JPH0320439U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0320439U JPH0320439U JP7902989U JP7902989U JPH0320439U JP H0320439 U JPH0320439 U JP H0320439U JP 7902989 U JP7902989 U JP 7902989U JP 7902989 U JP7902989 U JP 7902989U JP H0320439 U JPH0320439 U JP H0320439U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sample
- holding device
- gas
- gas introduction
- sample holding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Description
第１図は本考案に係る試料保持装置の平面図、
第２図は第１図の−線による切欠き縦断面図
、第３図〜第５図は本考案に係る試料保持装置の
他の実施例を示す縦断面図、第６図は従来の試料
保持装置の縦断面図である。 １……フード、１２……保持容器、１３……ク
ツシヨン室、１０……ガス導入部、１０ａ……中
心孔、１０ｂ……延出部、Ｗ……ウエハ。
第２図は第１図の−線による切欠き縦断面図
、第３図〜第５図は本考案に係る試料保持装置の
他の実施例を示す縦断面図、第６図は従来の試料
保持装置の縦断面図である。 １……フード、１２……保持容器、１３……ク
ツシヨン室、１０……ガス導入部、１０ａ……中
心孔、１０ｂ……延出部、Ｗ……ウエハ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 保持されるべき試料と、これに対向する保持
体との隙間にガスを導入するガス導入部を有する
試料保持装置において、 前記ガス導入部を、前記試料と対向すべき前記
保持体の対向面と略平行に形成してあることを特
徴とする試料保持装置。 ２ 請求項１の試料保持装置において、 前記ガス導入部と連なり、前記対向面に沿う一
方向へのガス吹き出し量を多量とすべくなしてあ
るガス吹出口を備えてあることを特徴とする試料
保持装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7902989U JPH0320439U (ja) | 1989-07-04 | 1989-07-04 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7902989U JPH0320439U (ja) | 1989-07-04 | 1989-07-04 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0320439U true JPH0320439U (ja) | 1991-02-28 |
Family
ID=31622827
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7902989U Pending JPH0320439U (ja) | 1989-07-04 | 1989-07-04 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0320439U (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06280385A (ja) * | 1991-12-13 | 1994-10-04 | Awaa Bureen Kankyo Sekkei Kk | 連続吊り足場 |
| JPH074022A (ja) * | 1993-06-22 | 1995-01-10 | Nippon Kogyo Kensa Kk | 平面吸着保持装置 |
| WO2011027547A1 (ja) * | 2009-09-07 | 2011-03-10 | 村田機械株式会社 | 基板移載装置 |
| KR101422536B1 (ko) * | 2013-12-30 | 2014-07-24 | 김규만 | 맨홀용 사다리 및 제조방법 |
| JP2017209752A (ja) * | 2016-05-25 | 2017-11-30 | 株式会社ハーモテック | 流体流形成体及び非接触搬送装置 |
-
1989
- 1989-07-04 JP JP7902989U patent/JPH0320439U/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06280385A (ja) * | 1991-12-13 | 1994-10-04 | Awaa Bureen Kankyo Sekkei Kk | 連続吊り足場 |
| JPH074022A (ja) * | 1993-06-22 | 1995-01-10 | Nippon Kogyo Kensa Kk | 平面吸着保持装置 |
| WO2011027547A1 (ja) * | 2009-09-07 | 2011-03-10 | 村田機械株式会社 | 基板移載装置 |
| KR101422536B1 (ko) * | 2013-12-30 | 2014-07-24 | 김규만 | 맨홀용 사다리 및 제조방법 |
| JP2017209752A (ja) * | 2016-05-25 | 2017-11-30 | 株式会社ハーモテック | 流体流形成体及び非接触搬送装置 |