JPS6336030U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6336030U JPS6336030U JP12866786U JP12866786U JPS6336030U JP S6336030 U JPS6336030 U JP S6336030U JP 12866786 U JP12866786 U JP 12866786U JP 12866786 U JP12866786 U JP 12866786U JP S6336030 U JPS6336030 U JP S6336030U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor substrate
- liquid phase
- phase epitaxial
- epitaxial growth
- growth apparatus
- Prior art date
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- Pending
Links
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 claims description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例を示す液相エピタ
キシヤル成長装置の構成断面図、第２図は従来の
液相エピタキシヤル成長装置の構成を示す断面図
である。 図において、１は半導体基板、２はボート本体
、４ａ，４ｂは成長用融液、５はスライダ本体、
５ａ，５ｂは融液溜め、６ａ，６ｂはピストンで
ある。なお、各図中の同一符号は同一または相当
部分を示す。
キシヤル成長装置の構成断面図、第２図は従来の
液相エピタキシヤル成長装置の構成を示す断面図
である。 図において、１は半導体基板、２はボート本体
、４ａ，４ｂは成長用融液、５はスライダ本体、
５ａ，５ｂは融液溜め、６ａ，６ｂはピストンで
ある。なお、各図中の同一符号は同一または相当
部分を示す。
Claims (1)
- 半導体基板上に複数の単結晶層を順次成長させ
る液相エピタキシヤル成長装置において、ボート
本体に形成された凹部内に順次押し出されて収容
された成長用融液中に、前記半導体基板の両面が
浸漬されるように前記半導体基板を前記凹部内に
保持したことを特徴とする液相エピタキシヤル成
長装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12866786U JPS6336030U (ja) | 1986-08-22 | 1986-08-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12866786U JPS6336030U (ja) | 1986-08-22 | 1986-08-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6336030U true JPS6336030U (ja) | 1988-03-08 |
Family
ID=31024540
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12866786U Pending JPS6336030U (ja) | 1986-08-22 | 1986-08-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6336030U (ja) |
-
1986
- 1986-08-22 JP JP12866786U patent/JPS6336030U/ja active Pending