次読み出し、制御演算部ｂで
読み出した強度データと予じめ定められた値との
レベル比較および計算を行なつた後、一定強度レ
ベルの強度データをTV走査速度で表示器ｄに出
力し、これにより等高線を表示するようにしてい
る。
試料に含まれる元素の二次分布を調査する場合に
は、その観察を容易にするため、Ｘ線強度の同じ
ところを連続的に結んだいわゆる等高線表示が行
なわれることがある。等高線表示を行なう従来の
装置ａは、第１図に示すように、制御演算部ｂ、
外部記憶装置ｃおよびCRTなどの表示器ｄを備
える。そして、EPMAの電子ビームあるいは試
料ステージをXY2方向に２次元走査させながら
Ｘ線強度を測定し、各点で測定された強度ならび
にその位置Ｘ・Ｙのデータを遂次制御演算部ｂを
介して外部記憶装置ｂの所定のアドレス位置に記
憶する。測定が終了した時点で、外部記憶装置ｃ
から強度データを順次読み出し、制御演算部ｂで
読み出した強度データと予じめ定められた値との
レベル比較および計算を行なつた後、一定強度レ
ベルの強度データをTV走査速度で表示器ｄに出
力し、これにより等高線を表示するようにしてい
る。
ところで。このような従来の装置ａでは、制御
演算部ｂは外部記憶装置ｃから１画素ごとに強度
データを読み出して演算処理する必要があるの
で、表示器ｄの画素数が多くなるほど画面構成に
要するアクセス時間が長くかかる。また、TV走
査速度で演算処理せねばならないので制御演算部
ｂは高速応答性に優れた回路を用いる必要が生
じ、高価になるなどの問題がある。
演算部ｂは外部記憶装置ｃから１画素ごとに強度
データを読み出して演算処理する必要があるの
で、表示器ｄの画素数が多くなるほど画面構成に
要するアクセス時間が長くかかる。また、TV走
査速度で演算処理せねばならないので制御演算部
ｂは高速応答性に優れた回路を用いる必要が生
じ、高価になるなどの問題がある。
(ハ) 目的
本発明は従来の問題点を解消し、等高線表示の
演算時間が短かく、かつ、比較的安価な等高線表
示装置を得ることを目的とする。
演算時間が短かく、かつ、比較的安価な等高線表
示装置を得ることを目的とする。
(ニ) 構成
本発明はこのような目的を達成するため、
EPMAなどの分析機器で測定された強度データ
がこれらの強度レベルに応じて記憶される複数の
フレームメモリと、これらのフレームメモリで記
憶された前記強度データを画像表示する表示器と
備えるとともに、前記フレームメモリと表示器と
の間にフレームメモリからの前記強度データの読
み出しを選択するフレームメモリ読出選択回路が
設けられて等高線表示装置を構成している。
EPMAなどの分析機器で測定された強度データ
がこれらの強度レベルに応じて記憶される複数の
フレームメモリと、これらのフレームメモリで記
憶された前記強度データを画像表示する表示器と
備えるとともに、前記フレームメモリと表示器と
の間にフレームメモリからの前記強度データの読
み出しを選択するフレームメモリ読出選択回路が
設けられて等高線表示装置を構成している。
(ホ) 実施例
以下、本発明を実施例について、第２図および
第３図に基づいて詳細に説明する。
第３図に基づいて詳細に説明する。
なお、この実施例では分析機器としてEPMA
に適用した場合について説明する。
に適用した場合について説明する。
第２図はEPMAとこのEPMAに設けられた等
高線表示装置の構成図である。同図において、１
はEPMA、２は等高線表示装置である。４は
EPMA１で測定されたＸ線強度（計数値）およ
びそのＸ線強度を示す走査位置Ｘ・Ｙの各測定デ
ータの書き込み、読み出しを制御するとともに各
種の演算処理を行なう制御演算部である。６ａ〜
６ｎは制御演算部４から出力される強度データ
が、これらの強度レベルに応じてｎビツト（ｎは
２以上の整数）に区分けして記憶されるフレーム
メモリで、各ビツトのフレームメモリ６ａ〜６ｎ
は後述の表示器８の画素に対応した記憶エリアを
有している。８は各フレームメモリ６ａ〜６ｎに
記憶された強度データを画像表示するCRTの表
示器である。１０は各フレームメモリ６ａ〜６ｎ
からの強度データの読み出しを選択するフレーム
メモリ読出選択回路で、前記フレームメモリ６ａ
〜６ｎと表示器８との間に設けられており、同回
路１０によつて等高線の間隔が設定される。この
フレームメモリ読出選択回路１０は本例では第３
図に示すように、各フレームメモリ６ａ〜６ｎに
対応して個別的に設けられた比較器１２ａ〜１２
ｎと、１つのＲ回路１４、各比較器１２ａ〜１
２ｎと基準電源との接続を選択的に切換える切換
回路１６を備えて構成されている。なお、１８ａ
〜１８ｎはフレームメモリ６ａ〜６ｎから読み出
された強度データの入力端子、２０は切換回路１
６を切換動作させる制御演算部４からの制御信号
の入力端子、２２ａ〜２２ｎは各比較器１２ａ〜
１２ｎに与えられる基準電源の入力端子、２４は
表示器８への出力端子である。
高線表示装置の構成図である。同図において、１
はEPMA、２は等高線表示装置である。４は
EPMA１で測定されたＸ線強度（計数値）およ
びそのＸ線強度を示す走査位置Ｘ・Ｙの各測定デ
ータの書き込み、読み出しを制御するとともに各
種の演算処理を行なう制御演算部である。６ａ〜
６ｎは制御演算部４から出力される強度データ
が、これらの強度レベルに応じてｎビツト（ｎは
２以上の整数）に区分けして記憶されるフレーム
メモリで、各ビツトのフレームメモリ６ａ〜６ｎ
は後述の表示器８の画素に対応した記憶エリアを
有している。８は各フレームメモリ６ａ〜６ｎに
記憶された強度データを画像表示するCRTの表
示器である。１０は各フレームメモリ６ａ〜６ｎ
からの強度データの読み出しを選択するフレーム
メモリ読出選択回路で、前記フレームメモリ６ａ
〜６ｎと表示器８との間に設けられており、同回
路１０によつて等高線の間隔が設定される。この
フレームメモリ読出選択回路１０は本例では第３
図に示すように、各フレームメモリ６ａ〜６ｎに
対応して個別的に設けられた比較器１２ａ〜１２
ｎと、１つのＲ回路１４、各比較器１２ａ〜１
２ｎと基準電源との接続を選択的に切換える切換
回路１６を備えて構成されている。なお、１８ａ
〜１８ｎはフレームメモリ６ａ〜６ｎから読み出
された強度データの入力端子、２０は切換回路１
６を切換動作させる制御演算部４からの制御信号
の入力端子、２２ａ〜２２ｎは各比較器１２ａ〜
１２ｎに与えられる基準電源の入力端子、２４は
表示器８への出力端子である。
次に上記構成を有する等高線表示装置２により
EPMAのＸ線の強度データを等高線表示する場
合の各部の動作について説明する。
EPMAのＸ線の強度データを等高線表示する場
合の各部の動作について説明する。
EPMA１はその試料ステージあるいは電子ビ
ームをＸ・Ｙ方向に二次元走査しながら試料表面
上の各点におけるＸ線強度を測定する。このＸ線
の強度データならびにその走査位置のデータは遂
次制御演算部４に取り込まれる。制御演算部４は
EPMA１からのＸ線強度の値に基づきこの強度
レベルに対応する１つのフレームメモリ６ａ〜６
ｎを指定し、かつ、指定されたフレームメモリ６
ａ〜６ｎについて走査位置Ｘ・Ｙのデータに基づ
いて所定のアドレスを指定して、その指定したア
ドレス位置にＸ線強度の値を記憶させていく。従
つて、Ｘ線の強度データはその強度レベルに対応
するフレームメモリ６ａ〜６ｎであつて、そのフ
レームメモリ６ａ〜６ｎの試料位置に対応したア
ドレスに記憶されることになる。続いて、各フレ
ームメモリ６ａ〜６ｎに記憶された強度データを
読み出すときには、制御演算部４は予じめ表示に
際しての等高線間隔を設定するため、フレームメ
モリ読出選択回路１０の切換回路１６にフレーム
メモリ選択制御信号を出力する。これにより、所
定の比較器１２ａ〜１２ｎに基準電源が加わるの
で、該比較器１２ａ〜１２ｎのみ読み出された強
度データの通過が可能となる。一方、各フレーム
メモリ６ａ〜６ｎ内の強度データは制御演算部４
により表示器８のTV走査信号に同期してｎビツ
トでパラレルに読み出される。ところが、すでに
フレームメモリ読出選択回路１０で強度データを
読み出すべきフレームメモリ６ａ〜６ｎが選択さ
れているので、選択されたフレームメモリ６ａ〜
６ｎの強度データのみがＲ回路１４を経て表示
器８に出力される。こうして表示器８の画面には
同じＸ線強度のところを連続的に結んだ等高線が
表示される。等高線の間隔を変える場合には制御
演算部４からフレームメモリ読出選択回路１０へ
フレーム選択制御信号線を出力し、同回路１０の
切換部１６を切換動作させて強度データを読み出
すべきフレームメモリ６ａ〜６ｎを適宜選択する
だけでよい。
ームをＸ・Ｙ方向に二次元走査しながら試料表面
上の各点におけるＸ線強度を測定する。このＸ線
の強度データならびにその走査位置のデータは遂
次制御演算部４に取り込まれる。制御演算部４は
EPMA１からのＸ線強度の値に基づきこの強度
レベルに対応する１つのフレームメモリ６ａ〜６
ｎを指定し、かつ、指定されたフレームメモリ６
ａ〜６ｎについて走査位置Ｘ・Ｙのデータに基づ
いて所定のアドレスを指定して、その指定したア
ドレス位置にＸ線強度の値を記憶させていく。従
つて、Ｘ線の強度データはその強度レベルに対応
するフレームメモリ６ａ〜６ｎであつて、そのフ
レームメモリ６ａ〜６ｎの試料位置に対応したア
ドレスに記憶されることになる。続いて、各フレ
ームメモリ６ａ〜６ｎに記憶された強度データを
読み出すときには、制御演算部４は予じめ表示に
際しての等高線間隔を設定するため、フレームメ
モリ読出選択回路１０の切換回路１６にフレーム
メモリ選択制御信号を出力する。これにより、所
定の比較器１２ａ〜１２ｎに基準電源が加わるの
で、該比較器１２ａ〜１２ｎのみ読み出された強
度データの通過が可能となる。一方、各フレーム
メモリ６ａ〜６ｎ内の強度データは制御演算部４
により表示器８のTV走査信号に同期してｎビツ
トでパラレルに読み出される。ところが、すでに
フレームメモリ読出選択回路１０で強度データを
読み出すべきフレームメモリ６ａ〜６ｎが選択さ
れているので、選択されたフレームメモリ６ａ〜
６ｎの強度データのみがＲ回路１４を経て表示
器８に出力される。こうして表示器８の画面には
同じＸ線強度のところを連続的に結んだ等高線が
表示される。等高線の間隔を変える場合には制御
演算部４からフレームメモリ読出選択回路１０へ
フレーム選択制御信号線を出力し、同回路１０の
切換部１６を切換動作させて強度データを読み出
すべきフレームメモリ６ａ〜６ｎを適宜選択する
だけでよい。
なお、この実施例では分析機器としてEPMA
の場合について説明したが、IMAやSAMなど他
の分析機器にも本発明を広く適宜できるのは勿論
である。
の場合について説明したが、IMAやSAMなど他
の分析機器にも本発明を広く適宜できるのは勿論
である。
(ヘ) 効果
以上のように本発明によれば、各フレームメモ
リに強度データがその強度レベルに応じて記憶さ
れ、また、フレームメモリ読出選択回路で等高線
間隔を自由に設定できるので、従来に比べて等高
線表示の演算処理時間が大幅に短縮される。しか
も、比較的安価な回路でこれを実現できるという
優れた効果を奏する。
リに強度データがその強度レベルに応じて記憶さ
れ、また、フレームメモリ読出選択回路で等高線
間隔を自由に設定できるので、従来に比べて等高
線表示の演算処理時間が大幅に短縮される。しか
も、比較的安価な回路でこれを実現できるという
優れた効果を奏する。
第１図は従来例を、第２図および第３図は本発
明の実施例をそれぞれ示すもので、第１図および
第２図は共にEPMAとこれに付属する等高線表
示装置の構成図、第３図はフレームメモリ読出選
択回路の詳細を示す回路図である。 １……分析機器（EPMA）、２……等高線表示
装置、６ａ〜６ｎ……フレームメモリ、８……表
示器、１０……フレームメモリ読出選択回路。
明の実施例をそれぞれ示すもので、第１図および
第２図は共にEPMAとこれに付属する等高線表
示装置の構成図、第３図はフレームメモリ読出選
択回路の詳細を示す回路図である。 １……分析機器（EPMA）、２……等高線表示
装置、６ａ〜６ｎ……フレームメモリ、８……表
示器、１０……フレームメモリ読出選択回路。
Claims (1)
- １ EPMAなどの分析機器で測定された強度デ
ータがこれらの強度レベルに応じて記憶される複
数のフレームメモリと、これらのフレームメモリ
で記憶された前記強度データを画像表示する表示
器とを備えるとともに、前記フレームメモリと表
示器との間にフレームメモリからの前記強度デー
タの読み出しを選択するフレームメモリ読出選択
回路が設けられていることを特徴とする分析機器
における等高線表示装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58247943A JPS60143750A (ja) | 1983-12-30 | 1983-12-30 | 分析機器における等高線表示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58247943A JPS60143750A (ja) | 1983-12-30 | 1983-12-30 | 分析機器における等高線表示装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60143750A JPS60143750A (ja) | 1985-07-30 |
| JPH0378036B2 true JPH0378036B2 (ja) | 1991-12-12 |
Family
ID=17170853
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58247943A Granted JPS60143750A (ja) | 1983-12-30 | 1983-12-30 | 分析機器における等高線表示装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60143750A (ja) |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5025773A (ja) * | 1973-07-10 | 1975-03-18 | ||
| JPS5773578A (en) * | 1980-10-27 | 1982-05-08 | Sony Corp | Television receiver |
-
1983
- 1983-12-30 JP JP58247943A patent/JPS60143750A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS60143750A (ja) | 1985-07-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2925119B2 (ja) | プログラマブル・コントローラ | |
| US5929842A (en) | Method and apparatus for improving time variant image details on a raster display | |
| EP0204000B1 (en) | Ultrasonic diagnostic apparatus | |
| EP0130569A2 (en) | Scanning imaging apparatus and method | |
| US6642926B1 (en) | Test and measurement instrument having telecommunications mask testing capability with a mask zoom feature | |
| EP0123381B1 (en) | Logic waveform display apparatus | |
| JPH0378036B2 (ja) | ||
| JPH0210437B2 (ja) | ||
| JP5412787B2 (ja) | 波形表示装置及び波形表示方法 | |
| JPH05126771A (ja) | 元素マツピング装置 | |
| KR0158405B1 (ko) | 색순도 측정장치 | |
| JPS6378446A (ja) | 電子ビ−ム装置 | |
| JPH01185448A (ja) | ディジタルオシロスコープ | |
| JPH0430489Y2 (ja) | ||
| EP0159589A2 (en) | Display system for a measuring instrument | |
| JPS59224038A (ja) | 荷電粒子線走査型分析装置 | |
| JPH05176228A (ja) | 画像表示装置 | |
| JPH053533B2 (ja) | ||
| JPH0354857B2 (ja) | ||
| JPH05133981A (ja) | 波形表示装置 | |
| JPS63299244A (ja) | 半導体装置の動作波形観測装置 | |
| JP2002073100A (ja) | 波形測定器の波形表示方法およびその装置 | |
| JPH0160995B2 (ja) | ||
| JPS62194581A (ja) | 医用画像解析処理装置 | |
| JPH04195191A (ja) | ルックアップテーブル用メモリ診断装置 |