JPH0383384A - パルスレーザ装置 - Google Patents
パルスレーザ装置Info
- Publication number
- JPH0383384A JPH0383384A JP22001589A JP22001589A JPH0383384A JP H0383384 A JPH0383384 A JP H0383384A JP 22001589 A JP22001589 A JP 22001589A JP 22001589 A JP22001589 A JP 22001589A JP H0383384 A JPH0383384 A JP H0383384A
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- Japan
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- diode
- charge
- laser device
- discharge electrode
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、パルスレーザ装置に関するものである。
〔従来の技術］
第３脚は例えば特開昭６１−１３５１７６号公報に記載
された従来の放電励起パルスレーザ装はを示す。
された従来の放電励起パルスレーザ装はを示す。
図において、（１）は放電回路のスイッチとして用いる
サイラトロン、（２）は充電用のコンデンサ、（３）は
ピーキングコンデンサ、＋４１＋５１は予備電離用の補
助１１極、（６）は補助電極１４＋ １５）間に発生す
る予備電離用の放電であり、１１１ ｔ２＋ １３ン１
４１ ＋６１ ＋５１で閉ループ回路を構成している。
サイラトロン、（２）は充電用のコンデンサ、（３）は
ピーキングコンデンサ、＋４１＋５１は予備電離用の補
助１１極、（６）は補助電極１４＋ １５）間に発生す
る予備電離用の放電であり、１１１ ｔ２＋ １３ン１
４１ ＋６１ ＋５１で閉ループ回路を構成している。
（７１１８１はレーザ発振用の主放電電極で（９）は主
放電電極間に発生する主放電であり、 ＋３１（７＋＋
９１ （８１（５） ＋６１ ＋４１で１つの閉ループ
回路を形成している。
放電電極間に発生する主放電であり、 ＋３１（７＋＋
９１ （８１（５） ＋６１ ＋４１で１つの閉ループ
回路を形成している。
ｔｌｏｌは充電用コンデンサ（２）を充電するための高
電圧電源、０１）と＋１２１は充電用コンデンサ（２）
を充電するための経路となるリアクトルであり、 （１
０） ｔｉｌ＋ １２１ （１２１で閉ループ回路とな
る。
電圧電源、０１）と＋１２１は充電用コンデンサ（２）
を充電するための経路となるリアクトルであり、 （１
０） ｔｉｌ＋ １２１ （１２１で閉ループ回路とな
る。
次に動作について説明する。まず高電圧用電源（１Ｇよ
りリアクトルａｎ ｏを通して充電用コンデンサ（２）
を充電する。充電後、サイラトロンスイッチ（１）を点
弧すると、充電用コンデンサ（２）に蓄えられた電荷は
、補助電極１４１ ＋５１間に予備を部用放電（６）を
起こし、ピーキングコンデンサ（３）に転送される。ピ
ーキングコンデンサ（３）に電荷が転送されると、主放
電電極＋７） （８１間の電圧が上昇し、放電開始電圧
に到達後に主放電（９）が起こり、レーザが発振する。
りリアクトルａｎ ｏを通して充電用コンデンサ（２）
を充電する。充電後、サイラトロンスイッチ（１）を点
弧すると、充電用コンデンサ（２）に蓄えられた電荷は
、補助電極１４１ ＋５１間に予備を部用放電（６）を
起こし、ピーキングコンデンサ（３）に転送される。ピ
ーキングコンデンサ（３）に電荷が転送されると、主放
電電極＋７） （８１間の電圧が上昇し、放電開始電圧
に到達後に主放電（９）が起こり、レーザが発振する。
従来のパルスレーザ装置においては、レーザ発振用もピ
ーキングコンデンサ（３）に放電により消費されなかっ
た残留電荷があるため、第２図（ａ）の余祿部の電圧が
レーザ発振後の主放電電極間＋７） １８１１／ｉ逆電
圧として印加される。これが主放電電極間パアーク放電
を引き起こし、電極の消耗を促進すＺという悪影響があ
った。これは１例えばエキシマレーザのように放電抵抗
の低いレーザにおいて諺著に現れる。
ーキングコンデンサ（３）に放電により消費されなかっ
た残留電荷があるため、第２図（ａ）の余祿部の電圧が
レーザ発振後の主放電電極間＋７） １８１１／ｉ逆電
圧として印加される。これが主放電電極間パアーク放電
を引き起こし、電極の消耗を促進すＺという悪影響があ
った。これは１例えばエキシマレーザのように放電抵抗
の低いレーザにおいて諺著に現れる。
この発明は上記のような問題点を解消するた絋になされ
たもので、レーザ発振後ピーキングコンデンサに残留す
る電荷を放電主電極以外に逃がし残留電荷による主放電
電極の消耗を防止し、電極寿命の長いパルスレーザ装置
を得ることを目的とする。
たもので、レーザ発振後ピーキングコンデンサに残留す
る電荷を放電主電極以外に逃がし残留電荷による主放電
電極の消耗を防止し、電極寿命の長いパルスレーザ装置
を得ることを目的とする。
この発明に係るパルスレーザ装置は主放電電極＋７１
＋８１の両端にダイオードを接続したもので、主放電電
極の陽極にダイオードのカソードを、主放電電極の陰極
にダイオードの陽極を接続したものである。
＋８１の両端にダイオードを接続したもので、主放電電
極の陽極にダイオードのカソードを、主放電電極の陰極
にダイオードの陽極を接続したものである。
この発明におけるダイオードは主放電電極＋７１１８１
に主放電（９）が発生後にピーキングコンデンサ（２）
に残った電荷により、ピーキングコンデンサ（３）の電
荷反転で主放電電極（７１（８１に逆電圧が印加される
とき、ピーキングコンデンサ（３）の残留電荷を主放電
電極（７１（８＋に通さず、ダイオードによりバイパス
して、主放電電極間に不要なアーク放電が発生するのを
防止する。
に主放電（９）が発生後にピーキングコンデンサ（２）
に残った電荷により、ピーキングコンデンサ（３）の電
荷反転で主放電電極（７１（８１に逆電圧が印加される
とき、ピーキングコンデンサ（３）の残留電荷を主放電
電極（７１（８＋に通さず、ダイオードによりバイパス
して、主放電電極間に不要なアーク放電が発生するのを
防止する。
以下、この発明の一実施例を図について説明する。第１
図において、（１）〜０は従来と同様である。
図において、（１）〜０は従来と同様である。
（２）は主放電電極（７１（８１の両端に接続されたダ
イオードであり、放電電極の陽極にダイオードのカソー
ドを、放電電極の陰極にダイオードの陽極を接続する。
イオードであり、放電電極の陽極にダイオードのカソー
ドを、放電電極の陰極にダイオードの陽極を接続する。
図において、充電用コンデンサ（２）にプラスの電圧に
より充電するので、図のような向きとなる。これは（３
１（１３（５） （６＋ ＋４１で閉ループ回路を構成
する。
より充電するので、図のような向きとなる。これは（３
１（１３（５） （６＋ ＋４１で閉ループ回路を構成
する。
次に動作について説明する。まず高電圧用電源ａｒＪよ
りリアクトルＯＩＪ ０２を通して充電用コンデンサ（
２）を充電する。充電後、サイラトロンスイッチ（１）
を点弧すると、充電用コンデンサ（２）に蓄えられた電
荷は、補助電極＋４１ （５）間に予備電離用放電（６
）を起こし、ピーキングコンデンサ（３１に転送される
。ピーキングコンデンサ（３）に電荷が転送されると、
主放電電極（７１＋８１間の電圧が上昇し、放電開始電
圧に到達後主放電（９）が起こり、レーザが発振する。
りリアクトルＯＩＪ ０２を通して充電用コンデンサ（
２）を充電する。充電後、サイラトロンスイッチ（１）
を点弧すると、充電用コンデンサ（２）に蓄えられた電
荷は、補助電極＋４１ （５）間に予備電離用放電（６
）を起こし、ピーキングコンデンサ（３１に転送される
。ピーキングコンデンサ（３）に電荷が転送されると、
主放電電極（７１＋８１間の電圧が上昇し、放電開始電
圧に到達後主放電（９）が起こり、レーザが発振する。
このときピーキングコンデンサ（３）の大部分の電荷は
主放電により消費されるが、多少消費されずに残る電荷
がピーキングコンデンサ（３）にある。しかし。
主放電により消費されるが、多少消費されずに残る電荷
がピーキングコンデンサ（３）にある。しかし。
本発明においては主放電電極１７１１８＋にダイオード
α３が接続しであるため、ピーキングコンデンサ（３）
の残留電荷によりピーキングコンデンサ（３）の電荷が
反転し、主放電電極（７） ｆ８）に逆電圧が印加され
ようとすると、ダイオード０３が電荷を流して、第２図
１ｂｌのような電圧波形となる。したがって、主放電電
極１７１ ＋８１に逆電圧が印加されるのを防ぐため、
アーク発生がなくなり、電極の不要な消耗かなくなるた
め電極の寿命を長くすることができる。
α３が接続しであるため、ピーキングコンデンサ（３）
の残留電荷によりピーキングコンデンサ（３）の電荷が
反転し、主放電電極（７） ｆ８）に逆電圧が印加され
ようとすると、ダイオード０３が電荷を流して、第２図
１ｂｌのような電圧波形となる。したがって、主放電電
極１７１ ＋８１に逆電圧が印加されるのを防ぐため、
アーク発生がなくなり、電極の不要な消耗かなくなるた
め電極の寿命を長くすることができる。
なお、上記実施例では予備電離方式として、予備１［１
１！Ｉ！ピンを補助電極として用いたＵＶ予備電離方式
を示したが、予備電離の方式は何でもよく、例えばコロ
ナ放電を発生する棒を主電極ギャップ両横に平行に配置
したコロナ予備電離方式、主電極の片方が蜂巣状に穴の
おいている沿面コロナ予備電離方式でもよい。またＸ線
を予備電離源として用いた場合も同様である。
１！Ｉ！ピンを補助電極として用いたＵＶ予備電離方式
を示したが、予備電離の方式は何でもよく、例えばコロ
ナ放電を発生する棒を主電極ギャップ両横に平行に配置
したコロナ予備電離方式、主電極の片方が蜂巣状に穴の
おいている沿面コロナ予備電離方式でもよい。またＸ線
を予備電離源として用いた場合も同様である。
また上記実施例ではサイラトロンスイッチを用いたが、
これの変わりに固体半導体素子を用いた場合５この場合
電圧パルスの立上りを速くする為磁気パルス圧縮回路を
入れている場合であってもよく、上記実施例と同様の効
果を奏する。
これの変わりに固体半導体素子を用いた場合５この場合
電圧パルスの立上りを速くする為磁気パルス圧縮回路を
入れている場合であってもよく、上記実施例と同様の効
果を奏する。
また、上記実施例において主放電電極両端に接続するダ
イオードと直列に抵抗を挿入した場合も同様の効果を奏
する。
イオードと直列に抵抗を挿入した場合も同様の効果を奏
する。
以上のようにこの発明によれば、主放電電極にダイオー
ドを接続したので、ピーキングコンデンサの残留電荷の
影響を摩り除くことができるため、主放電ｍ８ｊｉに発
生するレーザ発振後のアークがなくなり、電極の不要な
消耗を防ぐことができる。
ドを接続したので、ピーキングコンデンサの残留電荷の
影響を摩り除くことができるため、主放電ｍ８ｊｉに発
生するレーザ発振後のアークがなくなり、電極の不要な
消耗を防ぐことができる。
第１図はこの発明の一実施例を示すパルスレーザ装置の
構成図、第２図（ａ）はこの発明による主放電電極間の
電圧を示す説明図、第２５！Ｊ（ｂｌは従来の構成によ
る主放電電極間の電圧を示す説明図、第３図は従来のパ
ルスレーザ装置の構成図である。 図において、（２）は充電用コンデンサ、（３）はピー
キングコンデンサ、 ＋７１＋８１は主放電電極、０３
はダイオードである。 なお、各図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。
構成図、第２図（ａ）はこの発明による主放電電極間の
電圧を示す説明図、第２５！Ｊ（ｂｌは従来の構成によ
る主放電電極間の電圧を示す説明図、第３図は従来のパ
ルスレーザ装置の構成図である。 図において、（２）は充電用コンデンサ、（３）はピー
キングコンデンサ、 ＋７１＋８１は主放電電極、０３
はダイオードである。 なお、各図中、同一符号は同−又は相当部分を示す。
Claims (1)
- （１）放電励起形のパルスレーザ装置において、主放電
電極両端にダイオードを接続し、上記主放電電極の陽極
に上記ダイオードのカソードを、上記主放電電極の陰極
に上記ダイオードの陽極を接続したことを特徴とするパ
ルスレーザ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22001589A JPH0383384A (ja) | 1989-08-25 | 1989-08-25 | パルスレーザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22001589A JPH0383384A (ja) | 1989-08-25 | 1989-08-25 | パルスレーザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0383384A true JPH0383384A (ja) | 1991-04-09 |
Family
ID=16744598
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22001589A Pending JPH0383384A (ja) | 1989-08-25 | 1989-08-25 | パルスレーザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0383384A (ja) |
-
1989
- 1989-08-25 JP JP22001589A patent/JPH0383384A/ja active Pending
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