JPH0388331U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0388331U JPH0388331U JP15093089U JP15093089U JPH0388331U JP H0388331 U JPH0388331 U JP H0388331U JP 15093089 U JP15093089 U JP 15093089U JP 15093089 U JP15093089 U JP 15093089U JP H0388331 U JPH0388331 U JP H0388331U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- sliding
- fixing plate
- liquid phase
- holes
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 claims description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
- 210000004349 growth plate Anatomy 0.000 claims 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
- Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)
Description
第１図は、本考案になる液相エピタキシヤル成
長装置の断面図、第２図〜第５図は、第１図の装
置の摺動工程を示す断面図である。 １０……固定板、１１……基板、１２……溝、
１３……第１の摺動板、１４，１５……透孔、１
６……第２の摺動板、１７……ロート状透孔。
長装置の断面図、第２図〜第５図は、第１図の装
置の摺動工程を示す断面図である。 １０……固定板、１１……基板、１２……溝、
１３……第１の摺動板、１４，１５……透孔、１
６……第２の摺動板、１７……ロート状透孔。
補正 平２．３．２９
図面の簡単な説明を次のように補正する。
明細書９頁第２０行の「断面図である。」を「
断面図であり、第６図は、スライデイング法によ
つて二層の成長を行なうための装置の断面図であ
る。」と補正する。
断面図であり、第６図は、スライデイング法によ
つて二層の成長を行なうための装置の断面図であ
る。」と補正する。
Claims (1)
- 所定寸法に形成された溝内に基板を配置した固
定板と、その内部に複数の透孔を設け、前記固定
板上を摺動する第１の摺動板と、その内部に液相
成長に供される溶液を収容する複数のロート状透
孔を設け、前記第１の摺動板上を摺動する第２の
摺動板とを備えてなる液相エピタキシヤル成長装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15093089U JPH0388331U (ja) | 1989-12-26 | 1989-12-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15093089U JPH0388331U (ja) | 1989-12-26 | 1989-12-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0388331U true JPH0388331U (ja) | 1991-09-10 |
Family
ID=31697261
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15093089U Pending JPH0388331U (ja) | 1989-12-26 | 1989-12-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0388331U (ja) |
-
1989
- 1989-12-26 JP JP15093089U patent/JPH0388331U/ja active Pending
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0388331U (ja) | ||
| JPS6273534U (ja) | ||
| JPH0246407U (ja) | ||
| JPH01138698U (ja) | ||
| JPH0258364U (ja) | ||
| JPS63180569U (ja) | ||
| JPS61180454U (ja) | ||
| JPS59143190U (ja) | スピ−カ用振動板の切断装置 | |
| JPS63140072U (ja) | ||
| JPS6375144U (ja) | ||
| JPS61105842U (ja) | ||
| JPS585341U (ja) | ウエハホルダの固定装置 | |
| JPS60151580U (ja) | 回転塗布装置の基板ホルダ− | |
| JPS6375149U (ja) | ||
| JPH03126498U (ja) | ||
| JPH0337837U (ja) | ||
| JPS63140662U (ja) | ||
| JPS6247161U (ja) | ||
| JPS62151732U (ja) | ||
| JPS6336030U (ja) | ||
| JPS62128747U (ja) | ||
| JPS6169824U (ja) | ||
| JPS6010479U (ja) | たまご分け器 | |
| JPS58170911U (ja) | 育苗床 | |
| JPS6063934U (ja) | 液相エピタキシヤル成長用ボ−ト |