JPH0388334U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0388334U JPH0388334U JP14883989U JP14883989U JPH0388334U JP H0388334 U JPH0388334 U JP H0388334U JP 14883989 U JP14883989 U JP 14883989U JP 14883989 U JP14883989 U JP 14883989U JP H0388334 U JPH0388334 U JP H0388334U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor device
- suction nozzle
- vacuum
- prevent
- vacuum piping
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Die Bonding (AREA)
Description
第１図は本考案の真空吸着式ピンセツトの一実
施例を示す側面図である。 １……吸着ノズル、２……パイプ、３……継手
、４……本体パイプ、６……保持部、８……真空
チユーブ、９……金属板、１０……接地線、１１
……共通接地面。
施例を示す側面図である。 １……吸着ノズル、２……パイプ、３……継手
、４……本体パイプ、６……保持部、８……真空
チユーブ、９……金属板、１０……接地線、１１
……共通接地面。
Claims (1)
- 半導体装置を吸着する吸着ノズルおよびこの吸
着ノズルに接続する真空配管を導電性材料を用い
て形成するとともに、上記真空配管を、吸着され
る半導体装置に接地して、この半導体装置の静電
破壊を防止するようにした真空吸着式ピンセツト
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14883989U JPH0388334U (ja) | 1989-12-25 | 1989-12-25 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14883989U JPH0388334U (ja) | 1989-12-25 | 1989-12-25 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0388334U true JPH0388334U (ja) | 1991-09-10 |
Family
ID=31695271
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14883989U Pending JPH0388334U (ja) | 1989-12-25 | 1989-12-25 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0388334U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008062332A (ja) * | 2006-09-07 | 2008-03-21 | Matsumoto Giken:Kk | 真空ピンセット |
-
1989
- 1989-12-25 JP JP14883989U patent/JPH0388334U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008062332A (ja) * | 2006-09-07 | 2008-03-21 | Matsumoto Giken:Kk | 真空ピンセット |