JPH0467797B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0467797B2 JPH0467797B2 JP8123585A JP8123585A JPH0467797B2 JP H0467797 B2 JPH0467797 B2 JP H0467797B2 JP 8123585 A JP8123585 A JP 8123585A JP 8123585 A JP8123585 A JP 8123585A JP H0467797 B2 JPH0467797 B2 JP H0467797B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- main discharge
- capacitor
- container
- gas laser
- discharge electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 27
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/09—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping
- H01S3/097—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser
- H01S3/0971—Processes or apparatus for excitation, e.g. pumping by gas discharge of a gas laser transversely excited
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明はガスレーザ発振装置に関する。
レーザ発振方向に対して垂直方向に対して垂直
方向に放電を発生させる横方向励起ガスレーザ
で、大気圧以上の比較的高い圧力で動作する装置
では、放電を安定化するための予備電離が必要で
ある。この予備電離にはいろいろな種類があり、
主電極と平行にピン電極を配置した紫外光予備電
離方式もその一つである。この方式による従来例
について第４図にて説明する。すなわち、円筒形
の気密構造になる容器１を有し、この容器１には
例えばCO2，H2，He2の３種のガスを所定の割合
で混合したガスレーザ媒質がほぼ大気圧に保持さ
れて封入されている。また、容器１内には次の各
要素が互いに関係ずけられて配置されている。す
なわち、金属製の一対の保持板２ａ，２ｂが間隔
をおき、かつ平行になつて容器１の内壁に取り付
けられている。一方の保持板２ａは他方の保持板
２ｂに対向側において同じく金属製の取り付け板
３と組合つて絶縁物４を挟装している。取り付け
板３は絶縁物４により容器１と絶縁されている。
取り付け板３には主放電電極の一方をなすかまぼ
こ状陰極５が設けられ、この陰極に対向して他方
をなす同じくかまぼこ状の陽極６が保持板２ｂに
取り付けられている。保持板２ｂと取り付け板３
に予備放電のためのピン電極７ａ，７ｂがそれぞ
れ対になつて容器１の軸方向に沿つて多数配置さ
れている。陰極５側になる一方のピン電極７ａに
は予備放電時の不必要なエネルギ消費を防止する
第１のキヤパシタ８がそれぞれ接続されている。
また、陰極５にはアースされた高圧のパルス電源
９より高圧が印加されている。また、容器１およ
び陽極６もそれぞれアースされている。
方向に放電を発生させる横方向励起ガスレーザ
で、大気圧以上の比較的高い圧力で動作する装置
では、放電を安定化するための予備電離が必要で
ある。この予備電離にはいろいろな種類があり、
主電極と平行にピン電極を配置した紫外光予備電
離方式もその一つである。この方式による従来例
について第４図にて説明する。すなわち、円筒形
の気密構造になる容器１を有し、この容器１には
例えばCO2，H2，He2の３種のガスを所定の割合
で混合したガスレーザ媒質がほぼ大気圧に保持さ
れて封入されている。また、容器１内には次の各
要素が互いに関係ずけられて配置されている。す
なわち、金属製の一対の保持板２ａ，２ｂが間隔
をおき、かつ平行になつて容器１の内壁に取り付
けられている。一方の保持板２ａは他方の保持板
２ｂに対向側において同じく金属製の取り付け板
３と組合つて絶縁物４を挟装している。取り付け
板３は絶縁物４により容器１と絶縁されている。
取り付け板３には主放電電極の一方をなすかまぼ
こ状陰極５が設けられ、この陰極に対向して他方
をなす同じくかまぼこ状の陽極６が保持板２ｂに
取り付けられている。保持板２ｂと取り付け板３
に予備放電のためのピン電極７ａ，７ｂがそれぞ
れ対になつて容器１の軸方向に沿つて多数配置さ
れている。陰極５側になる一方のピン電極７ａに
は予備放電時の不必要なエネルギ消費を防止する
第１のキヤパシタ８がそれぞれ接続されている。
また、陰極５にはアースされた高圧のパルス電源
９より高圧が印加されている。また、容器１およ
び陽極６もそれぞれアースされている。
上記の構成において、第１のキヤパシタ８は主
放電と予備放電とのタイミングをとり、さらに主
放電の電流ピークを大きくするために用いられて
いるが、この容量は主放電用コンデンサ（図示せ
ず）と同程度に大きくすることが望まれている。
しかし、キヤパシタの容量を増すことは寸法的に
も大きくなり、容器１が大形になつてしまう。逆
に第１のキヤパシタ８を小型にして多数配置する
にしても上記構成では限度があり、また、主放電
域に流れるガスレーザ媒質の流れが阻害されてし
まう問題が生じる。
放電と予備放電とのタイミングをとり、さらに主
放電の電流ピークを大きくするために用いられて
いるが、この容量は主放電用コンデンサ（図示せ
ず）と同程度に大きくすることが望まれている。
しかし、キヤパシタの容量を増すことは寸法的に
も大きくなり、容器１が大形になつてしまう。逆
に第１のキヤパシタ８を小型にして多数配置する
にしても上記構成では限度があり、また、主放電
域に流れるガスレーザ媒質の流れが阻害されてし
まう問題が生じる。
本発明は予備放電を必要最小限におさえ、かつ
主放電部には最大限にエネルギを供給できるガス
レーザ発振装置を提供することを目的とする。
主放電部には最大限にエネルギを供給できるガス
レーザ発振装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、高電圧側電極を絶
縁物を用いることなくキヤパシタで保持する構成
にしたものである。
縁物を用いることなくキヤパシタで保持する構成
にしたものである。
以下、本発明を実施例を示す図面に基いて説明
する。
する。
第１図は本発明の一実施例で第４図と共通する
部分には同一符号を付し詳細な説明は省略する。
すなわち、第４図に示した構成と異なるところ
は、保持板２ａと取り付け板３との間に絶縁物で
なく第２のキヤパシタ１０をその両端を上記それ
ぞれの板に接続して介在させた点と、保持板２
ａ，２ｂ間を銅製の一対のリード板１１ａ，１１
ｂで接続し、これらで風洞を形成した点にある。
ここで、上記実施例を等価回路的に示すと第２図
のようになる。ただし、この回路図では第１，第
２のキヤパシタ８，１０は多数配置したときの等
価容量を表わしている。この回路について説明す
ると、高圧パルス電源９は高圧電源９ａと充電抵
抗１２および主放電キヤパシタ１３とで構成さ
れ、主放電キヤパシタの充電電荷が陰極５，陽極
６に流れるように回路を構成している。ここで、
陽極６側の線路には主放電キヤパシタ１３側から
キヤツプスイツチ１４，インダクタンス１５およ
び１６が接続されている。インダクタンス１５と
１６との間において、第１のキヤパシタ８を介し
たピン電極７ａ，７ｂが上記回路に接続されてい
る。また、陰極５，陽極６には上記回路に接続し
た第２のキヤパシタ１０がインダクタンス１６を
介して並列に接続されている。以上の構成になる
回路の作用について次に説明する。高圧電源９ａ
によつて主放電キヤパシタ１３が十分に充電さ
れ、ギヤツプスイツチ１４が適当な時間に点火し
たものと仮定する。主放電キヤパシタ１３の電荷
はインダクタンス１５，１６，１７を通して第
１，第２のキヤパシタ８，１０にそれぞれ移じよ
うする。この場合、移じよう率を主放電キヤパシ
タの充電電荷量と、第１，第２のキヤパシタ８，
１０へ移じようした電荷量の比として表わすと、
移じよう率は第１，第２のキヤパシタ８，１０の
並列容量と主放電キヤパシタが等しいとき最大と
なることは周知であるから、容器１内における容
量を第１，第２のキヤパシタ８，１０のように分
割することで、比較的簡単な調整で移じよう率を
最大にすることが可能となる。この場合、第２の
キヤパシタ１０の方を可及的に少ない容量にして
第１のキヤパシタ８を大きくすれば予備放電に必
要以上のエネルギを浪費することなく、最大の移
じよう率を達成することができる。
部分には同一符号を付し詳細な説明は省略する。
すなわち、第４図に示した構成と異なるところ
は、保持板２ａと取り付け板３との間に絶縁物で
なく第２のキヤパシタ１０をその両端を上記それ
ぞれの板に接続して介在させた点と、保持板２
ａ，２ｂ間を銅製の一対のリード板１１ａ，１１
ｂで接続し、これらで風洞を形成した点にある。
ここで、上記実施例を等価回路的に示すと第２図
のようになる。ただし、この回路図では第１，第
２のキヤパシタ８，１０は多数配置したときの等
価容量を表わしている。この回路について説明す
ると、高圧パルス電源９は高圧電源９ａと充電抵
抗１２および主放電キヤパシタ１３とで構成さ
れ、主放電キヤパシタの充電電荷が陰極５，陽極
６に流れるように回路を構成している。ここで、
陽極６側の線路には主放電キヤパシタ１３側から
キヤツプスイツチ１４，インダクタンス１５およ
び１６が接続されている。インダクタンス１５と
１６との間において、第１のキヤパシタ８を介し
たピン電極７ａ，７ｂが上記回路に接続されてい
る。また、陰極５，陽極６には上記回路に接続し
た第２のキヤパシタ１０がインダクタンス１６を
介して並列に接続されている。以上の構成になる
回路の作用について次に説明する。高圧電源９ａ
によつて主放電キヤパシタ１３が十分に充電さ
れ、ギヤツプスイツチ１４が適当な時間に点火し
たものと仮定する。主放電キヤパシタ１３の電荷
はインダクタンス１５，１６，１７を通して第
１，第２のキヤパシタ８，１０にそれぞれ移じよ
うする。この場合、移じよう率を主放電キヤパシ
タの充電電荷量と、第１，第２のキヤパシタ８，
１０へ移じようした電荷量の比として表わすと、
移じよう率は第１，第２のキヤパシタ８，１０の
並列容量と主放電キヤパシタが等しいとき最大と
なることは周知であるから、容器１内における容
量を第１，第２のキヤパシタ８，１０のように分
割することで、比較的簡単な調整で移じよう率を
最大にすることが可能となる。この場合、第２の
キヤパシタ１０の方を可及的に少ない容量にして
第１のキヤパシタ８を大きくすれば予備放電に必
要以上のエネルギを浪費することなく、最大の移
じよう率を達成することができる。
一方、線路のインダクタンス１５，１６，１７
の値をそれぞれl1，l2，l3とするとこれらの値は
上記回路構成からl1≫l2＞l3であるから、主放電
開始後、陰極５，陽極６間を流れる電流は第４図
に示すようにi1，i2，i3の合成であるから、放電
電流は線路のインダクタンスの大小にかかわら
ず、有効に利用され、安定な放電が維持される。
これを、エキシマレーザでは従来の倍近い出力エ
ネルギを得ることができた。
の値をそれぞれl1，l2，l3とするとこれらの値は
上記回路構成からl1≫l2＞l3であるから、主放電
開始後、陰極５，陽極６間を流れる電流は第４図
に示すようにi1，i2，i3の合成であるから、放電
電流は線路のインダクタンスの大小にかかわら
ず、有効に利用され、安定な放電が維持される。
これを、エキシマレーザでは従来の倍近い出力エ
ネルギを得ることができた。
以上詳述したように、第２のキヤパシタを付加
し、これを高電圧側電極である陰極を保持する構
造としたため、容器内の等価容量の増減が非常に
容易となり、同じ等価容量で比較した場合、極め
て小型な構造にすることができた。
し、これを高電圧側電極である陰極を保持する構
造としたため、容器内の等価容量の増減が非常に
容易となり、同じ等価容量で比較した場合、極め
て小型な構造にすることができた。
第１図は本発明の一実施例を示す横断面図、第
２図は同実施例の回路図、第３図は電流波形図、
第４図は従来例を示す横断面図である。 １……容器、５……陰極、６……陽極、７ａ，
７ｂ……ピン電極、８……第１のキヤパシタ、９
……パルス電極、１０……第２のキヤパシタ。
２図は同実施例の回路図、第３図は電流波形図、
第４図は従来例を示す横断面図である。 １……容器、５……陰極、６……陽極、７ａ，
７ｂ……ピン電極、８……第１のキヤパシタ、９
……パルス電極、１０……第２のキヤパシタ。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ ガスレーザ媒質と、このガスレーザ媒質を封
入した容器と、この容器内に所定の間隔をおいて
対向配置される陰極および陽極からなる主放電電
極と、主放電域およびその近傍を予備電離する予
備放電電極と、この予備放電電極に接続される第
１のキヤパシタと、上記主放電電極に並列に接続
されかつこの主放電電極の高電圧側電極の背面側
を支持する位置に設けられ第２のキヤパシタと、
上記主放電電極にパルス状電圧を印加するパルス
電源とを備えたことを特徴とするガスレーザ発振
装置。 ２ 上記容器は円筒状金属パイプでできているこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のガス
レーザ発振装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8123585A JPS61240690A (ja) | 1985-04-18 | 1985-04-18 | ガスレ−ザ発振装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8123585A JPS61240690A (ja) | 1985-04-18 | 1985-04-18 | ガスレ−ザ発振装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61240690A JPS61240690A (ja) | 1986-10-25 |
| JPH0467797B2 true JPH0467797B2 (ja) | 1992-10-29 |
Family
ID=13740779
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8123585A Granted JPS61240690A (ja) | 1985-04-18 | 1985-04-18 | ガスレ−ザ発振装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61240690A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6313387A (ja) * | 1986-07-03 | 1988-01-20 | Nec Corp | パルスガスレ−ザ装置 |
| JPS63288078A (ja) * | 1987-05-20 | 1988-11-25 | Keisuke Sasaki | エキシマ−レ−ザ−の発振装置 |
| JPS63299288A (ja) * | 1987-05-29 | 1988-12-06 | Shibuya Kogyo Co Ltd | パルスガスレ−ザ装置 |
| WO1992014288A1 (en) * | 1991-02-08 | 1992-08-20 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Pulse laser device |
-
1985
- 1985-04-18 JP JP8123585A patent/JPS61240690A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS61240690A (ja) | 1986-10-25 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4287487A (en) | Gas laser generating device of the longitudinal gas flow type | |
| US4542529A (en) | Preionizing arrangement for transversely excited lasers | |
| JPS58155643A (ja) | グロー放電発生装置 | |
| IT8148705A1 (it) | Laser a scarica longitudinale ad impulsi con preionizzazione ottenuta mediante effetto corona | |
| JPH0467797B2 (ja) | ||
| US3863105A (en) | Coaxial marx-bank driver circuit for pulse lasers | |
| US3842365A (en) | Pulse glow generation for laser systems | |
| JPS61216373A (ja) | パルスレ−ザ装置 | |
| JPS62249493A (ja) | 自動予備電離エキシマレ−ザ装置 | |
| Dimitrov et al. | High-power and high-efficiency copper bromide vapor laser | |
| JPS61212080A (ja) | パルスガスレ−ザ励起回路 | |
| JPH0528514B2 (ja) | ||
| JPH07183603A (ja) | パルスガスレーザ装置 | |
| JPS62243379A (ja) | 気体パルス・レ−ザ装置 | |
| JPS63228778A (ja) | ガスレ−ザ装置 | |
| JPH0333086Y2 (ja) | ||
| JPS60192467U (ja) | パルスガスレ−ザ装置 | |
| JPH04105378A (ja) | 放電励起エキシマレーザ装置 | |
| JP2581377B2 (ja) | エキシマレーザ装置 | |
| JP3084947B2 (ja) | レーザ装置の励起回路 | |
| JP2579671Y2 (ja) | エキシマレーザ装置 | |
| JPS60187076A (ja) | ガスレ−ザ装置 | |
| JPS6183069U (ja) | ||
| JPH0779175B2 (ja) | エキシマレ−ザ装置 | |
| JPS63133583A (ja) | 紫外光予備電離パルスガスレ−ザ装置 |