JPH0380253B2 - - Google Patents
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- JPH0380253B2 JPH0380253B2 JP243785A JP243785A JPH0380253B2 JP H0380253 B2 JPH0380253 B2 JP H0380253B2 JP 243785 A JP243785 A JP 243785A JP 243785 A JP243785 A JP 243785A JP H0380253 B2 JPH0380253 B2 JP H0380253B2
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- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 5
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 6
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01L—MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER, MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE
- G01L9/00—Measuring steady of quasi-steady pressure of fluid or fluent solid material by electric or magnetic pressure-sensitive elements; Transmitting or indicating the displacement of mechanical pressure-sensitive elements, used to measure the steady or quasi-steady pressure of a fluid or fluent solid material, by electric or magnetic means
- G01L9/0001—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means
- G01L9/0008—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means using vibrations
- G01L9/0022—Transmitting or indicating the displacement of elastically deformable gauges by electric, electro-mechanical, magnetic or electro-magnetic means using vibrations of a piezoelectric element
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Description
【発明の詳細な説明】
〔工業上の利用分野〕
本発明は水晶振動子を利用して、その周囲の気
体圧力を測る気体圧力測定装置に関するものであ
る。
体圧力を測る気体圧力測定装置に関するものであ
る。
本発明は水晶振動子を利用して、その周囲の気
体圧力を測る気体圧力測定装置において、前記水
晶振動子５を駆動する電圧を、周囲気体の圧力に
応じて自動的に低減することによつて、後述の従
来技術の欠点を解決する手段を提供するものであ
る。
体圧力を測る気体圧力測定装置において、前記水
晶振動子５を駆動する電圧を、周囲気体の圧力に
応じて自動的に低減することによつて、後述の従
来技術の欠点を解決する手段を提供するものであ
る。
大気圧から10-3トール（Torr）迄の気体圧力
を１つのセンサで連続的に測りたいという工業的
要求には根強いものがある。
を１つのセンサで連続的に測りたいという工業的
要求には根強いものがある。
水晶振動子の共振周波数が、その周囲気体の圧
力が低くなるにつれ増加するという現象を利用し
た水晶式気体圧力計は、ある程度前記の工業的要
求に答えるものであるが、測定下限が10トール程
度であるという大きな欠点を有している。又、熱
伝導型真空計、例えばピラニ真空計では測定下限
が10-4〜10-3トールであるが、測定上限が10トー
ル程度であり、これも前記水晶式気体圧力計と同
様の欠点を有している。
力が低くなるにつれ増加するという現象を利用し
た水晶式気体圧力計は、ある程度前記の工業的要
求に答えるものであるが、測定下限が10トール程
度であるという大きな欠点を有している。又、熱
伝導型真空計、例えばピラニ真空計では測定下限
が10-4〜10-3トールであるが、測定上限が10トー
ル程度であり、これも前記水晶式気体圧力計と同
様の欠点を有している。
一方、水晶振動子の共振抵抗が、その周囲気体
の圧力に広い範囲で依存性を有することが、最近
明らかとなり、それを利用すれば大気圧から10-3
トールまで１つのセンサで連続的に測定可能な気
体圧力計が実現できることが明らかとなつた。こ
れは、例えば月刊誌「計装」、1984年、Vol.27、
No.７「水晶振動子を使つた超小型真空センサの開
発」の項に開示されている。
の圧力に広い範囲で依存性を有することが、最近
明らかとなり、それを利用すれば大気圧から10-3
トールまで１つのセンサで連続的に測定可能な気
体圧力計が実現できることが明らかとなつた。こ
れは、例えば月刊誌「計装」、1984年、Vol.27、
No.７「水晶振動子を使つた超小型真空センサの開
発」の項に開示されている。
次に、水晶振動子の共振抵抗の圧力依存性を利
用した気体圧力計の動作原理を図面によつて説明
する。
用した気体圧力計の動作原理を図面によつて説明
する。
第１図は気体圧力と水晶振動子の特性値（共振
抵抗値と共振電流、共振周波数）の関係を示す図
である。共振周波数は気体の圧力が10トールを越
えると変化し始めるが、気体の圧力が10トール未
満では気体圧力に対する感度はほとんど零であ
る。一方、水晶振動子の共振抵抗は大気圧から
10-3トールまで、気体圧力に対して感度を有して
いる。この水晶振動を定電圧駆動すれば、同図に
おいてioで示すような共振電流一気体圧力曲線が
えられる。それは、前記共振抵抗値と同様に大気
圧から10-3トールまで気体圧力に対する感度を有
する。従つて、測定の容易さの点から、共振抵抗
値を測るよりは共振電流（又は共振電圧）を測る
方が良い。
抵抗値と共振電流、共振周波数）の関係を示す図
である。共振周波数は気体の圧力が10トールを越
えると変化し始めるが、気体の圧力が10トール未
満では気体圧力に対する感度はほとんど零であ
る。一方、水晶振動子の共振抵抗は大気圧から
10-3トールまで、気体圧力に対して感度を有して
いる。この水晶振動を定電圧駆動すれば、同図に
おいてioで示すような共振電流一気体圧力曲線が
えられる。それは、前記共振抵抗値と同様に大気
圧から10-3トールまで気体圧力に対する感度を有
する。従つて、測定の容易さの点から、共振抵抗
値を測るよりは共振電流（又は共振電圧）を測る
方が良い。
第２図は、本発明の対象である水晶式気体圧力
計の電子回路ブロツク図である。大きくはPLL
回路部と、表示変換回路部と、表示部とから構成
される。前記PLL回路部は、電圧又は電流によ
つて制御される周波数可変発振器１、水晶振動子
５の共振電流を電圧として増幅する増幅器２、前
記増幅器２の出力信号と前記周波数可変発振器１
の出力信号との位相を比較し、その位相差に比例
する信号を出力する位相比較器３と、前記位相比
較器３のパルス状出力信号を直流電圧に直す低域
濾波器４とから成る。前記低域濾波器４の出力電
圧は前記周波数可変発振器１の発振周波数を制御
する。圧力センサである前記水晶振動子５は、前
記周波数可変発振器１の出力端子と前記増幅器２
の入力端子に接続される。
計の電子回路ブロツク図である。大きくはPLL
回路部と、表示変換回路部と、表示部とから構成
される。前記PLL回路部は、電圧又は電流によ
つて制御される周波数可変発振器１、水晶振動子
５の共振電流を電圧として増幅する増幅器２、前
記増幅器２の出力信号と前記周波数可変発振器１
の出力信号との位相を比較し、その位相差に比例
する信号を出力する位相比較器３と、前記位相比
較器３のパルス状出力信号を直流電圧に直す低域
濾波器４とから成る。前記低域濾波器４の出力電
圧は前記周波数可変発振器１の発振周波数を制御
する。圧力センサである前記水晶振動子５は、前
記周波数可変発振器１の出力端子と前記増幅器２
の入力端子に接続される。
PLL回路の動作原理は既に広く知られている
ので、ここでは省略するが、前記周波数可変発振
器１の発振周波数は、前記周波数可変発振器１の
出力信号即ち前記水晶振動子５の駆動電圧と、前
記増幅器２の出力信号即ち前記水晶振動子５を流
れる電流との位相差が零になるように常に制御さ
れている。即ち、前記水晶振動子５は常に、それ
自身の共振周波数にて駆動されていることであ
り、水晶式気体圧力計を実用化する上で重要な意
味をもつ。というのは、第１図に示すように、水
晶振動子の共振周波数は気体圧力によつて変化す
るからである。次に表示変換回路部は、前記増幅
器２の信号を更に増幅する主増幅器６、前記主増
幅器６の出力信号を直流にする整流器７、前記整
流器７の出力電圧の極性を反転するインバータ
８、及び前記インバータ８の出力電圧にバイアス
をかけるためのバツフア９とから成る。前記バイ
アス量は可変抵抗器９ａによつて任意に変えるこ
とができる表示部は、気体圧力をデジタル的に、
又は、アナログ的に表示する部分で、本例ではメ
ータ１０により構成されていて、前記メータ１０
の振れ角から気体圧力を読み取るものである。
ので、ここでは省略するが、前記周波数可変発振
器１の発振周波数は、前記周波数可変発振器１の
出力信号即ち前記水晶振動子５の駆動電圧と、前
記増幅器２の出力信号即ち前記水晶振動子５を流
れる電流との位相差が零になるように常に制御さ
れている。即ち、前記水晶振動子５は常に、それ
自身の共振周波数にて駆動されていることであ
り、水晶式気体圧力計を実用化する上で重要な意
味をもつ。というのは、第１図に示すように、水
晶振動子の共振周波数は気体圧力によつて変化す
るからである。次に表示変換回路部は、前記増幅
器２の信号を更に増幅する主増幅器６、前記主増
幅器６の出力信号を直流にする整流器７、前記整
流器７の出力電圧の極性を反転するインバータ
８、及び前記インバータ８の出力電圧にバイアス
をかけるためのバツフア９とから成る。前記バイ
アス量は可変抵抗器９ａによつて任意に変えるこ
とができる表示部は、気体圧力をデジタル的に、
又は、アナログ的に表示する部分で、本例ではメ
ータ１０により構成されていて、前記メータ１０
の振れ角から気体圧力を読み取るものである。
前記水晶振動子の共振電流の圧力特性は第１図
に示すように、周囲気体の圧力が低下するに従つ
て共振電流が増加するので、電圧として増幅し、
直流になおし、そのままメータを駆動すると圧力
が低下するに従いメータの振れ角が増加し、常識
に反する表示になる。そこで、前記インバータ８
によつて、前記直流電圧の極性を反転し、更に前
記バツフア９によつてバイアス電圧を加えること
により、第３図に示すようなメータ駆動電圧を得
ることができる。第３図の例では、大気圧におい
てメータ駆動電圧が10Vになるように前記バイア
ス量が調整されている。このようにして、大気圧
においてメータの針が完全に振れ、低圧になるに
従つてメータの振れ角が減少する通常の圧力表示
を得ることができる。
に示すように、周囲気体の圧力が低下するに従つ
て共振電流が増加するので、電圧として増幅し、
直流になおし、そのままメータを駆動すると圧力
が低下するに従いメータの振れ角が増加し、常識
に反する表示になる。そこで、前記インバータ８
によつて、前記直流電圧の極性を反転し、更に前
記バツフア９によつてバイアス電圧を加えること
により、第３図に示すようなメータ駆動電圧を得
ることができる。第３図の例では、大気圧におい
てメータ駆動電圧が10Vになるように前記バイア
ス量が調整されている。このようにして、大気圧
においてメータの針が完全に振れ、低圧になるに
従つてメータの振れ角が減少する通常の圧力表示
を得ることができる。
第４図は、前記水晶振動子５の駆動電圧対共振
抵抗値の特性（周囲気体圧力は１×10-4トール以
下）を示す図である。前記水晶振動子５を駆動す
る電圧が0.5ボルト（実効値）を越えると、前記
水晶振動子は過励振状態になる。
抵抗値の特性（周囲気体圧力は１×10-4トール以
下）を示す図である。前記水晶振動子５を駆動す
る電圧が0.5ボルト（実効値）を越えると、前記
水晶振動子は過励振状態になる。
しかしながら、水晶振動子の共振抵抗の圧力依
存性を利用する前述の従来構成による水晶式気体
圧力計においては、前記水晶振動子５を駆動する
電圧が一定であり、前記水晶振動子５が大気圧又
はそれ以上の圧力下にある時でも前記PLL回路
部が正常に動作するように前記水晶振動子５を駆
動する電圧の値を固定すると、前記水晶振動子５
が非常に低い圧力下にある時、前記水晶振動子５
の共振抵抗が小さくなるので、前記水晶振動子５
を駆動する電圧が相対的に強大になり、過励振状
態になる欠点があつた。即ち、前記水晶振動子５
が過励振状態になると、前記水晶振動子５の振動
洩れが大きくなり共振電流の値が不安定になり測
定精度を低下させる。又、当然、前記水晶振動子
５が過励振状態にあれば、その信頼性は低下し、
はなはだしい場合は破損する場合もあり、実用
上、看過しえない問題を発生する。
存性を利用する前述の従来構成による水晶式気体
圧力計においては、前記水晶振動子５を駆動する
電圧が一定であり、前記水晶振動子５が大気圧又
はそれ以上の圧力下にある時でも前記PLL回路
部が正常に動作するように前記水晶振動子５を駆
動する電圧の値を固定すると、前記水晶振動子５
が非常に低い圧力下にある時、前記水晶振動子５
の共振抵抗が小さくなるので、前記水晶振動子５
を駆動する電圧が相対的に強大になり、過励振状
態になる欠点があつた。即ち、前記水晶振動子５
が過励振状態になると、前記水晶振動子５の振動
洩れが大きくなり共振電流の値が不安定になり測
定精度を低下させる。又、当然、前記水晶振動子
５が過励振状態にあれば、その信頼性は低下し、
はなはだしい場合は破損する場合もあり、実用
上、看過しえない問題を発生する。
本発明は上記の事情に鑑み為されたもので、前
記水晶振動子５を駆動する電圧を、周囲気体の圧
力に応じて自動的に低減することによつて、前述
の従来技術の欠点を解決する手段を提供するもの
である。
記水晶振動子５を駆動する電圧を、周囲気体の圧
力に応じて自動的に低減することによつて、前述
の従来技術の欠点を解決する手段を提供するもの
である。
以下、本発明を図によつて説明する。第５図は
本発明の実施例を示す図である。前記周波数可変
発振器１の出力電圧は、コンデンサ１１ａと抵抗
１１ｂによつて直流分が取り除かれた後、正相増
幅器１１に印加される。前記正相増幅器１１の利
得は、スイツチ１４ａが開状態の時は１、前記ス
イツチ１４ａが閉状態の時は、抵抗１１ｃの抵抗
値をr1、抵抗１１ｄの抵抗値をr2とすると、１＋
r1／r2となる。即ち、気体圧力センサである水晶
振動子５を駆動する電圧は前記スイツチ１４ａを
開閉することによつて変え得る。次に、前記水晶
振動子５を流れる電流は抵抗２ａによつて電圧に
変えられ、正相増幅器２で増幅される。抵抗２
ｂ、抵抗２ｃは、前記正相増幅器２の利得を決定
する。前記正相増幅器２の出力の一部は、前記位
相比較器３に印加されPLL回路部を完成する。
前記正相増幅器２の出力の他の一部はコンデンサ
６′ａにより直流分が除去され逆相増幅器６′に印
加される。抵抗６′ｂの値をr3、抵抗６′ｃの値を
r4、抵抗６′ｄの値をr5とすると、前記逆相増幅
器６′の利得は、スイツチ１４ｂが開状態の時は
（r4＋r5）／r3となり、前記スイツチ１４ｂが閉状
態の時はr5／r3となる。即ち、前記スイツチ１４
ｂが開閉により前記逆相増幅器６の利得を変え得
る。ここで、前記スイツチ１４ａと前記スイツチ
１４ｂとは、リレー１４によつて連動するもの
で、前記スイツチ１４ａが開の時は前記スイツチ
１４ｂも開、前記スイツチ１４ａが閉の時は前記
スイツチ１４ｂも閉である。
本発明の実施例を示す図である。前記周波数可変
発振器１の出力電圧は、コンデンサ１１ａと抵抗
１１ｂによつて直流分が取り除かれた後、正相増
幅器１１に印加される。前記正相増幅器１１の利
得は、スイツチ１４ａが開状態の時は１、前記ス
イツチ１４ａが閉状態の時は、抵抗１１ｃの抵抗
値をr1、抵抗１１ｄの抵抗値をr2とすると、１＋
r1／r2となる。即ち、気体圧力センサである水晶
振動子５を駆動する電圧は前記スイツチ１４ａを
開閉することによつて変え得る。次に、前記水晶
振動子５を流れる電流は抵抗２ａによつて電圧に
変えられ、正相増幅器２で増幅される。抵抗２
ｂ、抵抗２ｃは、前記正相増幅器２の利得を決定
する。前記正相増幅器２の出力の一部は、前記位
相比較器３に印加されPLL回路部を完成する。
前記正相増幅器２の出力の他の一部はコンデンサ
６′ａにより直流分が除去され逆相増幅器６′に印
加される。抵抗６′ｂの値をr3、抵抗６′ｃの値を
r4、抵抗６′ｄの値をr5とすると、前記逆相増幅
器６′の利得は、スイツチ１４ｂが開状態の時は
（r4＋r5）／r3となり、前記スイツチ１４ｂが閉状
態の時はr5／r3となる。即ち、前記スイツチ１４
ｂが開閉により前記逆相増幅器６の利得を変え得
る。ここで、前記スイツチ１４ａと前記スイツチ
１４ｂとは、リレー１４によつて連動するもの
で、前記スイツチ１４ａが開の時は前記スイツチ
１４ｂも開、前記スイツチ１４ａが閉の時は前記
スイツチ１４ｂも閉である。
具体的には、r1＝r2＝r3＝10キロオーム、r4＝
r5＝100キロオームである。前記スイツチ１４ａ
と１４ｂが開状態の時、前記正相増幅器の利得は
１で、前記水晶振動子を駆動する電圧は250ミリ
ボルトであり、前記逆相増幅器６の利得は20であ
る。これは、前記水晶振動子５の周囲気体の圧力
が低い時に相当する。
r5＝100キロオームである。前記スイツチ１４ａ
と１４ｂが開状態の時、前記正相増幅器の利得は
１で、前記水晶振動子を駆動する電圧は250ミリ
ボルトであり、前記逆相増幅器６の利得は20であ
る。これは、前記水晶振動子５の周囲気体の圧力
が低い時に相当する。
次に、前記スイツチ１４ａ，１４ｂが閉状態の
時、前記正相増幅器１１の利得は２となり、前記
水晶振動子５を駆動する電圧は500ミリボルトと
なり、前記逆相増幅器６′の利得は10となる。こ
れは、前記水晶振動子５の周囲気体の圧力が高い
時に相当する。即ち、周囲気体圧力が低くなると
圧力が高い時に比べ、前記水晶振動子５を駆動す
る電圧は半分になるが、一方、前記逆相増幅器
６′の利得は２倍になるので、前記メータ１０の
指示値を何ら変えることなく、前記水晶振動子を
過励振状態にすることを防ぐことができる。尚、
抵抗１０ａは前記メータ１０に流れる電流を制限
している。
時、前記正相増幅器１１の利得は２となり、前記
水晶振動子５を駆動する電圧は500ミリボルトと
なり、前記逆相増幅器６′の利得は10となる。こ
れは、前記水晶振動子５の周囲気体の圧力が高い
時に相当する。即ち、周囲気体圧力が低くなると
圧力が高い時に比べ、前記水晶振動子５を駆動す
る電圧は半分になるが、一方、前記逆相増幅器
６′の利得は２倍になるので、前記メータ１０の
指示値を何ら変えることなく、前記水晶振動子を
過励振状態にすることを防ぐことができる。尚、
抵抗１０ａは前記メータ１０に流れる電流を制限
している。
前記表示変換回路部におけるバツフア９の出力
電圧の一部はコンパレータ１２に印加される。前
記コンパレータ１２の出力電圧は抵抗１３ａを介
し、トランジスタ１３を活性化し、前記リレー１
４に電流を流し、前記スイツチ１４ａ，１４ｂを
閉状態にする。即ち、前記コンパレータ１２によ
つて、前記水晶振動子５を駆動する電圧を変え
る。尚、ダイオード１４ｃは前記リレー１４の逆
起電圧を吸収し前記トランジスタ１３を保護す
る。又、抵抗１３ｂは、前記リレー１４に流れる
電流を適正な値にするものである。
電圧の一部はコンパレータ１２に印加される。前
記コンパレータ１２の出力電圧は抵抗１３ａを介
し、トランジスタ１３を活性化し、前記リレー１
４に電流を流し、前記スイツチ１４ａ，１４ｂを
閉状態にする。即ち、前記コンパレータ１２によ
つて、前記水晶振動子５を駆動する電圧を変え
る。尚、ダイオード１４ｃは前記リレー１４の逆
起電圧を吸収し前記トランジスタ１３を保護す
る。又、抵抗１３ｂは、前記リレー１４に流れる
電流を適正な値にするものである。
前記コンパレータ１２の基準電圧は、具体的に
は約5.5ボルトに選ばれる。この時、前記水晶振
動子５の周囲気体の圧力は１トールである。即
ち、周囲気体の圧力が１トールよりも高いと、前
記コンパレータ１２の出力電圧は「正」となり、
前記スイツチ１４ａ，１４ｂは閉状態となり、前
記水晶振動子５は500ミリボルトで駆動される。
次に周囲気体の圧力が１トールを下まわると、前
記コンパレータ１２の出力電圧は「負」となり、
前記スイツチ１４ａ，１４ｂは開となり、前記水
晶振動子５は250ミリボルトで駆動される。ここ
で、前記逆相増幅器６′の利得は周囲気体圧力が
１トール以上の場合に較べ２倍になるので、前記
水晶振動子の駆動電圧が半分になつても、前記メ
ータ１０の指示は、その事によつては変化せず、
測定に何ら支障をきたさない。
は約5.5ボルトに選ばれる。この時、前記水晶振
動子５の周囲気体の圧力は１トールである。即
ち、周囲気体の圧力が１トールよりも高いと、前
記コンパレータ１２の出力電圧は「正」となり、
前記スイツチ１４ａ，１４ｂは閉状態となり、前
記水晶振動子５は500ミリボルトで駆動される。
次に周囲気体の圧力が１トールを下まわると、前
記コンパレータ１２の出力電圧は「負」となり、
前記スイツチ１４ａ，１４ｂは開となり、前記水
晶振動子５は250ミリボルトで駆動される。ここ
で、前記逆相増幅器６′の利得は周囲気体圧力が
１トール以上の場合に較べ２倍になるので、前記
水晶振動子の駆動電圧が半分になつても、前記メ
ータ１０の指示は、その事によつては変化せず、
測定に何ら支障をきたさない。
以上述べてきたように、本発明によれば、気体
圧力表示値に変化を与えることなしに、気体圧力
がある値以下になると自動的に気体圧力センサで
ある水晶振動子を駆動する電圧を低減することが
でき、水晶振動子を使用する上で最も避けなけれ
ばならない過励振を防止し、気体圧力の測定精度
を向上し、且つ、水晶振動子の寿命を長くするこ
とができる。又、本発明は、大気圧以上の圧力を
測定する時にも、水晶振動子の駆動電圧を自由に
選べるので有用である。
圧力表示値に変化を与えることなしに、気体圧力
がある値以下になると自動的に気体圧力センサで
ある水晶振動子を駆動する電圧を低減することが
でき、水晶振動子を使用する上で最も避けなけれ
ばならない過励振を防止し、気体圧力の測定精度
を向上し、且つ、水晶振動子の寿命を長くするこ
とができる。又、本発明は、大気圧以上の圧力を
測定する時にも、水晶振動子の駆動電圧を自由に
選べるので有用である。
第１図は水晶振動子の特性値（共振抵抗、共振
電流、共振周波数）と周囲気体圧力との関係を示
す図、第２図は本発明の対象である水晶式気体圧
力計の電子回路ブロツク図、第３図はメータ駆動
電圧と周囲気体圧力との関係を示す図、第４図は
前記水晶振動子を駆動する電圧とその共振抵抗と
の関係を示す図、第５図は本発明の実施例を示す
図である。 １……周波数可変発振器、２……増幅器、３…
…位相比較器、４……低減濾波器、５……水晶振
動子、６……主増幅器、７……整流器、８……イ
ンバータ、９……バツフア、１０……メータ、１
１……正相増幅器、１２……コンパレータ、１３
……トランジスタ、１４……リレー、１４ａ，１
４ｂ……スイツチ、６′……逆相増幅器。
電流、共振周波数）と周囲気体圧力との関係を示
す図、第２図は本発明の対象である水晶式気体圧
力計の電子回路ブロツク図、第３図はメータ駆動
電圧と周囲気体圧力との関係を示す図、第４図は
前記水晶振動子を駆動する電圧とその共振抵抗と
の関係を示す図、第５図は本発明の実施例を示す
図である。 １……周波数可変発振器、２……増幅器、３…
…位相比較器、４……低減濾波器、５……水晶振
動子、６……主増幅器、７……整流器、８……イ
ンバータ、９……バツフア、１０……メータ、１
１……正相増幅器、１２……コンパレータ、１３
……トランジスタ、１４……リレー、１４ａ，１
４ｂ……スイツチ、６′……逆相増幅器。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 少なくとも、周波数可変発振器、位相比較
器、低域通過濾波器、増幅器より成るフエーズ・
ロツクド・ループ回路（PLL回路）部と、前記
周波数可変発振器に接続された水晶振動子と、前
記PLL回路部に接続された表示変換回路部と、
前記表示変換回路部に接続された表示部とを有
し、前記水晶振動子の共振抵抗値、又は共振電流
値、又は共振電圧値から、前記水晶振動子の周囲
気体の圧力を測定する水晶式気体圧力計におい
て、 前記表示部に印加される電圧をある一定の気体
圧力値に対応して定めた基準電圧と比較する比較
器、前記比較器の出力電圧によつて駆動されるス
イツチ、前記スイツチによつて利得が切り換えら
れるとともに切り換え前後で利得の積が変化しな
いように設置された、１個は前記水晶振動子を駆
動し、他の１個は前記水晶振動子の共振電流を増
幅する２個の増幅器、とによつて構成されること
を特徴とする水晶式気体圧力計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP243785A JPS61161432A (ja) | 1985-01-10 | 1985-01-10 | 水晶式気体圧力計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP243785A JPS61161432A (ja) | 1985-01-10 | 1985-01-10 | 水晶式気体圧力計 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61161432A JPS61161432A (ja) | 1986-07-22 |
| JPH0380253B2 true JPH0380253B2 (ja) | 1991-12-24 |
Family
ID=11529243
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP243785A Granted JPS61161432A (ja) | 1985-01-10 | 1985-01-10 | 水晶式気体圧力計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61161432A (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2593324B2 (ja) * | 1987-12-04 | 1997-03-26 | 株式会社長野計器製作所 | 気体圧力計 |
| JP2526987B2 (ja) * | 1988-05-17 | 1996-08-21 | 横河電機株式会社 | 振動式トランスデュ―サ |
| CN106123940A (zh) * | 2015-05-05 | 2016-11-16 | 北京康智乐思网络科技有限公司 | 一种数据采集装置及采集方法 |
-
1985
- 1985-01-10 JP JP243785A patent/JPS61161432A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61161432A (ja) | 1986-07-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| EXPY | Cancellation because of completion of term |