JPH0381730A - 液晶表示パネルの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔概　要〕 液晶表示パネルの製造方法、特にラビング処理およびそ
の後の洗浄工程に関し、 配向処理工程においてゴξが付着することによる歩留り
低下を防止することを目的・とし、基板上に形成した配
向膜表面にラビング処理を施した後、該配向膜表面を、
洗浄液を流しながら前記ラビング処理方向と同一方向に
スクラブ処理を施す工程を含む構成、及び、基板上に形
成した配向膜表面を、洗浄液を流しながら所定方向にス
クラブ処理を施すことにより、前記配向膜表面の洗浄と
配向処理とを同時に施す工程を含む構成とする。

〔産業上の利用分野〕

本発明は、液晶表示パネルの製造方法、特にラビング処
理およびその後の洗浄工程に関する。

現在、液晶の配向処理方法として広く適用されているラ
ビング処理法では、基板表面にゴξが付着する等の問題
があり、より清浄な配向処理方法あるいは配向処理に悪
影響を与えない効果的な洗浄方法の出現を強く望まれて
いる。

〔従来の技術〕

従来の配向膜のラビングおよびその後の洗浄方法は、ま
ず最初に、レーヨン、ナイロン等の繊維よりなるラビン
グロールにより、配向膜表面を一方向に配向処理し、そ
の後にウェット洗浄を行なうのが一般的である。

ここで接触方式の洗浄方法を用いず、非接触方式のウェ
ット洗浄を行なうのは、接触方式の洗浄を行なうと、配
向膜表面をこするため、前工程のラビング処理で規定し
た配向方向を乱してしまうためである。

従って、このウェット洗浄法としては、ラビング処理に
よる配向処理に悪影響を及ぼさないように、エアーによ
るバブリング洗浄、超音波洗浄などの非接触方式の洗浄
方法を用いている。

上述したような非接触型の洗浄法は、基板に付着したゴ
ミの除去率は、接触型の洗浄より一般に劣ることが知ら
れている。

〔発明が解決しようとする課題〕

従って従来の製造工程では、配向処理時に基板表面に付
着したゴミによる短絡、ギャップ厚異常等の不良が発生
し、しかもそれは製造現場および製造プロセスの清浄度
に対応している。

本発明は、配向膜表面を、配向処理に悪影響を及ぼすこ
となく接触方式の洗浄を可能にすることを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

本発明を第１図（ａ）、　（ｂ）により説明する。

同図（ａ）に示すように、基板１上に形成した配向膜表
面に、矢印Ｉで示す方向にラビング処理を施したとする
。

ラビング処理を終了した後の洗浄工程では、第１図（ｂ
）に示す如く、水のような洗浄液を流しながら、この配
向膜表面に上記ラビング処理と同一方向にスクラブ処理
を行なう。

スクラブ処理とは、ブラシや布、或いはスポンジのよう
なもので、配向膜表面をこすることを言う。本発明では
、スクラブ処理でこする方向を、前述のラビング処理方
向と同一とする。

それには、洗浄ロール２の表面に例えばスポンジを巻き
つけ、これを洗浄ブラシ３とし、洗浄ロール２の軸方向
に直交する方向を上記ラビング処理方向（図の矢印■〉
と−敗させ、この状態で上記洗浄ロール２を矢印■の方
向に回転させて・上記回転するスポンジで配向膜表面を
スクラブ処理する。

これでスポンジ３が配向膜表面をこする方向は、ラビン
グの方向と一致する。そこで、基板１を洗浄ロール２に
対して、矢印■の方向に相対的に移動させる。

このようにすると、配向膜表面に付着していたゴξは、
スポンジ３でこすりとられ、流水とともに流れ去り、し
かもスポンジ３でこする方向は、矢印■の方向となり、
ラビング方向（矢印■）と一致する。

〔作　用〕

上述した如く、スクラブ処理は配向膜表面をこするので
、ラビングを施したのと同じように配向方向を規定する
効果を有する。しかし本発明では、上述したようにスク
ラブ処理の方向をラビング処理の方向を一致させたので
、スクラブ処理で規定される配向方向はラビング処理に
より規定される配向方向と一致し、ラビングによる配向
処理に悪影響を及ぼすことはない。

従って、本発明によれば、配向処理に何ら影響をおよぼ
すことなく、付着ゴくの除去を効果的に行なうことがで
き、結果として、付着ゴξによる不良を著しく低減する
ことができる。

〔実　施　例〕

以下本発明の一実施例を図面により説明する。

第２図（ａ）〜（ｄ）に本発明の一実施例での配向処理
方向とスクラブ処理方向を示す。本実施例は通常のＴＮ
型液晶（ツイスト角９０’）を用いた単純マトリクスパ
ネルに適用した例であって、第２図（ａ）、　（Ｃ１の
矢印■および■はラビング処理方向である。

本実施例ではツイスト角が９０°であるから、コモン基
板とこれに対向するセグメント基板の上記ラビング方向
は直交する。上記第２図（ａ）、　（ｂ）では、互いに
相対向する配向膜が形成された面を上側に描いであるの
で、ラビング方向は図示したように、いずれも基板ｌの
辺ＡＢと４５°で交わり・コモン基板では頂点ＡからＣ
の方に向き、セグメント基板では逆にＣの方からＡの方
に向かう向きとなる。

本実施例は基板ｌとして３００Ｘ　２５０ｘ　１．１ｍ
ｍのものを用い、配向膜は、ポリイミド系の樹脂を転写
印刷法により、０．１　μｍの厚さで形成した。

ラビングに使用したロール材（ラビング材）はレーヨン
を用い、接触深さを４００μｍとした。スクラブ処理に
用いた洗浄ブラシ３としては、ＫＡＮＥＢＯ製ベルタリ
ン材よりなるものを用いた。

スクラブ洗浄装置には、基板が枚葉流れをするベルトコ
ンベアを用い、スクラブ用ロールをベルトコンベアの移
動方向（矢印■）に対して４５°傾けたものとした。ま
た、スクラブ時には水シヤワーが連続的に基板上に施さ
れるようにしである。

配向処理方向とほぼ同一な方向で基板面をこするために
は、基板ｌの移動スピードが洗浄ブラシ３の回転スピー
ドに比較し、無視できる程度であればよい。そこで本実
施例では、洗浄ロールの径を５０ｍｍとし、基板移動速
度５ｍｍ／ｓ、ロール回転速度３００ｒ、ｐ、ｍとし、
２度スクラブを行なった。

本実施例の効果を、従来方法で作製したものと比較して
第３図に示す。比較試料は、イソプロピルアルコールに
よる超音波洗浄を１０分×２度行なったものである。こ
の従来方法で作製した試料と、本実施例で作製した液晶
表示パネルとも、ギャップ厚は５μｍで、１０パネルを
１０ツトとして、各６０ツトずつ作製した。

これを上下基板間の短絡について評価したところ、本実
施例では白丸で示すように、合計６０枚のパネル中、不
良は僅か１枚であったのに対し、従来方法で作製した試
料では、黒丸で示す如く、不良は各ロフトとも２０％前
後発生し、全体で１１枚が不良となった。

このように　本発明の効果は著しく、また配向状態につ
いては、本実施例と従来方法との間で、全く差は認めら
れなかった。

上記一実施例ではラビング処理の後、スクラブ処理によ
る洗浄を行なったが、これに変えて、スクラブ処理自体
が配向処理能力を有することを利用して、特にラビング
処理を行なわずにスクラブ処理のみを行うようにするこ
ともできる。

この場合には、スクラブ処理が、配向処理と洗浄とを兼
ねることとなる。

以上のべた如く本発明では、配向処理に影響を及ぼすこ
とでなく、接触方式の洗浄方法であるスクラブ処理が可
能となり、ゴξを効果的に除去することができた。

〔発明の効果〕

以上説明した如く本発明によれば、付着したゴミを配向
処理に悪影響を及ぼすことなく、効果的に除去すること
が可能となり、清浄度の高い配向処理工程が可能となり
、液晶表示パネルの製造歩留りが向上する。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の原理説明図、 第２図は本発明の詳細な説明図、 第３図は本発明の効果説明図である。 図において、ｌは基板、２は洗浄ロール、３は洗浄ブラ
シ、１．ＩＶ、Ｖはラビング処理方向、■は洗浄ロール
の回転方向、■は基板の移動方向を示す。 手擺明ハ原社欽明開 （Ｑｌ （Ｑ 半４をロ月百−史、ｍ窪利を紀口Ｒ図 纂２図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）基板上に形成した配向膜表面にラビング処理を施
   した後、該配向膜表面を、洗浄液を流しながら前記ラビ
   ング処理方向と同一方向にスクラブ処理を施す工程を含
   むことを特徴とする液晶表示パネルの製造方法。
2. （２）基板上に形成した配向膜表面を、洗浄液を流しな
   がら所定方向にスクラブ処理を施すことにより、前記配
   向膜表面の洗浄と配向処理とを同時に施す工程を含むこ
   とを特徴とする液晶表示パネルの製造方法。