JPH0383898A - 逆流防止機構付き有機金属原料供給装置 - Google Patents
逆流防止機構付き有機金属原料供給装置Info
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- JPH0383898A JPH0383898A JP22136989A JP22136989A JPH0383898A JP H0383898 A JPH0383898 A JP H0383898A JP 22136989 A JP22136989 A JP 22136989A JP 22136989 A JP22136989 A JP 22136989A JP H0383898 A JPH0383898 A JP H0383898A
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Landscapes
- Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は有機金属を気相成長する方法に用いて有益なる
逆流防止機構付き有機金属原料供給装置に関する。
逆流防止機構付き有機金属原料供給装置に関する。
（従来の技術）
従来、有機金属を気相成長する方法（以下、ＭＯＶＰＥ
法と略称する）に用いられる従来の装置は第２図に示す
ように構成されている。
法と略称する）に用いられる従来の装置は第２図に示す
ように構成されている。
有機金属バブラ１９０内には有機金属１８０が入れられ
、ガス入口配管の先端は有機金属液中に浸り、ガス出口
配管の先端は有機金属液面よりも上に位置する。
、ガス入口配管の先端は有機金属液中に浸り、ガス出口
配管の先端は有機金属液面よりも上に位置する。
有機金属原料供給時は、バルブ１２０は閑、バルブ１０
０，１１０は開である。この時、インレットより導入さ
れたキャリアガスは、入口配管１６０を通り、有機金ｙ
／ｊ４１８０中でバブリングして飽和蒸気圧に達した後
、出口配管１７０を通り、メインラインから反応室に導
入される。
０，１１０は開である。この時、インレットより導入さ
れたキャリアガスは、入口配管１６０を通り、有機金ｙ
／ｊ４１８０中でバブリングして飽和蒸気圧に達した後
、出口配管１７０を通り、メインラインから反応室に導
入される。
ここで、バルブ１３０．１４０は、メインラインとベン
トラインの切り替え用である。また、有機金属原料を供
給しないときは、バルブ１２０を開、バルブ１００，１
１０を閉とし、バルブ１２０を介して、ガスをバイパス
させる。
トラインの切り替え用である。また、有機金属原料を供
給しないときは、バルブ１２０を開、バルブ１００，１
１０を閉とし、バルブ１２０を介して、ガスをバイパス
させる。
従来の構成例では５以トのように１７で、＄１１金属原
料供給の制御を行っていた。
料供給の制御を行っていた。
（発明が解決しようとする課ｔｒり
しかしながら、従来の有機金属原料供給装置には以下に
示す有機金属原料の逆流という問題点が存在する。
示す有機金属原料の逆流という問題点が存在する。
すなわち、仮に、有機金属原料供給時に下流の配管より
突発的な圧力サージが入った場合を考えてみる。この時
、バルブの開閉状態は、前述の通り、バルブ１２０が閉
で、バルブ１００，１１０が開である。また、入口配管
内の有機金属液面は、入口配管の先端にある。
突発的な圧力サージが入った場合を考えてみる。この時
、バルブの開閉状態は、前述の通り、バルブ１２０が閉
で、バルブ１００，１１０が開である。また、入口配管
内の有機金属液面は、入口配管の先端にある。
この状態で、出口配管１７０より圧力サージが、有機金
属バブラ１９０内に伝達されると、この圧力サージは、
有機金属液面を押し下げ、入口配管１６０中を有機金属
液面が上昇していく。
属バブラ１９０内に伝達されると、この圧力サージは、
有機金属液面を押し下げ、入口配管１６０中を有機金属
液面が上昇していく。
その結果、上流部への有機金属原料の逆流が生じ、配管
系の汚染、ひいては、成長させる結晶の品質低下を招く
ことになる。
系の汚染、ひいては、成長させる結晶の品質低下を招く
ことになる。
〈課題を解決するための手段）
前述の課題を解決するため本発明の有機金属原料供給装
置は、キャリアガス入口配管の先端が有機金属液中に浸
っており、キャリアガス出口配管の先端が有機金属液面
より上に位置する有機金属気相成長用バブラにおいて、
前記キャリアガス出口配管から前記キャリアガス入口配
管方向への通気のみ可能な逆止弁を、前記キャリアガス
入口配管と前記キャリアガス出口配管との間に設けて成
る。
置は、キャリアガス入口配管の先端が有機金属液中に浸
っており、キャリアガス出口配管の先端が有機金属液面
より上に位置する有機金属気相成長用バブラにおいて、
前記キャリアガス出口配管から前記キャリアガス入口配
管方向への通気のみ可能な逆止弁を、前記キャリアガス
入口配管と前記キャリアガス出口配管との間に設けて成
る。
（作用）
本発明の有機金属原料供給装置を第１図に示す。
バルブ１００，１１０．１２０は、第２図と同様に、キ
ャリアガスを有機金属バブラに通気するかどうかの切り
替え用バルブである。また、バルブ１５０は、出口配管
１７０から、入口配管１６０への通気のみ可能な逆止弁
である。
ャリアガスを有機金属バブラに通気するかどうかの切り
替え用バルブである。また、バルブ１５０は、出口配管
１７０から、入口配管１６０への通気のみ可能な逆止弁
である。
ここで、先はどと同様に有機金属原料供給時に、下流か
ら突発的な圧力サージが入った場合を考える。この時、
バルブの開閉状態としては、バルブ１２０が閉で、バル
ブ１００，１１０が開である。
ら突発的な圧力サージが入った場合を考える。この時、
バルブの開閉状態としては、バルブ１２０が閉で、バル
ブ１００，１１０が開である。
この状態で出口配管１７０に圧力サージが入った−とす
ると、圧力は、有機金属バブラ１９０内と逆止弁１５０
の両方にかかる。
ると、圧力は、有機金属バブラ１９０内と逆止弁１５０
の両方にかかる。
従って、有機金属液面を押し下げる様な圧力サージが出
口配管１７０に入ると同時に、逆止弁１５０を通して、
圧力サージは入口配管１６０に開放される。その結果、
有機金属の上流への逆流によるトラブルは未然に防ぐこ
とができる。
口配管１７０に入ると同時に、逆止弁１５０を通して、
圧力サージは入口配管１６０に開放される。その結果、
有機金属の上流への逆流によるトラブルは未然に防ぐこ
とができる。
（実施例〉
以下、本発明の有機金属原料供給装置を具体的な実施例
を用いて詳述する。
を用いて詳述する。
第１図において、有機金属１８０は、トリメチルアルミ
ニウムとし、キャリアガスの水素ガスをインレットより
２０３ＣＣＭの流量で供給しているとする。バブラの温
度は１８℃とし、バブラ内の圧力は、ニードル弁で、８
００ｔｏｒｒ一定に調節する。
ニウムとし、キャリアガスの水素ガスをインレットより
２０３ＣＣＭの流量で供給しているとする。バブラの温
度は１８℃とし、バブラ内の圧力は、ニードル弁で、８
００ｔｏｒｒ一定に調節する。
この状態において、有機金属原料供給待時に、何らかの
原因で、出口配管の圧力が、突発的に８００ｔｏｒｒか
ら、１０００ｔｏｒｒに上昇したと仮定する。
原因で、出口配管の圧力が、突発的に８００ｔｏｒｒか
ら、１０００ｔｏｒｒに上昇したと仮定する。
この時、逆止弁１５０の動作圧力を、例えば、出口配管
１７０が、入口配管１６０よりも３０ｔｏｒｒ以上高く
なったときに開放するようにしておけば、出口配管に入
った圧力サージは、入口配管１６０に解放され、有機金
属原料の逆流を防止することができる。
１７０が、入口配管１６０よりも３０ｔｏｒｒ以上高く
なったときに開放するようにしておけば、出口配管に入
った圧力サージは、入口配管１６０に解放され、有機金
属原料の逆流を防止することができる。
（発明の効果）
以上述べたように、本発明の有機金属原料供給装置によ
れば、下流配管からの圧力サージによる有機金属原料の
逆流を防止することができる。
れば、下流配管からの圧力サージによる有機金属原料の
逆流を防止することができる。
第１図は本発明の有機金属原料供給装置の模式図、第２
図は従来の有機金属原料供給装置の模式図である。 １００・・・入口配管開閉バルブ、１１０・・・出口配
管開閉バルブ、１２０・・・バブラバイパスバルブ、１
３０・・・メインライン開閉バルブ、１４０・・・ベン
トライン開閉バルブ、１５０・・・逆止弁、１６０・・
・入口配管、１７０・・・出口配管、１８０・・・有機
金属、１ ９０・・・有機金属バブラ。
図は従来の有機金属原料供給装置の模式図である。 １００・・・入口配管開閉バルブ、１１０・・・出口配
管開閉バルブ、１２０・・・バブラバイパスバルブ、１
３０・・・メインライン開閉バルブ、１４０・・・ベン
トライン開閉バルブ、１５０・・・逆止弁、１６０・・
・入口配管、１７０・・・出口配管、１８０・・・有機
金属、１ ９０・・・有機金属バブラ。
Claims (1)
- キャリアガス入口配管の先端が有機金属液中に浸つてお
り、キャリアガス出口配管の先端が有機金属液面より上
に位置する有機金属気相成長用バブラの前記キャリアガ
ス出口配管から前記キャリアガス入口配管方向への通気
のみ可能な逆止弁を、前記キャリアガス入口配管と前記
キャリアガス出口配管との間に設けて成ることを特徴と
する逆流防止機構付き有機金属原料供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22136989A JPH0383898A (ja) | 1989-08-28 | 1989-08-28 | 逆流防止機構付き有機金属原料供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22136989A JPH0383898A (ja) | 1989-08-28 | 1989-08-28 | 逆流防止機構付き有機金属原料供給装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0383898A true JPH0383898A (ja) | 1991-04-09 |
Family
ID=16765717
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22136989A Pending JPH0383898A (ja) | 1989-08-28 | 1989-08-28 | 逆流防止機構付き有機金属原料供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0383898A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100365569B1 (ko) * | 2000-11-23 | 2002-12-26 | 박홍규 | 오징어 낚시용 루어의 낚싯줄연결링 및 그 제작방법 |
| CN102226088A (zh) * | 2011-04-27 | 2011-10-26 | 南京大学 | 一种聚氨酯型生态固沙剂及其制备方法 |
| CN115369477A (zh) * | 2022-09-26 | 2022-11-22 | 浙江求是半导体设备有限公司 | 一种晶体生长炉复投送料装置 |
-
1989
- 1989-08-28 JP JP22136989A patent/JPH0383898A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100365569B1 (ko) * | 2000-11-23 | 2002-12-26 | 박홍규 | 오징어 낚시용 루어의 낚싯줄연결링 및 그 제작방법 |
| CN102226088A (zh) * | 2011-04-27 | 2011-10-26 | 南京大学 | 一种聚氨酯型生态固沙剂及其制备方法 |
| CN115369477A (zh) * | 2022-09-26 | 2022-11-22 | 浙江求是半导体设备有限公司 | 一种晶体生长炉复投送料装置 |
| CN115369477B (zh) * | 2022-09-26 | 2023-02-21 | 浙江求是半导体设备有限公司 | 一种晶体生长炉复投送料装置 |
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