JPH0385783A - パルスレーザ発生装置 - Google Patents
パルスレーザ発生装置Info
- Publication number
- JPH0385783A JPH0385783A JP22172989A JP22172989A JPH0385783A JP H0385783 A JPH0385783 A JP H0385783A JP 22172989 A JP22172989 A JP 22172989A JP 22172989 A JP22172989 A JP 22172989A JP H0385783 A JPH0385783 A JP H0385783A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- discharge electrode
- laser generator
- insulation
- main electrodes
- wind tunnel
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の目的コ
（産業上の利用分野）
本発明は、高繰返しのパルスレーザ発生装置ニ関するも
ので、特に、予備放電電極の固定手段に改良を施したパ
ルスレーザ発生装置に係る。
ので、特に、予備放電電極の固定手段に改良を施したパ
ルスレーザ発生装置に係る。
（従来の技術）
近年、ＣＯ２レーザ、エキシマレーザ、銅蒸気レーザ等
の各種高繰返しパルスレーザ発生装置の開発に伴い、実
用化及び汎用化の観点から、レーザ発生装置の一層の小
形化、高性能化が要求されている。
の各種高繰返しパルスレーザ発生装置の開発に伴い、実
用化及び汎用化の観点から、レーザ発生装置の一層の小
形化、高性能化が要求されている。
第２図にこの様な高繰返しのパルスレーザ発生装置に用
いられるパルスレーザ発生装置の一例ヲ示した。即ち、
高圧側支持板３に取付けられた高圧側主電極２と、低圧
側支持板６に取付けられた低圧側主電極５とが、一定の
間隔を保って対向して配設されている。また、前記支持
板３，６は図示していない容器に固定されている。さら
に、前記主電極２，５の両側には多数のピーキングコン
デンサ４ａ、４ｂが配設され、その一端は前記支持板３
．６に固定されている。また、他端には予備放電電極８
が取イ」けられ、その先端部が前記主電極２．５の両側
面に位置するように配設されている。なお、この予備放
電電極８は絶縁支え７ａ。
いられるパルスレーザ発生装置の一例ヲ示した。即ち、
高圧側支持板３に取付けられた高圧側主電極２と、低圧
側支持板６に取付けられた低圧側主電極５とが、一定の
間隔を保って対向して配設されている。また、前記支持
板３，６は図示していない容器に固定されている。さら
に、前記主電極２，５の両側には多数のピーキングコン
デンサ４ａ、４ｂが配設され、その一端は前記支持板３
．６に固定されている。また、他端には予備放電電極８
が取イ」けられ、その先端部が前記主電極２．５の両側
面に位置するように配設されている。なお、この予備放
電電極８は絶縁支え７ａ。
７ｂによって前記支持板３．６に支持固定されている。
そして、」二記の様なパルスレーザ発生装置が気密容器
（図示せず）内に収納され、その気密容器内にはＣｏ２
．Ｈ２，Ｈｅ等の混合ガスが封入されている。また、前
記混合ガスは流路のガイドとなる風洞９，１０と主電極
２，５間を通って、気密容器内に配設された冷却器（図
示せず）に戻るように構成されている。
（図示せず）内に収納され、その気密容器内にはＣｏ２
．Ｈ２，Ｈｅ等の混合ガスが封入されている。また、前
記混合ガスは流路のガイドとなる風洞９，１０と主電極
２，５間を通って、気密容器内に配設された冷却器（図
示せず）に戻るように構成されている。
この様に構成された従来のパルスレーザ発生装置におい
て、図示していない外部電源から高圧線１を介してパル
ス状の高電圧を印加すると、予備放電電極８の放電によ
って、主電極２，５間に予備電離作用が生じると共に、
ピーキングコンデンサ４ａ、４ｂの電圧」二昇に伴って
主電極２．５間の電圧も上昇し、この値が主電極２，５
間のギャップ長及び容器内の混合ガスの圧力に応じて決
まる一定電圧に達すると、ピーキングコンデンサ４ａ、
４ｂに蓄えられた電荷が主電極２，５に注入コ され、グロー放電が発生する。このグロー放電によりレ
ーザガス（混合ガス）が励起され、レーザ発振が起り、
光共振器（図示せず）によってレーザ光を取出すことが
できる。
て、図示していない外部電源から高圧線１を介してパル
ス状の高電圧を印加すると、予備放電電極８の放電によ
って、主電極２，５間に予備電離作用が生じると共に、
ピーキングコンデンサ４ａ、４ｂの電圧」二昇に伴って
主電極２．５間の電圧も上昇し、この値が主電極２，５
間のギャップ長及び容器内の混合ガスの圧力に応じて決
まる一定電圧に達すると、ピーキングコンデンサ４ａ、
４ｂに蓄えられた電荷が主電極２，５に注入コ され、グロー放電が発生する。このグロー放電によりレ
ーザガス（混合ガス）が励起され、レーザ発振が起り、
光共振器（図示せず）によってレーザ光を取出すことが
できる。
（発明が解決しようとする課題）
しかしながら、第２図に示した様な従来のパルスレーザ
発生装置には、以下に述べる様な解決すべき課題があっ
た。即ち、予備放電電極８を支持するために用いられる
絶縁支え７ａ、７ｂには、その沿面方向に主電極の放電
電圧の約１／２の電位差が生じる。例えば、第２図の低
圧側においては、予備放電電極８の支え部分と低圧側支
持板６との間に、ピーキングコンデンサ１個分の電位差
が生じることになる。しかし、通常、絶縁物の沿面部は
、ガスギャップ単独の場合に比べて、温度、ホコリ、電
荷の堆積等の影響を受けやすく、放電電圧が安定せず、
放電電圧が低くなり、また、もれ抵抗が低くなり、パワ
ーロスになる等、絶縁」二非常に不安定な部分である。
発生装置には、以下に述べる様な解決すべき課題があっ
た。即ち、予備放電電極８を支持するために用いられる
絶縁支え７ａ、７ｂには、その沿面方向に主電極の放電
電圧の約１／２の電位差が生じる。例えば、第２図の低
圧側においては、予備放電電極８の支え部分と低圧側支
持板６との間に、ピーキングコンデンサ１個分の電位差
が生じることになる。しかし、通常、絶縁物の沿面部は
、ガスギャップ単独の場合に比べて、温度、ホコリ、電
荷の堆積等の影響を受けやすく、放電電圧が安定せず、
放電電圧が低くなり、また、もれ抵抗が低くなり、パワ
ーロスになる等、絶縁」二非常に不安定な部分である。
そこで、パルスレーザ発生装置の様な高電圧、高繰返し
の放電装置においては、優れた絶縁安定性を得るために
、可能な限り沿面絶縁部をなくすことが望まれている。
の放電装置においては、優れた絶縁安定性を得るために
、可能な限り沿面絶縁部をなくすことが望まれている。
本発明は、以」二の欠点を解消するために提案されたも
ので、その目的は、予備放電電極の支持手段を改良する
ことにより、絶縁安定性を向」ニさせたパルスレーザ発
生装置を提供することにある。
ので、その目的は、予備放電電極の支持手段を改良する
ことにより、絶縁安定性を向」ニさせたパルスレーザ発
生装置を提供することにある。
［発明の構成］
（課題を解決するための手段）
本発明は、容器内に２つの主電極を対向して配置し、こ
の主電極の側方にピーキングコンデンサ及びガスレーザ
媒質を主電極間に送るための風洞を配設し、このコンデ
ンサに予備放電電極を接続して、コンデンサに蓄えられ
た電荷を予備放電電極を介して主電極間で繰返し放電さ
せることにより、パルスレーザ出力を発生させるパルス
レーザ発生装置において、前記風洞に、予備放電電極の
一部を埋め込むための埋設部と、ピーキングコンデンサ
と予備放電電極の一端を接続するための貫通部とを形成
したことを特徴とするものである。
の主電極の側方にピーキングコンデンサ及びガスレーザ
媒質を主電極間に送るための風洞を配設し、このコンデ
ンサに予備放電電極を接続して、コンデンサに蓄えられ
た電荷を予備放電電極を介して主電極間で繰返し放電さ
せることにより、パルスレーザ出力を発生させるパルス
レーザ発生装置において、前記風洞に、予備放電電極の
一部を埋め込むための埋設部と、ピーキングコンデンサ
と予備放電電極の一端を接続するための貫通部とを形成
したことを特徴とするものである。
（作用）
本発明のパルスレーザ発生装置によれば、予備放電電極
を支持するために用いられていた絶縁支えを不要とする
ことができ、沿面絶縁部をなくすことが可能となるので
、予備放電電極の支持部の絶縁安定性を大幅に向上させ
ることができる。
を支持するために用いられていた絶縁支えを不要とする
ことができ、沿面絶縁部をなくすことが可能となるので
、予備放電電極の支持部の絶縁安定性を大幅に向上させ
ることができる。
（実施例）
以下、本発明の一実施例を第１図に基づいて具体的に説
明する。なお、第２図に示した従来型と同一の部材には
同一の符号を付して、説明は省略する。
明する。なお、第２図に示した従来型と同一の部材には
同一の符号を付して、説明は省略する。
本実施例においては、第１図に示した様に、主電極２，
５間に混合ガス１３を送るための風洞２０に、予備放電
電極８の一部を埋め込むための埋設部である溝２１及び
ピーキングコンデンサ４ａ。
５間に混合ガス１３を送るための風洞２０に、予備放電
電極８の一部を埋め込むための埋設部である溝２１及び
ピーキングコンデンサ４ａ。
４ｂと予備放電電極８の一端を接続するための貫通部２
２が形成されている。そして、前記溝２１及び貫通部２
２内に予備放電電極８を係合させることによって、予備
放電電極８が風洞２０に固定されている。なお、風洞２
０内に配設される予備放電電極８は、混合ガス１３の風
量に影響を与えないように配設されている。また、風洞
２０は一般に、エポキシなどの絶縁物から構成される。
２が形成されている。そして、前記溝２１及び貫通部２
２内に予備放電電極８を係合させることによって、予備
放電電極８が風洞２０に固定されている。なお、風洞２
０内に配設される予備放電電極８は、混合ガス１３の風
量に影響を与えないように配設されている。また、風洞
２０は一般に、エポキシなどの絶縁物から構成される。
この様な構成を有する本実施例のパルスレーザ発生装置
においては、予備放電電極８を支持するために用いられ
ていた絶縁支えが不要となるので、沿面絶縁部がなくな
り、絶縁不安定箇所をなくすことができる。また、予備
放電電極８と支持板３゜６間の電位差に対する絶縁は、
風洞２０の貫通方向絶縁部及びガスギャップ２３によっ
て行われる。
においては、予備放電電極８を支持するために用いられ
ていた絶縁支えが不要となるので、沿面絶縁部がなくな
り、絶縁不安定箇所をなくすことができる。また、予備
放電電極８と支持板３゜６間の電位差に対する絶縁は、
風洞２０の貫通方向絶縁部及びガスギャップ２３によっ
て行われる。
即ち、エポキシなどの絶縁物から構成された風洞２０の
貫通絶縁強度は、沿面方向の絶縁強度に比べて数倍から
数十倍大きく、また、ガスギャップ単独の絶縁強度も沿
面絶縁部より大きいことから、絶縁支えの沿面絶縁部が
なくなり、風洞の貫通方向の絶縁部を設けた分だけ、絶
縁耐力が数倍〜数十倍向」ニし、優れた絶縁安定性が得
られる。
貫通絶縁強度は、沿面方向の絶縁強度に比べて数倍から
数十倍大きく、また、ガスギャップ単独の絶縁強度も沿
面絶縁部より大きいことから、絶縁支えの沿面絶縁部が
なくなり、風洞の貫通方向の絶縁部を設けた分だけ、絶
縁耐力が数倍〜数十倍向」ニし、優れた絶縁安定性が得
られる。
この様に、本実施例によれば、予備放電電極の支持手段
を改良することによって、絶縁耐力の同上と優れた絶縁
安定性が得られるため、絶縁特性の安定したパルスレー
ザ発生装置を得ることができる。 なお、本発明は」二
連した実施例に限定されるものではなく、予備放電電極
を風洞内に埋め込む深さ、長さ、太さ等はとくに限定さ
れない。
を改良することによって、絶縁耐力の同上と優れた絶縁
安定性が得られるため、絶縁特性の安定したパルスレー
ザ発生装置を得ることができる。 なお、本発明は」二
連した実施例に限定されるものではなく、予備放電電極
を風洞内に埋め込む深さ、長さ、太さ等はとくに限定さ
れない。
また、風洞の祠質、予備放電電極の材質等も特に限定さ
れるものではない。
れるものではない。
［発明の効果］
以上述べた様に、本発明によれば、主電極の近傍に配設
される風洞に、予備放電電極の一部を理め込むための埋
設部と、ピーキングコンデンサと予備放電電極の一端を
接続するための貫通部とを形成し、その埋設部及び貫通
部に予備放電電極を係合させて支持固定するという簡単
な手段によって、絶縁安定性を向上させたパルスレーザ
発生装置を提供することができる。
される風洞に、予備放電電極の一部を理め込むための埋
設部と、ピーキングコンデンサと予備放電電極の一端を
接続するための貫通部とを形成し、その埋設部及び貫通
部に予備放電電極を係合させて支持固定するという簡単
な手段によって、絶縁安定性を向上させたパルスレーザ
発生装置を提供することができる。
第１図は本発明のパルスレーザ発生装置の一実施例を示
す断面図、第２図は従来のパルスレーザ発生装置の一例
を示す断面図である。 １・・・高圧線、２・・・高圧側主電極、３・・・高圧
側支持板、４ａ、４ｂ・・・ピーキングコンデンサ、５
・・・低圧側主電極、６・・・低圧側支持板、７ａ、７
ｂ、・絶縁支え、８・・・予備放電電極、９，１０・・
・風洞、１３・・・混合ガス、２０・・・風洞、２１・
・・溝、２２・貫通部、２３・・・ガスギャップ。
す断面図、第２図は従来のパルスレーザ発生装置の一例
を示す断面図である。 １・・・高圧線、２・・・高圧側主電極、３・・・高圧
側支持板、４ａ、４ｂ・・・ピーキングコンデンサ、５
・・・低圧側主電極、６・・・低圧側支持板、７ａ、７
ｂ、・絶縁支え、８・・・予備放電電極、９，１０・・
・風洞、１３・・・混合ガス、２０・・・風洞、２１・
・・溝、２２・貫通部、２３・・・ガスギャップ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ガスレーザ媒質を封入した容器内に、２つの主電極を対
向して配置し、この主電極の側方にピーキングコンデン
サ及び前記ガスレーザ媒質を主電極間に送るための風洞
を配設し、このピーキングコンデンサに予備放電電極を
接続して、ピーキングコンデンサに蓄えられた電荷を予
備放電電極を介して主電極間で繰返し放電させることに
より、パルスレーザ出力を発生させるパルスレーザ発生
装置において、 前記風洞に、予備放電電極の一部を埋め込むための埋設
部と、前記ピーキングコンデンサと予備放電電極の一端
を接続するための貫通部とを形成したことを特徴とする
パルスレーザ発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22172989A JPH0385783A (ja) | 1989-08-30 | 1989-08-30 | パルスレーザ発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22172989A JPH0385783A (ja) | 1989-08-30 | 1989-08-30 | パルスレーザ発生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0385783A true JPH0385783A (ja) | 1991-04-10 |
Family
ID=16771344
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22172989A Pending JPH0385783A (ja) | 1989-08-30 | 1989-08-30 | パルスレーザ発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0385783A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006233372A (ja) * | 2005-02-25 | 2006-09-07 | Kanebo Ltd | インナー・ウェア |
| US8984668B2 (en) | 2012-09-10 | 2015-03-24 | Levi Strauss & Co. | Body shaping fit system |
-
1989
- 1989-08-30 JP JP22172989A patent/JPH0385783A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006233372A (ja) * | 2005-02-25 | 2006-09-07 | Kanebo Ltd | インナー・ウェア |
| US8984668B2 (en) | 2012-09-10 | 2015-03-24 | Levi Strauss & Co. | Body shaping fit system |
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