JPH05126771A - 元素マツピング装置 - Google Patents
元素マツピング装置Info
- Publication number
- JPH05126771A JPH05126771A JP3315310A JP31531091A JPH05126771A JP H05126771 A JPH05126771 A JP H05126771A JP 3315310 A JP3315310 A JP 3315310A JP 31531091 A JP31531091 A JP 31531091A JP H05126771 A JPH05126771 A JP H05126771A
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- JP
- Japan
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 元素マッピング像の取込みと元素マッピング
像の表示とを互いに独立させることにより、元素マッピ
ング像を高速に表示できる元素マッピング装置を提供す
ること。 【構成】 元素マッピング像取込み部10と元素マッピン
グ像表示部20とを元素マッピングメモリ30に対して切換
えスイッチ40を介して択一的に接続できるように構成す
ると共に、元素マッピング像取り込み部10からの元素マ
ッピング像取込み要求信号ｇまたは元素マッピング像表
示部20からの元素マッピング像表示要求信号ｊに基づい
て切換えスイッチ40を切換えるようにしている。
像の表示とを互いに独立させることにより、元素マッピ
ング像を高速に表示できる元素マッピング装置を提供す
ること。 【構成】 元素マッピング像取込み部10と元素マッピン
グ像表示部20とを元素マッピングメモリ30に対して切換
えスイッチ40を介して択一的に接続できるように構成す
ると共に、元素マッピング像取り込み部10からの元素マ
ッピング像取込み要求信号ｇまたは元素マッピング像表
示部20からの元素マッピング像表示要求信号ｊに基づい
て切換えスイッチ40を切換えるようにしている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、元素マッピング装置に
関する。
関する。
【０００２】
【従来の技術】元素マッピング装置は、例えば電子線走
査型の電子顕微鏡とエネルギー分散型のＸ線分析装置と
からなり、試料の微小領域に対して電子線を照射したと
きに生ずる特性Ｘ線をＸ線検出器によって検出し、この
Ｘ線検出器の出力をマルチチャンネルアナライザによっ
て処理し、元素の種類別に画素位置に対応した濃度を求
めて、これを元素毎に設けられたマッピングメモリに格
納し、必要に応じてＣＲＴなどのディスプレイに元素の
分布状況を出力するものである。
査型の電子顕微鏡とエネルギー分散型のＸ線分析装置と
からなり、試料の微小領域に対して電子線を照射したと
きに生ずる特性Ｘ線をＸ線検出器によって検出し、この
Ｘ線検出器の出力をマルチチャンネルアナライザによっ
て処理し、元素の種類別に画素位置に対応した濃度を求
めて、これを元素毎に設けられたマッピングメモリに格
納し、必要に応じてＣＲＴなどのディスプレイに元素の
分布状況を出力するものである。
【０００３】従来の元素マッピング装置のＸ線分析装置
は、図２に示すように構成されており、元素マッピング
像を得るのに、ＣＰＵ１から測定対象位置をＤＡ変換器
（以下、ＤＡＣと云う）２を介して図外の電子顕微鏡に
対して出力した後、電子顕微鏡における測定結果（マッ
ピング像）をマルチチャンネルアナライザ（以下、ＭＣ
Ａと云う）３やＡＤ変換器（以下、ＡＤＣと云う）４か
ら読み取って、元素マッピングメモリ５や表示メモリ６
に書き込むようにしていた。なお、７はＣＲＴである。
は、図２に示すように構成されており、元素マッピング
像を得るのに、ＣＰＵ１から測定対象位置をＤＡ変換器
（以下、ＤＡＣと云う）２を介して図外の電子顕微鏡に
対して出力した後、電子顕微鏡における測定結果（マッ
ピング像）をマルチチャンネルアナライザ（以下、ＭＣ
Ａと云う）３やＡＤ変換器（以下、ＡＤＣと云う）４か
ら読み取って、元素マッピングメモリ５や表示メモリ６
に書き込むようにしていた。なお、７はＣＲＴである。
【０００４】しかしながら、上記従来の元素マッピング
装置においては、上記した動作（処理）の全てが時間的
に直列となるため、例えば表示処理に時間をかけるとそ
の分だけマッピング像の取込みに要するトータルの処理
時間が長くなるといった欠点があった。
装置においては、上記した動作（処理）の全てが時間的
に直列となるため、例えば表示処理に時間をかけるとそ
の分だけマッピング像の取込みに要するトータルの処理
時間が長くなるといった欠点があった。
【０００５】本発明は、上述の事柄に留意してなされた
もので、その目的とするところは、元素マッピング像の
取込みと元素マッピング像の表示とを互いに独立させる
ことにより、元素マッピング像を高速に表示できる元素
マッピング装置を提供することにある。
もので、その目的とするところは、元素マッピング像の
取込みと元素マッピング像の表示とを互いに独立させる
ことにより、元素マッピング像を高速に表示できる元素
マッピング装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明に係る元素マッピング装置は、元素マッピン
グ像取込み部と元素マッピング像表示部とを元素マッピ
ングメモリに対して切換えスイッチを介して択一的に接
続できるように構成すると共に、元素マッピング像取り
込み部からの元素マッピング像取込み要求信号または元
素マッピング像表示部からの元素マッピング像表示要求
信号に基づいて切換えスイッチを切換えるようにしてい
る。
め、本発明に係る元素マッピング装置は、元素マッピン
グ像取込み部と元素マッピング像表示部とを元素マッピ
ングメモリに対して切換えスイッチを介して択一的に接
続できるように構成すると共に、元素マッピング像取り
込み部からの元素マッピング像取込み要求信号または元
素マッピング像表示部からの元素マッピング像表示要求
信号に基づいて切換えスイッチを切換えるようにしてい
る。
【０００７】
【作用】本発明によれば、表示時間の影響を受けること
なく元素マッピング像を得ることができ、また、元素マ
ッピング像の取込み時間に影響を及ぼすことなく、画像
処理を行うことができる。
なく元素マッピング像を得ることができ、また、元素マ
ッピング像の取込み時間に影響を及ぼすことなく、画像
処理を行うことができる。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の実施例を、図面を参照しなが
ら説明する。
ら説明する。
【０００９】図１は、本発明に係る元素マッピング装置
の要部の構成を示す図で、この図において、10は元素マ
ッピング像取込み部、20は元素マッピング像表示部、30
は元素マッピングメモリ、40は切換えスイッチ、50はア
クセスコントローラである。
の要部の構成を示す図で、この図において、10は元素マ
ッピング像取込み部、20は元素マッピング像表示部、30
は元素マッピングメモリ、40は切換えスイッチ、50はア
クセスコントローラである。
【００１０】前記元素マッピング像取込み部10は、走査
回路11、ＤＡＣ12、ＭＣＡ13、ＡＤＣ14とから構成され
ている。走査回路11は、図外のＣＰＵからのマッピング
開始指令に基づいて測定位置を決めるための測定座標信
号ａをＤＡＣ12に対して出力し、さらに、後述する二次
電子像ｉの取込み要求信号ｂをアクセスコントローラ50
に出力すると共に、ＭＣＡ13に対してＸ線測定開始信号
ｃを出力するように構成されている。そして、ＤＡＣ12
は、走査回路11からの測定座標信号ａをＤＡ変換して
Ｘ，Ｙ走査信号ｄを図外の電子顕微鏡に出力する。
回路11、ＤＡＣ12、ＭＣＡ13、ＡＤＣ14とから構成され
ている。走査回路11は、図外のＣＰＵからのマッピング
開始指令に基づいて測定位置を決めるための測定座標信
号ａをＤＡＣ12に対して出力し、さらに、後述する二次
電子像ｉの取込み要求信号ｂをアクセスコントローラ50
に出力すると共に、ＭＣＡ13に対してＸ線測定開始信号
ｃを出力するように構成されている。そして、ＤＡＣ12
は、走査回路11からの測定座標信号ａをＤＡ変換して
Ｘ，Ｙ走査信号ｄを図外の電子顕微鏡に出力する。
【００１１】また、ＭＣＡ13は、前記電子顕微鏡に設け
られたＸ線検出器（図外）の出力をパルスプロセッサ
（図外）によって処理して得られる入射スペクトルｅに
基づいて一画素毎の元素マッピングデータｆを得るもの
で、元素マッピングデータｆを元素マッピングメモリ30
に出力できるように、切換えスイッチ40の切換え端子41
に接続されると共に、アクセスコントローラ50に対して
元素マッピング像取込み要求信号ｇを出力できるように
構成されている。さらに、ＡＤＣ14は、電子顕微鏡に設
けられた二次電子検出器（図外）からの二次電子像ｈを
取り込んでこれをＡＤ変換して二次電子データｉを得る
もので、二次電子データｉを元素マッピングメモリ30に
向けて出力できるように、切換えスイッチ40の切換え端
子42に接続されている。
られたＸ線検出器（図外）の出力をパルスプロセッサ
（図外）によって処理して得られる入射スペクトルｅに
基づいて一画素毎の元素マッピングデータｆを得るもの
で、元素マッピングデータｆを元素マッピングメモリ30
に出力できるように、切換えスイッチ40の切換え端子41
に接続されると共に、アクセスコントローラ50に対して
元素マッピング像取込み要求信号ｇを出力できるように
構成されている。さらに、ＡＤＣ14は、電子顕微鏡に設
けられた二次電子検出器（図外）からの二次電子像ｈを
取り込んでこれをＡＤ変換して二次電子データｉを得る
もので、二次電子データｉを元素マッピングメモリ30に
向けて出力できるように、切換えスイッチ40の切換え端
子42に接続されている。
【００１２】前記元素マッピング像表示部20は、図外の
ＣＲＴに対して元素マッピングメモリ30の内容を転送す
るもので、表示回路21とフレームメモリ22とからなる。
表示回路21は、取り出された元素マッピングメモリ30か
らのデータｋに階調変換などの処理を行ってフレームメ
モリ22に送出するもので、切換えスイッチ40の切換え端
子43に接続されると共に、アクセスコントローラ50に対
して元素マッピング像表示要求信号ｊを出力できるよう
に構成されている。フレームメモリ22は、例えばＲ，
Ｇ，Ｂの３つのフレームメモリからなり、図外のＣＲＴ
に接続されている。
ＣＲＴに対して元素マッピングメモリ30の内容を転送す
るもので、表示回路21とフレームメモリ22とからなる。
表示回路21は、取り出された元素マッピングメモリ30か
らのデータｋに階調変換などの処理を行ってフレームメ
モリ22に送出するもので、切換えスイッチ40の切換え端
子43に接続されると共に、アクセスコントローラ50に対
して元素マッピング像表示要求信号ｊを出力できるよう
に構成されている。フレームメモリ22は、例えばＲ，
Ｇ，Ｂの３つのフレームメモリからなり、図外のＣＲＴ
に接続されている。
【００１３】前記元素マッピングメモリ30は、元素の種
類別に画素位置に対応した濃度値（元素マッピング像）
を格納するもので、元素の種類に対応した複数のメモリ
よりなる。また、前記切換えスイッチ40は、前記切換え
端子41〜43の他、マッピングメモリ30と接続された固定
端子44および切換え切片45よりなる。そして、切換えス
イッチ40における接続切換えは、アクセスコントローラ
50からの切換え指令ｌに基づいて行われる。
類別に画素位置に対応した濃度値（元素マッピング像）
を格納するもので、元素の種類に対応した複数のメモリ
よりなる。また、前記切換えスイッチ40は、前記切換え
端子41〜43の他、マッピングメモリ30と接続された固定
端子44および切換え切片45よりなる。そして、切換えス
イッチ40における接続切換えは、アクセスコントローラ
50からの切換え指令ｌに基づいて行われる。
【００１４】次に上述のように構成された元素マッピン
グ装置の動作について説明する。図外のＣＰＵからマッ
ピング開始指令が走査回路11に出力されると、走査回路
11から測定座標信号ａがＤＡＣ12に対して出力される。
これによって、ＤＡＣ12からＸ，Ｙ走査信号ｄが電子顕
微鏡に対して発せられ、これに基づいて、電子顕微鏡に
おいては、試料（図外）のある微小領域に対して電子線
の照射が行われ、この照射によって発生した特性Ｘ線と
二次電子は、Ｘ線検出器、二次電子検出器によってそれ
ぞれ検出される。
グ装置の動作について説明する。図外のＣＰＵからマッ
ピング開始指令が走査回路11に出力されると、走査回路
11から測定座標信号ａがＤＡＣ12に対して出力される。
これによって、ＤＡＣ12からＸ，Ｙ走査信号ｄが電子顕
微鏡に対して発せられ、これに基づいて、電子顕微鏡に
おいては、試料（図外）のある微小領域に対して電子線
の照射が行われ、この照射によって発生した特性Ｘ線と
二次電子は、Ｘ線検出器、二次電子検出器によってそれ
ぞれ検出される。
【００１５】次に、走査回路11は、アクセスコントロー
ラ50に対して二次電子データｉの取込み要求信号ｂを出
力すると共に、ＭＣＡ13に対してＸ線測定開始信号ｃを
出力する。前記取込み要求信号ｂがアクセスコントロー
ラ50で受け付けられると、アクセスコントローラ50から
切換え指令ｌが発せられ、切換えスイッチ40において所
定の接続切換えが行われ、ＡＤＣ14と元素マッピングメ
モリ30とが接続され、二次電子像ｈがデータの状態で元
素マッピングメモリ30に格納される。
ラ50に対して二次電子データｉの取込み要求信号ｂを出
力すると共に、ＭＣＡ13に対してＸ線測定開始信号ｃを
出力する。前記取込み要求信号ｂがアクセスコントロー
ラ50で受け付けられると、アクセスコントローラ50から
切換え指令ｌが発せられ、切換えスイッチ40において所
定の接続切換えが行われ、ＡＤＣ14と元素マッピングメ
モリ30とが接続され、二次電子像ｈがデータの状態で元
素マッピングメモリ30に格納される。
【００１６】前記Ｘ線測定開始信号ｃを受けたＭＣＡ13
は、決められた測定期間中、Ｘ線がＸ線検出器によって
検出される（以下、Ｘ線入射と云う）毎に、アクセスコ
ントローラ50に対して元素マッピング像取込み要求信号
ｇを出力する。この取込み要求信号ｇがアクセスコント
ローラ50で受け付けられると、アクセスコントローラ50
から切換え指令ｌが発せられ、切換えスイッチ40におい
て所定の接続切換えが行われ、ＭＣＡ13と元素マッピン
グメモリ30とが接続され、元素マッピング像ｆがデータ
の状態で元素マッピングメモリ30に格納される。
は、決められた測定期間中、Ｘ線がＸ線検出器によって
検出される（以下、Ｘ線入射と云う）毎に、アクセスコ
ントローラ50に対して元素マッピング像取込み要求信号
ｇを出力する。この取込み要求信号ｇがアクセスコント
ローラ50で受け付けられると、アクセスコントローラ50
から切換え指令ｌが発せられ、切換えスイッチ40におい
て所定の接続切換えが行われ、ＭＣＡ13と元素マッピン
グメモリ30とが接続され、元素マッピング像ｆがデータ
の状態で元素マッピングメモリ30に格納される。
【００１７】一方、表示回路21は、一画素毎にアクセス
コントローラ50に対して元素マッピング像表示要求信号
ｊを出力する。この元素マッピング像表示要求信号ｊが
アクセスコントローラ50で受け付けられると、アクセス
コントローラ50から切換え指令ｌが発せられ、切換えス
イッチ40において所定の接続切換えが行われ、表示回路
21と元素マッピングメモリ30とが接続される。これによ
って、元素マッピングメモリ30内に蓄積されているデー
タｋは、表示回路21で階調変換などの処理が施された
後、フレームメモリ22に転送され、画素の移動が順次行
われ、ＣＲＴ上にマッピング像が表示される。
コントローラ50に対して元素マッピング像表示要求信号
ｊを出力する。この元素マッピング像表示要求信号ｊが
アクセスコントローラ50で受け付けられると、アクセス
コントローラ50から切換え指令ｌが発せられ、切換えス
イッチ40において所定の接続切換えが行われ、表示回路
21と元素マッピングメモリ30とが接続される。これによ
って、元素マッピングメモリ30内に蓄積されているデー
タｋは、表示回路21で階調変換などの処理が施された
後、フレームメモリ22に転送され、画素の移動が順次行
われ、ＣＲＴ上にマッピング像が表示される。
【００１８】ところで、前記アクセスコントローラ50に
対する要求信号ｂ，ｇ，ｊが重なった場合、例えばアク
セスコントローラ50はそれらの要求信号ｂ，ｇ，ｊのう
ち、優先順位の高いものから受け付けるようにして、所
定の切換え指令ｌを切換えスイッチ40に出力するのであ
る。
対する要求信号ｂ，ｇ，ｊが重なった場合、例えばアク
セスコントローラ50はそれらの要求信号ｂ，ｇ，ｊのう
ち、優先順位の高いものから受け付けるようにして、所
定の切換え指令ｌを切換えスイッチ40に出力するのであ
る。
【００１９】本発明は、上述の実施例に限られるもので
はなく、試料に対してＸ線を照射するようにしてある元
素マッピング装置にも適用できることは云うまでもな
い。
はなく、試料に対してＸ線を照射するようにしてある元
素マッピング装置にも適用できることは云うまでもな
い。
【００２０】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
元素マッピング像取込み部と元素マッピング像表示部と
を分離独立させているので、表示時間の影響を受けるこ
となく元素マッピング像を得ることができ、また、元素
マッピング像の取込み時間に影響を及ぼすことなく、画
像処理を行うことができる。従って、元素マッピング像
を高速に表示できる。
元素マッピング像取込み部と元素マッピング像表示部と
を分離独立させているので、表示時間の影響を受けるこ
となく元素マッピング像を得ることができ、また、元素
マッピング像の取込み時間に影響を及ぼすことなく、画
像処理を行うことができる。従って、元素マッピング像
を高速に表示できる。
【図１】本発明に係る元素マッピング装置の要部構成を
示す図である。
示す図である。
【図２】従来技術を説明するための図である。
10…元素マッピング像取込み部、20…元素マッピング像
表示部、30…元素マッピングメモリ、40…切換えスイッ
チ、ｇ…元素マッピング像取込み要求信号、ｊ…元素マ
ッピング像表示要求信号。
表示部、30…元素マッピングメモリ、40…切換えスイッ
チ、ｇ…元素マッピング像取込み要求信号、ｊ…元素マ
ッピング像表示要求信号。
Claims (1)
- 【請求項１】 元素マッピング像取込み部と元素マッピ
ング像表示部とを元素マッピングメモリに対して切換え
スイッチを介して択一的に接続できるように構成すると
共に、元素マッピング像取り込み部からの元素マッピン
グ像取込み要求信号または元素マッピング像表示部から
の元素マッピング像表示要求信号に基づいて切換えスイ
ッチを切換えるようにしたことを特徴とする元素マッピ
ング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3315310A JP2594194B2 (ja) | 1991-11-02 | 1991-11-02 | 元素マッピング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3315310A JP2594194B2 (ja) | 1991-11-02 | 1991-11-02 | 元素マッピング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05126771A true JPH05126771A (ja) | 1993-05-21 |
| JP2594194B2 JP2594194B2 (ja) | 1997-03-26 |
Family
ID=18063860
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3315310A Expired - Lifetime JP2594194B2 (ja) | 1991-11-02 | 1991-11-02 | 元素マッピング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2594194B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2019038883A1 (ja) * | 2017-08-24 | 2019-02-28 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置およびそれを用いた観察方法、元素分析方法 |
-
1991
- 1991-11-02 JP JP3315310A patent/JP2594194B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2019038883A1 (ja) * | 2017-08-24 | 2019-02-28 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置およびそれを用いた観察方法、元素分析方法 |
| JPWO2019038883A1 (ja) * | 2017-08-24 | 2020-10-01 | 株式会社日立ハイテク | 荷電粒子線装置およびそれを用いた観察方法、元素分析方法 |
| US11031211B2 (en) | 2017-08-24 | 2021-06-08 | Hitachi High-Tech Corporation | Charged particle beam device, and observation method and elemental analysis method using the same |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2594194B2 (ja) | 1997-03-26 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081219 Year of fee payment: 12 |
|
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Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111219 Year of fee payment: 15 |
|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |