JPH0378930A - 熱陰極構体用スリーブの製造方法 - Google Patents
熱陰極構体用スリーブの製造方法Info
- Publication number
- JPH0378930A JPH0378930A JP21478289A JP21478289A JPH0378930A JP H0378930 A JPH0378930 A JP H0378930A JP 21478289 A JP21478289 A JP 21478289A JP 21478289 A JP21478289 A JP 21478289A JP H0378930 A JPH0378930 A JP H0378930A
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- JP
- Japan
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- sleeve
- heat
- layer
- hot cathode
- cathode structure
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はテレビジョン用受像管、表示管、撮像管などの
陰極線管に用いられる高効率の熱陰極構体用スリーブの
製造方法に関する。
陰極線管に用いられる高効率の熱陰極構体用スリーブの
製造方法に関する。
陰極線管用の熱陰極構体は、一般に、加熱用ヒータと該
ヒータを内包する金属スリーブと電子放出用の熱陰極ペ
レット部とを備えてなるものであるが、上記金属スリー
ブの内面には黒色または灰色の熱吸収層を設けることが
行われている。この熱吸収層は加熱用ヒータからの輻射
熱を吸収して金属スリーブを効率よく加熱することに役
立つものであり、特に含浸形陰極のように動作温度が高
い(約1000℃)陰極構体の場合には不可欠のもので
ある。この熱吸収層の形成については、Moスリーブの
内面にAlあるいはAf1合金層を設け、非酸化性雰囲
気中で加熱して、Al、M。
ヒータを内包する金属スリーブと電子放出用の熱陰極ペ
レット部とを備えてなるものであるが、上記金属スリー
ブの内面には黒色または灰色の熱吸収層を設けることが
行われている。この熱吸収層は加熱用ヒータからの輻射
熱を吸収して金属スリーブを効率よく加熱することに役
立つものであり、特に含浸形陰極のように動作温度が高
い(約1000℃)陰極構体の場合には不可欠のもので
ある。この熱吸収層の形成については、Moスリーブの
内面にAlあるいはAf1合金層を設け、非酸化性雰囲
気中で加熱して、Al、M。
などからなる粗面層を形成する方法が西独国特許第86
8026号明細書に記載されている。
8026号明細書に記載されている。
しかしながら、上記Al3Moなどからなる粗面層は高
温で不安定であり、高温で使用した場合Aρが選択蒸発
し、該粗面層の黒色度が低下することと、陰極線管に装
用した場合に該蒸発Alが管内壁に付着して耐電圧特性
が劣化するなど、管球特性に不都合が生ずるという問題
があった。
温で不安定であり、高温で使用した場合Aρが選択蒸発
し、該粗面層の黒色度が低下することと、陰極線管に装
用した場合に該蒸発Alが管内壁に付着して耐電圧特性
が劣化するなど、管球特性に不都合が生ずるという問題
があった。
本発明の目的は、上記粗面層の黒色度を高温においても
安定に維持することができ、さらに、Alの選択的蒸発
のない、耐熱性でしかも熱吸収性の良好な粗面層を有す
る熱陰極構体用スリーブの製造方法を提供することにあ
る。
安定に維持することができ、さらに、Alの選択的蒸発
のない、耐熱性でしかも熱吸収性の良好な粗面層を有す
る熱陰極構体用スリーブの製造方法を提供することにあ
る。
〔課題を解決するための手段〕
上記目的は、下記工程からなる熱陰極構体用スリーブの
製造方法を適用することによって達成することかできる
。すなわち、 イ、Mo薄板の片側の表面に、蒸着、スパッタリングあ
るいは電気めっきなどによって、Alを厚さ0.5〜4
.0ursの範囲で均一に被着する工程。
製造方法を適用することによって達成することかできる
。すなわち、 イ、Mo薄板の片側の表面に、蒸着、スパッタリングあ
るいは電気めっきなどによって、Alを厚さ0.5〜4
.0ursの範囲で均一に被着する工程。
口、上記イの材料を深絞り加工することによって所定形
状・寸法のスリーブを形成する工程、この場合、上記A
l被着面がスリーブ内面となるように加工する。
状・寸法のスリーブを形成する工程、この場合、上記A
l被着面がスリーブ内面となるように加工する。
ハ、上記口のスリーブを真空中あるいは非酸化性雰囲気
中で50°〜650℃で約0.5時間加熱(第1次熱処
理)し、次いで、同様雰囲気中で750” 〜1100
℃で0.5〜数時間加熱(第2次熱処理)する工程。
中で50°〜650℃で約0.5時間加熱(第1次熱処
理)し、次いで、同様雰囲気中で750” 〜1100
℃で0.5〜数時間加熱(第2次熱処理)する工程。
二、上記ハのスリーブをアルカリ液あるいは酸液によっ
て処理する工程。
て処理する工程。
ホ、上記二のスリーブを湿潤水素雰囲気中950′〜1
100℃の温度で1〜2時間加熱処理する工程。
100℃の温度で1〜2時間加熱処理する工程。
上記工程ハの第1次熱処理において500°〜650℃
の温度範囲、すなわちAlの融点(660℃)以下の温
度、で熱処理を施す理由は、Alの融点以上で熱処理を
施した場合には被着層のAlが流れ出して被着層の厚さ
が不均一になるのでこれを防ぐためであり、この処理に
よってAlがMo表面に均一に固着される。また、第2
次熱処理によってMOとAlの界面にAlとM。
の温度範囲、すなわちAlの融点(660℃)以下の温
度、で熱処理を施す理由は、Alの融点以上で熱処理を
施した場合には被着層のAlが流れ出して被着層の厚さ
が不均一になるのでこれを防ぐためであり、この処理に
よってAlがMo表面に均一に固着される。また、第2
次熱処理によってMOとAlの界面にAlとM。
の金属間化合物(AnMo、、Al3Moおよびその他
の中間生成物)が形成される。これらの金属間化合物の
中、高温で最も安定なものはAflMo、であり、A
Q 3 M oおよびその他の中間生成物は高温では分
解し不安定である。この状況は第4図へΩ−Mo系状態
図から明らかである。
の中間生成物)が形成される。これらの金属間化合物の
中、高温で最も安定なものはAflMo、であり、A
Q 3 M oおよびその他の中間生成物は高温では分
解し不安定である。この状況は第4図へΩ−Mo系状態
図から明らかである。
次に、二の工程におけるアルカリ液あるいは酸液による
処理においては、中間生成物および残留Alが除去され
、Mo上にA Q M o 3とAl、N。
処理においては、中間生成物および残留Alが除去され
、Mo上にA Q M o 3とAl、N。
とが残留する。
次に、ホの湿潤水素雰囲気中での加熱工程においては、
上記A Q 、 M oがA Q M o 、に移行す
るとともに、Al−Moの酸化物およびAl、O,が形
成される。これによって、Mo上にA Q M o 3
、Al−Moの酸化物およびAg2O3からなる耐熱性
に優れた黒色の粗面層が形成されることになる。
上記A Q 、 M oがA Q M o 、に移行す
るとともに、Al−Moの酸化物およびAl、O,が形
成される。これによって、Mo上にA Q M o 3
、Al−Moの酸化物およびAg2O3からなる耐熱性
に優れた黒色の粗面層が形成されることになる。
このようにして形成された粗面層は表面に微細な凹凸を
有しており、熱吸収面積が増大し、熱吸収効果が増大す
る。
有しており、熱吸収面積が増大し、熱吸収効果が増大す
る。
以下、本発明の熱陰極構体用スリーブの製造方法につい
て実施例によって具体的に説明する。
て実施例によって具体的に説明する。
第1図は本発明製造方法の手順を示す工程図で。
まず、厚さ85趨のMo板1の片面に、Wコイルを用い
た抵抗加熱蒸着によって、厚さ2t1mのAl2を被着
させた。このとき、Mo板1の温度を150@〜200
℃として蒸着を行った。この状態を(a)に示す。次い
で、上記材料のAl蒸着面を内側とする深絞り加工によ
って、円筒状スリーブを作製した。この状態の断面図を
(b)に示す。次に、上記スリーブについて、真空中で
、順次、600℃×0.5時間(第1次熱処理)、80
0℃×1時間(第2次熱処理)の熱処理を行った。この
結果、Mo板1とAl蒸着面との界面に金属間化合物A
l2Mo、3およびAI23Mo4の層が形成され、さ
らに、最上層に、X線回折法では明確に同定できなかっ
たAl濃度の極めて高い層5の存在が認められた。この
状態を(c)に示す。続いて、上記スリーブについて、
10%NaOHと10%に、 F e (CN)G溶液
とを1:1で混合したアルカリ液を用いて、1分間の処
理を行った。この処理によって、A Q M o 、
3およびAl。
た抵抗加熱蒸着によって、厚さ2t1mのAl2を被着
させた。このとき、Mo板1の温度を150@〜200
℃として蒸着を行った。この状態を(a)に示す。次い
で、上記材料のAl蒸着面を内側とする深絞り加工によ
って、円筒状スリーブを作製した。この状態の断面図を
(b)に示す。次に、上記スリーブについて、真空中で
、順次、600℃×0.5時間(第1次熱処理)、80
0℃×1時間(第2次熱処理)の熱処理を行った。この
結果、Mo板1とAl蒸着面との界面に金属間化合物A
l2Mo、3およびAI23Mo4の層が形成され、さ
らに、最上層に、X線回折法では明確に同定できなかっ
たAl濃度の極めて高い層5の存在が認められた。この
状態を(c)に示す。続いて、上記スリーブについて、
10%NaOHと10%に、 F e (CN)G溶液
とを1:1で混合したアルカリ液を用いて、1分間の処
理を行った。この処理によって、A Q M o 、
3およびAl。
M o 4以外の層が溶解除去され、A Q M o
、 3およびA Q 、 M o 4の層が約4−の厚
さで残留した。
、 3およびA Q 、 M o 4の層が約4−の厚
さで残留した。
この状態を(d)に示す。最後に、上記スリーブを水洗
、乾燥した後、湿潤水素雰囲気中で1000℃×1時間
の熱処理を行った。この結果、Mo上に、A Q M
o 、、A Q −M oの酸化物およびAl201等
からなる耐熱性に優れた黒色粗面層6が得られた。この
状態を(e)に示す。
、乾燥した後、湿潤水素雰囲気中で1000℃×1時間
の熱処理を行った。この結果、Mo上に、A Q M
o 、、A Q −M oの酸化物およびAl201等
からなる耐熱性に優れた黒色粗面層6が得られた。この
状態を(e)に示す。
第2図に、上記のようにして得られた黒色粗面層6を有
するスリーブ内面と、該粗面層6を持たないスリーブ内
面とについての熱輻射率測定結果を示した(それぞれ、
AおよびBを以て示す)。
するスリーブ内面と、該粗面層6を持たないスリーブ内
面とについての熱輻射率測定結果を示した(それぞれ、
AおよびBを以て示す)。
この結果から、本発明の製造方法によって得られるスリ
ーブ内面の熱輻射率が極めて優れていることがわかる。
ーブ内面の熱輻射率が極めて優れていることがわかる。
また、上記のようにして得られた粗面層6は微細な凹凸
構造からなるものであり、ガス吸着法によって有効表面
積の測定を行った結果、マクロ的表面積の約4.1倍の
表面積を有していることが知られた。
構造からなるものであり、ガス吸着法によって有効表面
積の測定を行った結果、マクロ的表面積の約4.1倍の
表面積を有していることが知られた。
なお、第3図はスリーブ1、熱陰極ペレット部7と加熱
用ヒータ8とを組合せた熱陰極構体の概略構成を示す図
であるが、陰極温度1000℃を得るに必要なヒータ消
費電力は、本発明製造方法によって得られたスリーブを
用いた場合約1.○Wであり、黒化粗面層を持たないス
リーブを用いた場合に比べて、約0.4W低減できるこ
とが知られた。
用ヒータ8とを組合せた熱陰極構体の概略構成を示す図
であるが、陰極温度1000℃を得るに必要なヒータ消
費電力は、本発明製造方法によって得られたスリーブを
用いた場合約1.○Wであり、黒化粗面層を持たないス
リーブを用いた場合に比べて、約0.4W低減できるこ
とが知られた。
また、本発明の製造方法によって得られたスリーブにつ
いてlXl0−’Pa以下の高真空中で1150℃、5
ooo時間の連続加熱試験を実施した場合、従来技術の
黒化層を有するスリーブにみられたようなAlなどの蒸
発は認められず、また、初期の黒化度が維持されている
という結果が得られた。
いてlXl0−’Pa以下の高真空中で1150℃、5
ooo時間の連続加熱試験を実施した場合、従来技術の
黒化層を有するスリーブにみられたようなAlなどの蒸
発は認められず、また、初期の黒化度が維持されている
という結果が得られた。
以上述べてきたように、熱陰極構体用スリーブの製造に
おいて1本発明の製造方法を適用することによって、従
来技術の有していた課題を解決して、高真空・高温の条
件においてもAlなどの蒸発が認められず、また、黒色
度を初期状態と同様に維持することのできる、高温で安
定な耐熱・高熱吸収性の黒色粗面層を有する熱陰極構体
用スリーブを製造することができた。
おいて1本発明の製造方法を適用することによって、従
来技術の有していた課題を解決して、高真空・高温の条
件においてもAlなどの蒸発が認められず、また、黒色
度を初期状態と同様に維持することのできる、高温で安
定な耐熱・高熱吸収性の黒色粗面層を有する熱陰極構体
用スリーブを製造することができた。
また、該スリーブを用いることによって、1000℃の
陰極温度を得るために必要な陰極加熱用ヒータの消費電
力を、該粗面層を持たないスリーブを用いた場合に比べ
て、約0.4W低減することができた。
陰極温度を得るために必要な陰極加熱用ヒータの消費電
力を、該粗面層を持たないスリーブを用いた場合に比べ
て、約0.4W低減することができた。
第1図は本発明の熱陰極構体用スリーブの製造方法の手
順を示す工程図、第2図は本発明の製造方法によって得
られたスリーブの内面と、黒化粗面層を持たないスリー
ブ内面との熱輻射特性の比較を示す特性図、第3図はス
リーブ、熱陰極ペレット部と陰極加熱用ヒータとの組合
せからなる熱陰極構体の概略構成を示す図、第4図はA
l−Mo系の状態図である。 1・・・Mo薄板 2・・・Al蒸着層3−−
− A Q M o 3層 4− A Q 、 M
o層5・・・Al濃度の高い層 6・・・黒色粗面層
7・・・熱陰極ペレット部 8・・・陰極加熱用ヒータ
(C) 第2 図 1友1’cl (e) 第3 図
順を示す工程図、第2図は本発明の製造方法によって得
られたスリーブの内面と、黒化粗面層を持たないスリー
ブ内面との熱輻射特性の比較を示す特性図、第3図はス
リーブ、熱陰極ペレット部と陰極加熱用ヒータとの組合
せからなる熱陰極構体の概略構成を示す図、第4図はA
l−Mo系の状態図である。 1・・・Mo薄板 2・・・Al蒸着層3−−
− A Q M o 3層 4− A Q 、 M
o層5・・・Al濃度の高い層 6・・・黒色粗面層
7・・・熱陰極ペレット部 8・・・陰極加熱用ヒータ
(C) 第2 図 1友1’cl (e) 第3 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、下記工程からなることを特徴とする熱陰極構体用ス
リーブの製造方法。 イ、Mo薄板の片側の表面にAlを厚さ0.5〜4.0
μmの範囲で均一に被着する工程。 ロ、上記イの材料のAl被着層を内面とする深絞り加工
によって所定形状・寸法のスリーブを形成する工程。 ハ、上記ロのスリーブに真空中あるいは非酸化性雰囲気
中で500°〜650℃の第1次熱処理、750°〜1
100℃の第2次熱処理を0.5〜数時間施し、Alお
よびMoを拡散させてAlMo_3およびAl_3Mo
その他の金属間化合物を形成する工程。 ニ、上記ハのスリーブをアルカリ液あるいは酸液によっ
て処理し、AlMo_3および Al_3Mo以外の化合物を溶解、除去する工程。 ホ、上記ニのスリーブを湿潤水素雰囲気中 950°〜1100℃で加熱処理し、スリーブ内面に黒
色の耐熱・熱吸収層を形成する工程。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21478289A JPH0378930A (ja) | 1989-08-23 | 1989-08-23 | 熱陰極構体用スリーブの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21478289A JPH0378930A (ja) | 1989-08-23 | 1989-08-23 | 熱陰極構体用スリーブの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0378930A true JPH0378930A (ja) | 1991-04-04 |
Family
ID=16661448
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21478289A Pending JPH0378930A (ja) | 1989-08-23 | 1989-08-23 | 熱陰極構体用スリーブの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0378930A (ja) |
-
1989
- 1989-08-23 JP JP21478289A patent/JPH0378930A/ja active Pending
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