JPH0383945U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図…本考案の実施例にかかわる基板位置決
め装置の側面図、第２図…本考案においてステー
ジ上に基板を位置決めした時の平面図、第３図…
ステージに開けた貫通孔より見た基板の角部を示
す図、第４図…従来の基板位置決め装置の側面図
、第５図…従来の基板位置決め装置においてステ
ージに基板を位置決めした時の平面図。 図において、１……フオトマスク、２……基板
、３……プツシヤー、４……ステージ、５……固
定ローラ、６……光源、７……カメラ、８，９…
…貫通孔である。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. ステージ上に載置された基板をプツシヤーによ
   り固定ローラのところまで押しやつて位置決めを
   する基板位置決め装置において、位置決めされた
   基板の角部の内少なくとも２つの角部がそれぞれ
   臨むようステージに開けられた貫通孔と、該貫通
   孔を通過する光を発する光源と、該通過した光を
   受光するカメラとを含み、該カメラで撮影される
   前記角部の辺が許容範囲に入つた時を適正位置と
   する基板適正位置検出装置を具えたことを特徴と
   する基板位置決め装置。