JPH0391977A - パルス発生装置 - Google Patents
パルス発生装置Info
- Publication number
- JPH0391977A JPH0391977A JP22830589A JP22830589A JPH0391977A JP H0391977 A JPH0391977 A JP H0391977A JP 22830589 A JP22830589 A JP 22830589A JP 22830589 A JP22830589 A JP 22830589A JP H0391977 A JPH0391977 A JP H0391977A
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- Japan
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- discharge
- electrode
- discharge electrode
- pulse generator
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- Pending
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/02—Constructional details
- H01S3/03—Constructional details of gas laser discharge tubes
- H01S3/038—Electrodes, e.g. special shape, configuration or composition
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発四の目的］
（産業上の利用分野）
本発明は、高繰返し型のパルスレーザ発振装置に使用す
るパルス発生装置に係り、特に、その放電ギャップ部の
絶縁構造に関するものである。
るパルス発生装置に係り、特に、その放電ギャップ部の
絶縁構造に関するものである。
（従来の技術）
近年、ＣＯ２レーザ、エキシマレーザ、銅蒸気レーザな
どの各種高繰返しパルスレーザ発振装置の技術開発に伴
い、実用化、汎用化の観点から、レーザ発振装置の一層
の小型、高性能化が要求されている。
どの各種高繰返しパルスレーザ発振装置の技術開発に伴
い、実用化、汎用化の観点から、レーザ発振装置の一層
の小型、高性能化が要求されている。
第３図にこのような高繰返しバルスレーザ発振装置のパ
ルス発生装置の一例を示す。このパルス発生装置は、図
示していないが、気密容器に収納されている。この気密
容器内には、ＣＯ２ 、Ｈ２、Ｈｅなどの混合ガス（レ
ーザ媒質）１が封入されており、この混合ガス１の雰囲
気中に高圧側と低圧側の一対の主電極２．３が、一定の
間隔を保って対向配置されている。この主電極２，３は
、その背面に設けられた支持板４，５にそれぞれ固定さ
れており、各支持板４，５は、図示していない容器に固
定されている。この主電極２，３間（主放電空間）の両
側方には、予備放電電極６が配置され、絶縁支持物７ａ
．７ｂで支持固定されている。また、主電極２．３の両
側方には、多数のピーキングコンデンサ８ａ，８ｂが配
置されており、ピーキングコンデンサ８ａ，８ｂの一端
は、予備放電電極６に接続され、他端は、支持板４．５
に接続されている。さらに、主電極２．３間の両側方に
は、図示しない風洞が設けられており、片側の風洞から
、主電極２，３間に混合ガス１を送り込み、この混合ガ
ス１を反対側の風洞から図示しない冷却器に戻し、再び
混合ガス１を主電極２．３間に送出すという、一連の循
環系が形戊されている。なお、図中９は、高圧側の主電
極２と図示しない外部電源との間を接続する高圧線であ
る。
ルス発生装置の一例を示す。このパルス発生装置は、図
示していないが、気密容器に収納されている。この気密
容器内には、ＣＯ２ 、Ｈ２、Ｈｅなどの混合ガス（レ
ーザ媒質）１が封入されており、この混合ガス１の雰囲
気中に高圧側と低圧側の一対の主電極２．３が、一定の
間隔を保って対向配置されている。この主電極２，３は
、その背面に設けられた支持板４，５にそれぞれ固定さ
れており、各支持板４，５は、図示していない容器に固
定されている。この主電極２，３間（主放電空間）の両
側方には、予備放電電極６が配置され、絶縁支持物７ａ
．７ｂで支持固定されている。また、主電極２．３の両
側方には、多数のピーキングコンデンサ８ａ，８ｂが配
置されており、ピーキングコンデンサ８ａ，８ｂの一端
は、予備放電電極６に接続され、他端は、支持板４．５
に接続されている。さらに、主電極２．３間の両側方に
は、図示しない風洞が設けられており、片側の風洞から
、主電極２，３間に混合ガス１を送り込み、この混合ガ
ス１を反対側の風洞から図示しない冷却器に戻し、再び
混合ガス１を主電極２．３間に送出すという、一連の循
環系が形戊されている。なお、図中９は、高圧側の主電
極２と図示しない外部電源との間を接続する高圧線であ
る。
このように構成された第３図のパルス発生装置に、図示
していない外部電源から、高圧線９を介して高電圧を印
加すると、予備放電電極６の放電により、主電極２，３
間に予備電離作用が生じると共に、ビーキングコンデン
サ８ａ，８ｂの電圧上昇に伴い、主電極２，３間の電圧
も上昇し、この電圧が、主電極２．３間のギャップ長、
および容器内の混合ガス１の圧力に応じて決まる一定電
注に達すると、ピーキングコンデンサ８ａ，８ｂに蓄え
られた電荷が主電極２，３に注入され、グロー放電が発
生する。このグロー放電により、混合ガス１が励起され
、レーザ発振が起こり、図示していない共振器により、
レーザ光が外部に取出される。
していない外部電源から、高圧線９を介して高電圧を印
加すると、予備放電電極６の放電により、主電極２，３
間に予備電離作用が生じると共に、ビーキングコンデン
サ８ａ，８ｂの電圧上昇に伴い、主電極２，３間の電圧
も上昇し、この電圧が、主電極２．３間のギャップ長、
および容器内の混合ガス１の圧力に応じて決まる一定電
注に達すると、ピーキングコンデンサ８ａ，８ｂに蓄え
られた電荷が主電極２，３に注入され、グロー放電が発
生する。このグロー放電により、混合ガス１が励起され
、レーザ発振が起こり、図示していない共振器により、
レーザ光が外部に取出される。
（発明が解決しようとする課題）
ところで、以」二のような高繰返しパルスレーザ発振装
置のパルス発生装置において、予備放電電極６と主電極
２，３間の絶縁部１０には、電位差が生じる。この場合
、第３図の低圧側を例にとると、予備放電電極６と主電
極３との間には、主電極２，３間の放電電圧の約１／２
の電位差が生じる。この電位差は、ピーキングコンデン
サ８ａの１個分の電位差に相当する。このように、予備
放電電極６と主電極３との間に電位差を生じた場合の電
界は、例えば、図中の矢印１１で示した方向に生じる。
置のパルス発生装置において、予備放電電極６と主電極
２，３間の絶縁部１０には、電位差が生じる。この場合
、第３図の低圧側を例にとると、予備放電電極６と主電
極３との間には、主電極２，３間の放電電圧の約１／２
の電位差が生じる。この電位差は、ピーキングコンデン
サ８ａの１個分の電位差に相当する。このように、予備
放電電極６と主電極３との間に電位差を生じた場合の電
界は、例えば、図中の矢印１１で示した方向に生じる。
この電界１１は、予備放電電極６と主電極３の両者の構
成が、不平等であれば大きくなり、平等になれば小さく
なる。また、この電界１１が、混合ガス１の放電電界以
上になると、予備放電電極６と主電極３間が放電する。
成が、不平等であれば大きくなり、平等になれば小さく
なる。また、この電界１１が、混合ガス１の放電電界以
上になると、予備放電電極６と主電極３間が放電する。
この部分が放電すると、主電極２．３間で放電が発生し
ない状態になり、パルス発生装置として機能しなくなる
。この例のように、従来、予備放電電極形状の不備によ
り、パルス発生装置として機能できなくなる装霞が多数
発生している。この主たる原因としては、予備放電電極
６同士を放電し易くするために予備放電電極６を細くし
た結果、予備放電電極６と主電極２，３との間の電界が
高くなってしまうものと考えられる。
ない状態になり、パルス発生装置として機能しなくなる
。この例のように、従来、予備放電電極形状の不備によ
り、パルス発生装置として機能できなくなる装霞が多数
発生している。この主たる原因としては、予備放電電極
６同士を放電し易くするために予備放電電極６を細くし
た結果、予備放電電極６と主電極２，３との間の電界が
高くなってしまうものと考えられる。
本発明は、以上のような従来技術の課題を解決するため
に提案されたものであり、その目的は、予備放電電極間
において容易に放電可能としながら、しかも予備放電電
極と主電極間の絶縁耐力を向上することにより、予備電
離および主放電を順調に行うことができ、確実に安定し
た主放電を得られ、安定したパルスを発生できるような
、優れたパルス発生装置を提供することである。
に提案されたものであり、その目的は、予備放電電極間
において容易に放電可能としながら、しかも予備放電電
極と主電極間の絶縁耐力を向上することにより、予備電
離および主放電を順調に行うことができ、確実に安定し
た主放電を得られ、安定したパルスを発生できるような
、優れたパルス発生装置を提供することである。
［発四の構成］
（課題を解決するための手段）
本発明によるパルス発生装置は、予備放電電極の主電極
に対向する部分の直径を、この部分の電界がガスレーザ
媒質の放電電界より低い電界になるように設定し、且つ
予備放電電極の先端部の直径を、主電極と対向する部分
の直径よりも小さくしたことを特徴としている。
に対向する部分の直径を、この部分の電界がガスレーザ
媒質の放電電界より低い電界になるように設定し、且つ
予備放電電極の先端部の直径を、主電極と対向する部分
の直径よりも小さくしたことを特徴としている。
（作川）
以−１二のような構成を有する本発明においては、予備
放電電極と主電極との間の電界を放電電界より低くした
ため、同部の絶縁耐ノノを向上できると同時に、対向す
る予備放電電極間は、その先端部の直径を細く形戊した
ことから、容易に放電する。
放電電極と主電極との間の電界を放電電界より低くした
ため、同部の絶縁耐ノノを向上できると同時に、対向す
る予備放電電極間は、その先端部の直径を細く形戊した
ことから、容易に放電する。
従って良好な予備電離および安定した主放電を確実に行
うことができる。
うことができる。
（実施例）
以下に、本発叩によるパルス発生装置の一実施例を第１
図および第２図を参照して具体的に説明する。なお、第
３図に示した従来技術と同一部分には同一符号を付し、
説明を省略する。
図および第２図を参照して具体的に説明する。なお、第
３図に示した従来技術と同一部分には同一符号を付し、
説明を省略する。
第１図に示すように、本実施例において、予備放電電極
６の主電極２，３に対向する部分の直径は、この部分の
電界が混合ガス１の放電電界より低い電界になるように
太く構戊されている。また、予備放電電極６の先端部の
直径は、主電極と対向する部分の直径に比べて格段に小
さくされている。
６の主電極２，３に対向する部分の直径は、この部分の
電界が混合ガス１の放電電界より低い電界になるように
太く構戊されている。また、予備放電電極６の先端部の
直径は、主電極と対向する部分の直径に比べて格段に小
さくされている。
なお、他の部分の構成は、第３図に示した従来技術と同
様とされている。
様とされている。
このように構戊された本実施例の作用は次の通りである
。すなわち、予備放電電極６の、主電極２，３と対向す
る部分を太く形成したことにより、第２図に示すように
、この部分の電界１１が低くなり、予備放電電極６と主
電極３間の耐電圧が著しく向上する。つまり、同絶縁部
１０の絶縁強度が高くなり、絶縁的に安定する。これに
対し、予備放電電極６同士の対向部分である先端部の直
径は、格段に小さくされているため、予備放電電極６間
においては、放電が容易に発生する。なお、第２図にお
いては、低圧側のみの構成を示したが、高圧側も同様に
構戊され、同様の作用を有している。
。すなわち、予備放電電極６の、主電極２，３と対向す
る部分を太く形成したことにより、第２図に示すように
、この部分の電界１１が低くなり、予備放電電極６と主
電極３間の耐電圧が著しく向上する。つまり、同絶縁部
１０の絶縁強度が高くなり、絶縁的に安定する。これに
対し、予備放電電極６同士の対向部分である先端部の直
径は、格段に小さくされているため、予備放電電極６間
においては、放電が容易に発生する。なお、第２図にお
いては、低圧側のみの構成を示したが、高圧側も同様に
構戊され、同様の作用を有している。
以−１二のように、本実施例においては、従来問題とな
っていた予備放電電極と主電極との間の絶縁弱点部が絶
縁強化される一方、予備放電電極間は容易に放電可能で
あるため、予備電離およびこれに続く主放電を順調且つ
安定に行うことができる。
っていた予備放電電極と主電極との間の絶縁弱点部が絶
縁強化される一方、予備放電電極間は容易に放電可能で
あるため、予備電離およびこれに続く主放電を順調且つ
安定に行うことができる。
なお、本発明は前記実施例に限定されるものではなく、
例えば、予備放電電極の具体的な直径は、場合に応じて
適宜選択可能であり、また、予備放電電極の主電極と対
向する部分の直径と先端部の直径との比も、適宜選択可
能である。さらに、主電極の予備電極に対向する部分の
形状も特に限定されるものではない。
例えば、予備放電電極の具体的な直径は、場合に応じて
適宜選択可能であり、また、予備放電電極の主電極と対
向する部分の直径と先端部の直径との比も、適宜選択可
能である。さらに、主電極の予備電極に対向する部分の
形状も特に限定されるものではない。
［発門の効果］
上記のように、本発明においては、予備放電電極の形状
の簡単な改良により、予備放電電極と主電極間の絶縁耐
力を格段に向上できると同時に予備放電電極間の放電を
容易に行えるため、予備電離および主放電を順調に行う
ことが可能で、確実に安定した主放電を得られ、安定し
たパルスを発生できるような、優れたパルス発生装置を
提供できる。
の簡単な改良により、予備放電電極と主電極間の絶縁耐
力を格段に向上できると同時に予備放電電極間の放電を
容易に行えるため、予備電離および主放電を順調に行う
ことが可能で、確実に安定した主放電を得られ、安定し
たパルスを発生できるような、優れたパルス発生装置を
提供できる。
第１図は本発明によるパルス発生装置の一実施例を示す
正面図、第２図は同実施例における予備放電電極と主放
電との間の電界を示す正面図、第３図は従来のパルス発
生装置の一例を示す正面図である。 １・・・混合ガス、２，３・・・主電極、４，５・・・
支持板、６・・・予備放電電極，７ａ，７ｂ・・・絶縁
支持物、８ａ，８ｂ・・・ピーキングコンデンサ、９・
・・高圧線、１０・・・絶縁部、１１・・・電界。
正面図、第２図は同実施例における予備放電電極と主放
電との間の電界を示す正面図、第３図は従来のパルス発
生装置の一例を示す正面図である。 １・・・混合ガス、２，３・・・主電極、４，５・・・
支持板、６・・・予備放電電極，７ａ，７ｂ・・・絶縁
支持物、８ａ，８ｂ・・・ピーキングコンデンサ、９・
・・高圧線、１０・・・絶縁部、１１・・・電界。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ガスレーザ媒質雰囲気中に対向配置された高圧側と低圧
側の主電極と、この主電極間の空間の近傍に配置された
予備放電電極と、主電極側方に配置されたコンデンサと
、コンデンサに蓄えられた電荷を前記予備放電電極を通
して主電極間で繰返し放電させ、パルス出力を発生させ
る高繰返し型のパルス発生装置において、 前記予備放電電極の主電極に対向する部分の直径を、こ
の部分の電界がガスレーザ媒質の放電電界より低い電界
になるように設定し、且つ予備放電電極の先端部の直径
を、主電極と対向する部分の直径よりも小さくしたこと
を特徴とするパルス発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22830589A JPH0391977A (ja) | 1989-09-05 | 1989-09-05 | パルス発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22830589A JPH0391977A (ja) | 1989-09-05 | 1989-09-05 | パルス発生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0391977A true JPH0391977A (ja) | 1991-04-17 |
Family
ID=16874362
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22830589A Pending JPH0391977A (ja) | 1989-09-05 | 1989-09-05 | パルス発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0391977A (ja) |
-
1989
- 1989-09-05 JP JP22830589A patent/JPH0391977A/ja active Pending
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