JPH0380532A

JPH0380532A - ウェーハ支持ボートの寸法自動制御装置

Info

Publication number: JPH0380532A
Application number: JP2053890A
Authority: JP
Inventors: Jean-Pierre Doeuvre; ジャン―ピエール　ドウブル; Guy Mascarin; ギ　マスカラ
Original assignee: Gouvernement de la Republique Francaise
Current assignee: Gouvernement de la Republique Francaise
Priority date: 1989-03-07
Filing date: 1990-03-07
Publication date: 1991-04-05
Also published as: FR2644237B1; EP0387164A1; FR2644237A1; US4996436A

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】この発明は、集積回路の製造装置に関するものであり、
この製造分野では多数の処理工程を実行すると共に、ウ
ェーハ支持ボート上のウェーハを複数のバッチにグルー
プ化する集積回路の製造装置に関する。

これらのウェーハ支持ボートは、プロセス装置（オーブ
ン、反応装置等）に搬入され、かつつ工−ハを第１のウ
ェーハ支持ボートから第２のつ工−ハ支持ボートへ自動
的に転送する装置と適合可能なものでなければならない
。

従って、第１にウェーハが挿入されるプロセス装置にウ
ェーハを正しく配置するために、第２に転送装置がウェ
ーハを取り上げる際、又は下に置く際に、転送装置がウ
ェーハを破損しないようにするために、ウェーハ支持ボ
ートの寸法は正確であることが肝要である。

従来、これらの寸法を制御するために、ウェーハの製造
者は、可能な限り慎重にこれらウェーハの製造処理を実
行し、製造した種々の寸法のボートを個別的に、かつ独
立して手動測定していた。

この発明の目的は、ウェーハ支持ボートの寸法を自動的
に制御するウェーハ支持ボートの寸法自動制御装置を提
供することにある。

（発明の概要）この発明は、前記目的を達成するために、つ工−ハ支持
ボートにより保持されたウェーハを前記ウェーハ支持ボ
ートの特定の少なくとも２つの端面から所定の距離に配
置させるように、前記ウェーハ支持ボートの寸法を制御
するウェーハ保持ボートの寸法自動制御装置を提供する
ものであって、傾斜した平面と、２つの基準面と、前記ウェーハ支持ボートを前記傾斜した平面に配置した
ときに、前記傾斜した平面上を滑走して通常は前記基準
面に当接するように配列された案内手段と、所定の位置にウェーハを保持する複数の溝をその面に沿
って伸延させるように、配列された少なくとも一つの基
準溝部を有する少な（とも一つのプレートとを備えてい
る。

従って、前記端面が前記基準面の当接している場合に、
前記ウェーハ支持ボートの寸法が前記基準面と前記基準
溝との間の相対距離により決定される基準に対応すると
きにのみ、ウェーハをその支持溝及び基準溝の部分に挿
入可能である。

好ましいものとして、この発明のウェーハ支持ボートの
寸法自動制御装置は、前記基準面に対する端面の保持を
検出し、かつ前記基準面へのつ工−ハの挿入を検出する
挿入検出手段とを備えている。

前記当接検出手段は前記端面が当接する点で前記基準面
と高さが揃う押ボタン・スイッチからなるものでもよい
。

前記挿入検出手段は光検出器と、前記基準溝の両端に配
列された受光器とのアッセンブリから構成される。

好ましいものとして、この発明の寸法自動制御装置は、
電源手段を有し、携帯可能かつ独立した装置の形式で製
造される。

この発明の以上及び他の目的、特徴及び効果は付図に示
す好ましい実施例についての以下の詳細な説明から明ら
かである。

（好ましい実施例の説明）第１図は、集積回路の製造工業において用いられるこの
発明のウェーハ支持ボートの典型的な一実施例を示す。

石英のウェーハ支持ボートには、４本の棒１．２．３及
び４が設けられている。これらの棒１．２．３及び４は
、Ｕ字形の２つのボート５及び６へ各端を固定すること
によりアッセンブルされている。ボート５及び６の上部
には把手７及び８が設けられている。

棒１．２．３及び４には、その方向に対して垂直かつ隣
接した複数の平行な面に沿ってそれぞれ溝１１．１２．
１３．１４が設けられ、ウェーハ１５を垂直に保持する
ようにしている。ウェーハ１５を垂直方向に所定の角度
で保持するように、これらの溝１１゜１２．１３．１４
の面を配列することが可能なことも理解されるであろう
。

溝１１．１２．１３．１４の面、即ち、ウェーハ１５を
ボート内に保持すべき位置は、ボートの本体に関連する
基準点、例えば第１に端面２１及び２２に対して、第２
に棒２及び３の端面２３及び２４に対して正確に決定さ
れなければならない。

この位置決めは、いくつかの応用の場合、例えば第１の
ボートから第２のボートに自動的に転送する場合に正確
でなければならない。この場合には、把手装置がボート
に搭載されている一組、数組又は全組のウェーハを掴ん
で、これを１以上の他のボートに挿入する。もし、種々
のボートの種々の溝の相対位置が正確に解っていないと
きは、転送装置は設置するボート（複数のボート）につ
工−ハを誤って配置することなり、ウェーハを破損させ
たり、落下させる原因ともなる。

従って、この発明では、ボートの寸法を制御する装置を
備えている。制御されるべきボートが例えば第１図に示
すような特定の場合の装置におけるこの発明の装置を第
２図〜第５図に示す。第２図〜第５図では、同一の要素
を同一の参照番号により表わしている。

この装置は箱３０を有する。箱３０には、傾斜した平面
３１及び支持面３２を有するＬ字形のプレートが搭載さ
れている。パッド３４は傾斜した平面３１から突起して
おり、ボートの下側の棒２及び３を確実に案内するよう
に設計されている。これら下側の棒２及び３を概要的に
第４図及び第５図に示す。

押ボタン検出器４０のコンタクト４１の縁は、棒２及び
３の端面（基準面）が当接する位置で支持面３２を貫通
している。これらの押ボタン検出器４０の検出感度は通
常的１／１０ｍｍである。これによって、押ボタン検出
器４０は、パッド３４により位置決めされている棒２及
び３がコンタクト４１に適正に当接しているか否かを検
出することができる。ボートが正しく配置されたときに
必要なのは、溝の面が前記基準面から正しい距離（所定
の許容誤差内で）配置されているか否かを判断するだけ
でである。この判断は、実際の場合に、溝の面間の距離
が多数ホイールの鋸を用いて全ての溝を同時に形成する
ことにより高精度で得られるので、一つの溝の面につい
てのみ実行される。

従って、この発明は、前記基準面と溝を保持している全
組のウェーハの面との間の寸法の精度を判断するために
、図示のような形式でプレート５０を設けている。この
プレート５０には開口が設けられている。この開口は、
特定のボートを制御することにより、前述のように支持
面３２に対して配置し、かつ滑走することができるよう
にしている。

プレート５０は切り込まれ、溝５１が設けられている。

溝５１は、第５図に示すように、ボートを正しく配置し
たときには、棒ｌ、２．３及び４の溝に対応するので、
ウェーハを同時にボートの溝１１．１２．１３及び１４
に、かつプレート５０の溝５１の部分（複数の部分）に
挿入することができる。このボートの基準面に対する対
象の棒１．２．３及び４の溝の面の位置決めが所定の基
準を満足しないときは、つ工−ハが棒１．２．３．４又
はプレート５０の突起部に当接するので、ウェーハを挿
入することができない。

更に、この発明には、ボートの溝及びプレート５０にウ
ェーハを正しく配置したことを表示する検出手段５３が
設けられている。この検出手段５３は光電式のものであ
り、例えばフォトダイオードと、互いに揃えられたフォ
トトランジスタとを備えている。

要するに、この発明による装置は、特殊な機械的な構造
と、３つの検出器とを備え、そのうちの２つの検出器が
ボートの正しい位置決めを判断し、他の一つがウェーハ
の挿入を判断するものである。

このような検出器が入手可能ならば、エレクトロニクス
、論理回路及び表示装置の分野に習熟する者には、適当
な表示を考えることができる。例えば表示ランプ６１〜
６２を備え、表示ランプ（６１〜６３）が正しく動作し
たとき（即ち、押ボタン４１を押したとき、及びウェー
ハが発光ダイオードとフォトダイオードとの間の経路を
遮断したとき）、各検出器の点灯と関連させることがで
きる。故障の検出のために、付加的な表示ランプを関連
させてもよい。即ち、前記表示ランプのうちの一つを非
点灯とすることである。更に、表示ランプの正しい動作
を制御する試験制御６５を設けてもよい。

勿論、この発明は、当該分野に習熟する者に明らかな多
数の変形及び修飾が可能である。この発明による装置は
、特定のボートの部分及び特定の基準面の位置決めにつ
いて説明された。このようなボートは、２以上の基準面
を備えることができることは明らかである。これらの基
準面は同一レベルにある必要はなく、一方を他方に対し
てずらしてもよく、又は一方が他方に対して傾斜した面
となる。この場合には、一つの面の代りに支持面を正２
面体とすることができる。

同様に、試験するボートを置く傾斜した平面を説明した
が、この発明はボートを押す水平な滑走面を設けること
もできる。

更に、この発明による装置は、独立した装置の形式で、
例えばバッテリ及び必要とする全ての論理回路を含む箱
３０により容易に実施可能なことに注意すべきである。

（発明の効果）この発明の装置における効果の一つとして、その設計が
極めて簡単であり、かつ複雑でない軽い携帯装置の形式
により低価格で製造可能である。

従って、この発明の装置は、ウェーハ支持ボートを使用
する前に、ウェーハ製造者又は前記ウェーハ支持ボート
を制御したい集積回路の製造者が利用することができ、
従って製造している全体のバッチを損失することがない
。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明によるボートの斜視図、第２図はこの
発明による装置の第３図の線Ａ−Ａから見た簡単な側断
面図、第３図はこの発明による装置の平面図、第４図はこの発
明による第２図の装置を矢印Ｂから見た図、第５図はこの発明による第２図の装置を線Ｃ−Ｃから見
た断面図である。１１．１２．１３．１４．５１・・・溝３１・・・傾斜
した平面、３２・・・支持面、３４・・・パッド、４０・・・押ボタン検出器、４１・・・押ボタン、５０・・・面、５３・・・検出手段、６１〜６４・・・表示ランプ、６４・・・表示ランプ。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）ウェーハ支持ボートの特定の少なくとも２端面か
ら所定の距離に、支持ボートにより保持されたウェーハ
の寸法を配置させるようにウェーハ保持ボートの寸法を
制御するウェーハ保持ボートの寸法自動制御装置におい
て、傾斜した平面（３１）と、２つの基準面（３２）と、前記ウェーハ支持ボートを前記傾斜した平面に配置した
ときに、前記傾斜した平面上を滑走して前記端面が通常
は前記基準面に当接するように配列された案内手段（３
４）と、所定の位置にウェーハを保持する複数の溝をその面に沿
って伸延させるように、配列された少なくとも一つの基
準溝の部分（５１）を有する少なくとも一つのプレート
（５０）とを備え、前記端面が前記基準面の当接している場合に前記ウェー
ハ支持ボートの寸法が前記基準面と前記基準溝との間の
相対距離により決定される基準に対応するときにのみ、
その支持溝及び基準溝の部分部に挿入可能にしたことを
特徴とするウェーハ支持ボートの寸法自動制御装置。
（２）請求項１記載のウェーハ支持ボートの寸法自動制
御装置において、前記基準面に対する前記端面の当接を
検出する当接検出手段（４０、４１）と、前記基準面に
ウェーハを挿入したことを検出する挿入検出手段（５３
）とを備えていることを特徴とするウェーハ支持ボート
の寸法自動制御装置。
（３）請求項２記載のウェーハ支持ボートの寸法自動制
御装置において、前記当接検出手段は前記端面が当接す
る点で前記基準面と高さが揃う押ボタン・スイッチによ
り構成されたことを特徴とするウェーハ支持ボートの寸
法自動制御装置。
（４）請求項２記載のウェーハ支持ボートの寸法自動制
御装置において、前記挿入検出手段は光検出器と前記基
準溝の両端に配列された受光器とを有することを特徴と
するウェーハ支持ボートの寸法自動制御装置。
（５）請求項２記載のウェーハ支持ボートの寸法自動制
御装置において、各前記当接検出手段及び前記挿入検出
手段には表示ランプ（６１〜６３）が接続されているこ
とを特徴とするウェーハ支持ボートの寸法自動制御装置
。
（６）請求項５記載のウェーハ支持ボートの寸法自動制
御装置において、付加的な表示ランプ（６４）を備え、
他の３つの表示ランプと相補的に動作することを特徴と
するウェーハ支持ボートの寸法自動制御装置。
（７）請求項１記載のウェーハ支持ボートの寸法自動制
御装置において、電源手段を備え、携帯可能かつ独立し
た装置の形式で製造されていることを特徴とするウェー
ハ支持ボートの寸法自動制御装置。
（８）請求項１記載のウェーハ支持ボートの寸法自動制
御装置において、前記ウェーハ支持ボートは４つの平行
な棒を備え、前記棒はその棒に垂直な連続面に従って配
列された、ウェーハを挿入する溝を有し、前記棒の２つ
の縁は前記端面に対応すると共に、前記案内手段は前記
傾斜した平面上に備えられ、前記棒をその軸に平行に滑
走させるパッド（３４）であることを特徴とするウェー
ハ支持ボートの寸法自動制御装置。