JPH038475A - 液状物質の塗布方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はプリント配線板の全面にレジスト皮膜を塗布す
る方法等の実施に適用する液状物質の塗布方法である。

〔従来の技術〕

従来プリント配線板の全面に絶縁性のレジスト皮膜を塗
布する場合には、印刷方式あるいはスプレィ方式等にて
塗布されている。

〔発明が解決しようとする問題点〕 しかるに、前記印刷方式の場合には、近年のプリント配
線板の高密度化に伴い、微小回路パターン間にレジスト
皮膜を塗布するのが困難となり、絶縁不良による不良品
の増加が問題となっている。

また、スプレィ方式によっても液状物質の組成によって
は高粘度となり、塗布が困難であって、前記プリント配
線板の高密度化に対応する塗布方法として採用し得す、
かつ当該スプレィ方式における塗装設備には排気設備が
要求される為に広い設備スペースが要求される等の問題
点を有するものであった。

因で、本発明は前記従来の塗布方法の問題点に鑑みて開
発されたもので、プリント配線板の高密度化に対応し得
る塗布性能を有するとともに設備の小型化並びに作業環
境を改善し得る液状物質の塗布方法の提供を目的とする
。

〔問題点を解決するための手段及び作用〕本発明方法は
　被塗布物を移動させつつ液状物質を塗布する方法にお
いて、前記液状物質をチャンバー内にて、粒子化させた
後、前記被塗布物の塗布面に塗布することを特徴とする
液状物質の塗布方法であって、液状物質を粒子化しつつ
被塗布物と塗布面に塗布することにより、被塗布物の塗
布面の微細化に対応した塗布作用を発揮するとともに液
状物質の粘度に左右されない塗布を可能ならしめ得る。

〔実施例〕

以下本発明塗布方法の実施例を、当該方法の実施に直接
使用する塗布装置とともに説明する。

図面は本発明の実施に直接使用する塗布装置を示し、第
１図は塗布装置の概要構成を示す側面図、第２図は同平
面図、第３図は塗布装置における第１および第２塗布部
に備えるチャンバーを示し、第３図ａはチャンバーの平
面図、第３図すは縦断正面図、第３図Ｃは側面図である
。

さて、第１図および第２図において、１は被塗布物とし
てのプリント配線板あるいはこれの被加工材としての基
板（以下単に基板という）の搬入部で、塗布装置の一方
の側部、図においては右側部に配設されている。

また、前記搬入部ｌに隣接せしめて第１塗布部２を配設
するとともにこの第１塗布部２と塗布装置の他方の側部
、図において左側部に配設された搬出部５に隣接して配
設された第２塗布部４間には被塗布物としての基板の反
転部３を配設することにより塗布装置が構成されている
。

しかして、前記第１および第２塗布部２および４は基台
６上側に架設されるとともに前記搬入部１、反転部３お
よび搬出部５は、基台６上側に設けられた架台７．８お
よび９にそれぞれ設けられている。

また、前記搬入部１と搬出部５間には、他の各部の基板
の搬送ラインと一敗せしめて基板の搬送ラインに沿って
、搬送ローラー１３並びに挟持ローラー１４が回転自在
に架設されている。

さらに、前記基板の搬送ラインの一方の側部には、固定
されたガイド枠１０および１２を搬入部１および搬出部
５の一方の側部に立設するともにこの固定ガイド枠１０
および１２に対向して、その対向方向にスライド自在な
移動用ガイド枠２０および２２を設け、かつ、これに対
応して、前記反転部３には、回転自在に架設された反転
用枠体１１の一方の側枠を固定したガイド枠とするとと
もに他方の側枠２１をスライド自在に移動用ガイド枠と
して構成している。

次に、前記第１！！布部２および第２塗布部４の構成に
ついて説明する。但し、第１塗布部２および第２塗布部
４の構成は同一の構成から成るので、一方の第１塗布部
２の構成について説明を加え、第２塗布部４の各部につ
いては以下の説明中にカッコ書の番号を付して、その説
明を省略する。

（尚、図中同一番号を付した各部についてはカッコ書を
省略する）。

そこで、第１塗布部２は、基台６上側にチャンバー３０
（４６）を架設するとともにこのチャンバー３０（４６
）には液状物質の噴出部４０を設け、かつチャンバー３
０　（４６）の上部には排気ダクト４１を架設すること
により構成されている。

しかして、前記チャンバー３０（４６）の構成は、第３
図ａ、ｂ、ｃに示す如く、チャンバー本体３４の上側に
基板の塗布面に対する液状物の粒子塗布部となる開口部
３２を設けるとともに下側には、前記噴出部４０よりの
噴出液状物の受入口３９を設け、かつ、左右側板３５お
よび３６には空気の取入口３７および３８を開口するこ
とにより構成されている。

また、前記開口部３２は遮蔽板３３を左右側端より中心
部に向ってスライド自在に設けるとともに、開口部３２
の開口面積は、中心部に至る程、左右側板３５および３
６の対向間隔をテーパー状にせばめることにより小さく
形成しである。

尚、第３図示のチャンバー３０（４’６）については遮
蔽板３３を左右両側に設け、それぞれを対向方向にスラ
イド自在に構成した場合を図示したが、第１図および第
２図においては、一方の側部には固定の遮蔽板を設け、
他方の側部に移動用ガイド枠と連動する遮蔽板４４を設
けた構成を示している。

さらに、チャンバー３０（４６）の左右側部に沿って、
排気ダクト４２おび４３を付設するとともに前記排気ダ
クト４１とチャンバー３０（４６）の開口部３２間には
不繊布等から成るフィルター４５を開口部３２の長さ方
向にスライド自在に張設しである。

そして、このフィルター４５は一方の端部にフィルター
４５の巻取部（不図示）を搬送ラインの固定ガイド側に
設けるとともに供給部（不図示）を移動ガイド側に設け
、開口部３２における塗布量に対応して、フィルター４
５を供給部より巻取部側に移動させてフィルター４５の
フィルター作用を低下させないように構成されている。

フィルター４５の移動については、開口部３２の長さに
対応する長さ部を間隔的に移動せしめるか、所定の速度
、例えば、基板の移動速度等に対応する速度にて連続的
にフィルター４５を移動して、所要のフィルター作用を
常時維持し得るように構成することが望ましい。

前記構成のチャンバー３０　（４６）においては、噴出
部４０より液状物質、例えば基板に塗布する所要組成か
ら成る液状レジストを高圧気体とともに噴射せしめると
ともにこれを受入口３９にてチャ７ハー　３０　（４６
）内に受は入れ、かっこの受は入れに関連して左右側板
３５および３６の空気取入口３７および３日より空気を
取り入れつつチャンバー３０（４６）内にて噴出液状レ
ジストを粒子化することができ、開口部３２にて、粒子
化した液状レジストを被塗布物の塗布面に塗布すること
ができるように構成されている。

また、噴出部４０における高圧気体による液状レジスト
の噴射は、高圧気体をパルス状に噴射せしめて液状レジ
ストの噴射を制御することにより、粒子化を促進するも
のである。

尚、前記チャンバー３０　（４６）は駆動部５８の支持
腕６０に連結支持されるとともに、駆動部５日の駆動に
より、チャンバー３０　（４６）を搬送ラインとの直交
方向に移動し得るように構成され、搬送ラインとの配設
位置を調整し得るように構成されている。

次に、前記反転部３の構成について説明すると、反転用
枠体１１が、前記駆動部５８と反転用駆動部としてのロ
ータリーアクチュエーター５９の軸受は間に回転自在に
渡架された回転軸に支持されるとともにこの反転用枠体
１１間には前記した基板の搬送ローラーとしての作用を
有する基板の上下一対の挟持ローラー１４が列設され、
さらに搬送方向の前後端に位置する挟持ローラー１４の
回転軸には、駆動用クラッチ５６との連結クラッチ５７
を固結するとともに前記駆動用クラッチ５６を固結した
回転駆動軸の駆動モーター５５を架台８上側に設け、か
つ、架台８上側には反転用枠体１１の固定ガイド枠に対
して対向方向にスライド自在に取付けた移動用ガイド枠
２１の駆動部５日を設けることにより構成されている。

しかして、反転用枠体１１はロータリーアクチュエータ
５９の作動により反転せられ、その反転動作に関連して
一方の挟持ローラー１４の駆動用のクラッチ５６が挟持
ローラーの連結用クラッチ５７より分離され、反転後、
他方の挟持ローラー１４の連結用クラッチ５７が駆動用
クラッチ５６と連結され、各挟持ローラー１４が駆動モ
ーター５５の駆動にて回転されるように構成されている
。

また、移動用ガイド枠２１は駆動部５日の駆動により、
反転用枠体１１の前後端の挟持ローラー１４の回転軸を
ガイド軸としてスライドされつつ、対向の固定ガイド枠
に対してその幅を基板の幅に対して調整対応し得るよう
に構成されている。

さらに、前記した搬入部１および搬出部５における移動
用ガイド枠２０および２２は、架台７および９上側に設
けられた駆動モーター５１の駆動にてガイド軸に沿って
ガイド枠２０および２２を固定ガイド枠１０および１２
との対向方向にスライドしつつ基板の幅に対応した固定
ガイド枠ＩＯおよび１２間との位置を調整し得るように
構成されている。

また、各搬送ローラー１３は架台７および９上側に設け
られた駆動モーター５０により駆動し得るように構成さ
れている。

さて、次に、以上の構成から成る塗布装置による基板に
対する液状レジストの塗布方法を以下に説明する。

まず、各部における搬送ローラー１３および挟持ローラ
ー１４を各駆動部５０および５５を介して作動するとと
もに基板の横幅に対応せしめて移動用ガイド枠２０．２
１および２２を駆動モーター５１および５８を介して作
動しつつ位置決めし、さらにチャンバー３０および４６
の開口部３２の開口幅を遮蔽板４４をスライドすること
によって基板の横幅に対応せしめて設定する。

前記各部の所要のセット後、搬入部１より基板を搬送ロ
ーラー１３を介して搬入せしめるとともに、基板の塗布
面が第１塗布部２０のチャンバー３０の開口部３２に至
るのに対応せしめて噴出部４０を作動して液状レジスト
を噴射し、チャンバー３０を介してこれを粒子化後、開
口部３２に対向する基板の塗布面に液状レジストの粒子
を塗布する。

しかして、搬送ローラー１３の移動速度に対応せしめた
第１塗布部２の塗布能力によって移動する基板の塗布面
に液状レジストの粒子を噴き付けつつ塗布作業を遂行す
る。

また、斯様にして第１塗布部２における基板に対する塗
布作業中、当初は、第２塗布部４に基板が存在せず、従
って、第２塗布部４は作動を停止している。

前記第１塗布部２における塗布作業に当って、噴出部４
０の作動に関連して排気ダク）４１．４２および４３が
作動し、開口部３２外側に噴出される液状レジストの粒
子を排気するとともにフィルター４５によって外部への
飛散を防止することができるものである。

さて、第１塗布部２における塗布作業は搬送ローラー１
３にて搬送される基板に対し順次遂行されるとともに第
１塗布部２にて塗布面に対する塗布の完了した基板は反
転用枠体１１内の挟持ローラー１４間に搬入され、先順
の基板の先端が反転用枠体１１の後端側の挟持ローラー
１４間に至るのに関連して、−１搬入部１および第１塗
布部２、そして反転用枠体１１の挟持ローラー１４の回
転を停止する。

しかる後、挟持ローラー１４の駆動モーター５５のクラ
ッチ５６を挟持ローラー１４の回転軸の連結クラッチ５
７より外した後、ロータリーアクチエエータ−５９を作
動して反転用枠体１１を反転する。

この反転用枠体１１の反転操作によって、各挟持ローラ
ー１４によって反転用枠体１１内に保持された、その−
面を第１！４！布部２によって液状レジスト塗布の完了
した基板の他面が下側に反転される。

因で、カミる反転用枠体１１の反転動作の完了に関連し
て、再度、搬入部１および第１塗布部２における前記各
操作が再開されるとともに反転用枠体１１内に反転保持
される基板は、反転用枠体１１の反転後、駆動モーター
５５のクラッチ５６が挟持ローラー１４の連結クラッチ
５７に接続されて回転する各挟持ローラー１４を介して
、第２塗布部４に搬入される。

そして、基板端の搬入に関連して第２塗布部４が作動し
て、前記第１塗布部２と同様の塗布作業が遂行されると
ともにこの第２塗布部４における他面の塗布が完了し、
両面に所要のレジスト皮膜の塗布が完了した基板は搬出
部５を介して搬出される。

以下前記と同様の操作によって順次基板の両面に対する
レジスト皮膜の塗布作業が連続して遂行される。

尚、前記各部における動作のタイミングは、前記操作に
要求される電気的および機械的な制御部による制御によ
って自動的に遂行することが可能である。

図中、５２は移動用ガイド枠２０および２２の移動によ
って生ずる各搬送ローラー１３のコンヘアのガタを唆収
するためのシリンダーを示すものでおる。

以上の説明から明らかな通り、液状レジストをチャンバ
ーにて粒子化しつつ基板の塗布面に塗布するために、基
板の塗布面における回路パターンの高密度に対応した適
確なレジスト皮膜の塗布を行なうことができ、絶縁不良
による不良品の発生を防止することができる。

また、基板の塗布面に対する塗布はチャンバーの開口部
を介して遂行され、その開口部の開口面積を遮蔽板によ
って基板の塗布面に対応して調整することによりオーバ
ースプレィをほとんどなくすることができるとともに余
剰粒子化物質としての液状レジストはチャンバー内に回
収でき塗布効率と液状レジストの経済性を向上すること
ができる。

さらに、排気ダクトとフィルターの介在によって排気ダ
クトの開口面積を掻力小さくすることができる。

例えば５００■角の基板の場合の排気ダクトの開口面積
は６００ｍＸ１００ｍにて実施可能である。

加えて、排気風速０．５ｍ／ｓｅｅの場合、一般のスプ
レィ方式の場合には、Ｉ　Ｘ　Ｉ　Ｘ　Ｏ，５ｍ／５ｅ
ｃＸ６０＝３０イ／　Ｉｌｌ　ｎ静電ベル型の場合には
、２Ｘ２Ｘ０．３ｍ／ｓｅｃ　Ｘ６０＝７２ｎＴ／ｓｉ
ｎであるのに対し、本発明の場合には、０．６　ｍ　Ｘ
　Ｏ，１ｍ　ＸＯ，３ｍ／ｓｅｅ　Ｘ　６０　＝　１．
０８　ｒｒｆ／ｓｉｎであって、その省エネルギーの程
度が明らかであるとともに従来の方式の場合にはブース
を清掃しなければならない煩雑さが存在するが本発明は
か−る作業を不要とすることができ、さらには、従来の
空調ルームにおけるメイクアップエアの消費量が問題と
なるが、本発明方法の実施によりこれを３０分の１乃至
７０分の１に削減できる等の利点を存する。

また、液状レジスト等の組成によっては、高粘度の液状
物質の塗布が要求された場合、塗布スピードの低速化に
よって、これを可能とすることが、可能で従来の塗布方
法では不可能であった粘度の液状物質の塗布を可能なら
しめ得るものである。

さらに、基板の塗布面に対するレジスト皮膜の膜厚につ
いては、塗布部における噴出部において、パルス幅を可
変することによりいかようにもコントロールすることが
可能である。

〔発明の効果〕

本発明方法によれば、被塗布面の高密度性に対応した塗
膜の塗布を可能ならしめ得るとともに、排気設備の小型
化に伴い塗布作業に要求される塗布設備全体のスペース
を小型化でき、かつ塗布の適確性と効率を向上し得る。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の実施に直接使用する塗布装置を示し、第
１図は塗布装置の概要構成を示す側面図、第２図は同平
面図、第３図は塗布装置における第１および第２塗布部
に備えるチャンバーを示し、第３図ａはチャンバーの平
面図、第３図すは縦断正面図、第３図Ｃは側面図である
。 ■・・・搬入部 ２・・・第１塗布部 ３・・・反転部 ４・・・第２塗布部 ５・・・搬出部 ６・・・基台 ７．８．９・・・架台 １０、　１２・・・ガイド枠 １１・・・反転用枠体 １３・・・搬送ローラー １４・・・挟持ローラー ２０．２１．２２・・・移動用ガイド枠３０．４６・・
・チャンバー ３２・・・開口部 ３３・・・遮蔽板 ４・・・チャンバー本体 ５．３６・・・左右側板 ９・・・噴出液状物の受入口 ０・・・噴出部 ｌ・・・排気ダクト ２．４３・・・排気ダクト ４・・・遮蔽板 ５・・・フィルター ０・・・駆動モーター ト・・駆動モーター ２・・・シリンダ ５・・・駆動モーター ６・・・クラッチ ７・・・連結用クラッチ ８・・・駆動部 ９・・・反転用駆動部 Ｏ・・・支持腕

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. （１）被塗布物を移動させつつ液状物質を塗布する方法
   において、 前記液状物質をチャンバー内にて、粒子化させた後、前
   記被塗布物の塗布面に塗布することを特徴とする液状物
   質の塗布方法。
2. （２）前記液状物質を粒子化させる方法は、スプレイ方
   式であるとともにパルス状にスプレイすることにより粒
   子化することを特徴とする請求項１記載の液状物質の塗
   布方法。
3. （３）前記チャンバー開口部上側には、前記粒子化物質
   の排気ダクトを設け、チャンバー開口部を介して塗布す
   る余剰粒子化物質を排気しつつ塗布することを特徴とす
   る請求項１記載の液状物質の塗布方法。
4. （４）前記余剰粒子化物質の排気は、排気ダクトの前面
   に張設した不織布等のフィルターを介して排気しつつ塗
   布することを特徴とする請求項１または３記載の液状物
   質の塗布方法。
5. （５）前記チャンバー内における液状物質の粒子化は、
   チャンバーに設けた空気取入口から吸気しつつ粒子化す
   ることを特徴とする請求項１記載の液状物質の塗布方法
   。
6. （６）前記チャンバーの開口部は、前記被塗布物の塗布
   面の移動方向に直交する方向の幅に対応して開口面積を
   調整して塗布することを特徴とする請求項１記載の液状
   物質の塗布方法。
7. （７）前記チャンバーの開口部は、前記被塗布物の塗布
   面の移動方向左右側端より中心に至る程、開口面積を小
   さくして塗布することを特徴とする請求項１記載の液状
   物質の塗布方法。
8. （８）前記被塗布物がプリント配線板またはプリント配
   線板用基板であることを特徴とする請求項１記載の液状
   物質の塗布方法。
9. （９）前記液状物質が液状レジストあるいはその他のプ
   リント配線板用液状塗布物質であることを特徴とする請
   求項１記載の液状物質の塗布方法。
10. （１０）前記チャンバーを備える第１塗布部にて前記被
    塗布物の片面を塗布するとともにこの第１塗布部による
    片面の塗布後の被塗布部を反転し、前記チャンバーを備
    える第２塗布部にて、前記被塗布物の他面を塗布するこ
    とを特徴とする請求項１記載の液状物質の塗布方法。