JPH0388634A - カセット自動装填装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、半導体および液晶表示部品などの電子部品
の製造工程において、基板（ウェハ）を収納したカセッ
トを製造装置に自動装填１回収するようにしたカセット
自動装填装置に関する。

［従来の技術］ 半導体などの製造装置においては、ウェハ（基板）を収
納したカセットを製造装置のカセットロータにロートす
れば、製造装置が自動的に処理を行うようになっており
、いわゆるカセットツウカセットで自動化が進んでいる
。したかって、夜間などに製造装置を無人で自動運転す
る場合、製造装置にカセットを自動装填１回収するカセ
ット自動装填・回収装置を付加することにより対応して
きており、このカセット自動装填・回収装置は大量生産
用に考えられている。

第５図は従来のカセット自動装填・回収装置の構成図、
第６図はこのカセット自動装填・回収装置の動作の一例
を示す動作フローチャートである。第５図において、１
００はウェハを収納したカセット、■はカセット１００
を置く複数のステージ、２はカセット１００を製造装置
２００のカセットロータ２０１に装填するカセット装填
ロボットである。また、２工はカセット装填ロボット２
を駆動制御するロボットコントローラ、２２はスタート
ボタン、２１０は製造装置２００を駆動制御する製造装
置コントローラである。

ロボットコントローラ２ｔは、スタートボタン２２から
のスタート信号ａを受信して動作を開始する。ステージ
ｌにはあらかじめステージ番号が割り当ててあり、この
ステージ番号をｊとする。

次に、第６図のフローチャートを参照して動作説明を行
う。

まず、ｉ−４として動作を開始する（ステ・ツブＳｔ）
。

ｉ番のステージにカセットｌＯＯが有るか無いかを調べ
、カセット１００が有る場合にはステップＳ３に進み（
ステップＳ２）、無い場合にはステップＳ７に進み処理
を終了する。

カセット装填ロボット２は、ステージ番号ｉのステージ
■上のカセットｌＯＯをカセットロータ２０１に装填す
るくステップＳ３）。

ロボットコントローラ２１は、製造装置コントローラ２
１０にカセット装填の処理が終了したことを通知するカ
セット装填通知すを送信する（ステップＳ４）。これに
より、製造装置コントローラ２１０は、製造装置２００
を駆動制御してカセットロータ２０１に装填されたカセ
ット１００のウェハに所定の処理を行わせる。

ロボットコントローラ２１は、カセットロータ２０１に
装填されたカセット１００に対する処理が終了したこと
を通知する処理終了通知Ｃを製造装置コンＩ〜ローラ２
１０から受信するまで待機しくステップＳ５〉、処理終
了通知Ｃを受信すると、カセットロータ２０１　、ｈの
カセット１００を回収する〈ステップＳ６）。ロボット
コントローラ２１は処理していない残りのステージエが
あるときはステージ番号ｉに↓を加え（ステラ７Ｓ８）
、ステップＳ２に戻って同様に処理を行う。また、全ス
テージが終了したことを確認したときは終了する（ステ
ップ７）。

上述したように、ステージ１に置かれた全てのカセット
ｔ００に対する処理が終了するまで、ステージ番呼ｉの
若い順にそのステージ番号ｉのステージ■に置かれたカ
セット１００が製造装置２００のカセットロータ２０１
に装填され、また回収されるという所定の動作が繰り返
して行われる。

［発明が解決しようとする課題］ 近年、半導体製造の分野では、ＡＳＩＣと呼ばれる顧客
対応の製品の製造が盛んになり、これまでの大量生産と
は異なり、ロットごとにウェハの処理条件が異なること
も多く、カセットの口・ｖト管理が必須となっている。

しかも、このロフト管理は工程管理計算機で行われるこ
とが多い。

ところが、上述した従来のカセット装填・回収装置では
、カセットのロット名を区別することができないため、
指定したロット名のカセットを製造装置に装填すること
はできない。したがって、カセットの管理はすべて作業
者の判断と注意深い作業に依存していた。

しかし、作業者のミスをなくすことは不可能であるため
、歩留り低下の原因となっていた。

この発明のカセット自動装填装置は、上記事情に鑑みて
なされたもので、その目的は工程スゲジュールに基づい
てカセットの管理、装置への装填ができ、かつ、作業者
に対してカセットの出し入れの指示を行うようにしたカ
セット自動装填装置を提供することにある。

［課題を解決するための手段］ この発明のカセ・ソト自動装填装置は次の手段を有して
いる。

（Ａ）ウェハなどを収納したカセットを置くステージ、 （Ｂ）装填指令および回収指令に従ってカセットを製造
装置のカセットロータに装填するとともにセットを製造
装置のカセットロータから回収するカセット装填ロボッ
ト、 （Ｃ）カセット装填ロボットの搬送制御を行う管理制御
装置。

また、この管理制御装置は次の手段を有している。

（ａ＞スケジュール情報、装填指令、および回収指令を
外部手段から受信するとともに、装填指令および回収指
令に応じてなされたカセットの装填動作および回収動作
の終了結果を外部手段に送信する通信手段、 （ｂ）前記スケジュール情報に従ってカセットをステー
ジに投入する投入指示およびカセットをステージから収
り出す収り出し指示をデイスプレィ装置に表示するカセ
ット入出力指示手段、（ｃ）前記スゲジュール情報、装
填指令、および回収指令に従ってステージ上のカセット
の処理状態を表示する状態表示手段、 （ｄ）前記装填指令および回収指令に応じた制御コマン
ドをカセット装填ロボットを制御するロボットコントロ
ーラに送信するロボット制御管理手段と、 （ｅ）カセットに対してなされた処理履歴を記憶する処
理履歴記憶手段。

［作用］ 外部手段からスケジュール情報を受信してこのスケジュ
ール情報に基づいてカセットおよびそのカセットを投入
すべきステージを作業者に指示することにより、作業者
に対して確実な操作指示を与えることができる。

また、外部手段からの装填指令および回収指令に従って
カセット装填ロボットを駆動制御することにより、指定
したカセットを製造装置に自動装填、自動回収すること
ができる。

また、カセットの処理履歴が記憶されているので、カセ
ット装填ロボットや製造装置に異常が生じた場合、カセ
ットの処理履歴を確認することにより、カセットを異常
発生前の状態に復旧させることが可能となる。

［実施例］ 次に、この発明について図面を参照して説明する。

第１図、第２図はこの発明のカセット自動装填装置の一
実施例を示す構成国であり、第４図と同一符号は同一ま
たは相当する部分を示し、その説明を省略する。

第１図において、３は管理制御装置であり、工程スケジ
ュール管理計算機３００と通信回線５０を介して制御情
報を送受信するとともに、ロボットコントローラ２１と
通信回線４０を介して制御情報を送受信している。工程
スケジュール管理針Ｗ［３ｏｏは、生産現場において、
工場全体、１つのフロア、またはｔつのジョブショップ
の製造装置およびこれら製造装置による加工工程を管理
して処理のスケジュールおよび実行を管理、制御する計
算機である。２２０は１つの製造装置２００を制御する
製造装置制御計算機であって、内部にスケジューラ−を
有し、連続してロッＩ〜の加工処理を制御するようにな
っており、通信回線５０を介して工程スケジスール管理
計算機３００と制御情報を送受信するようになっている
。

管理制御装置３は第２図に示すブロック図のように構成
されている。３■は工程スケジュール管理計算機３００
と制御情報の送受信を行う通信手段である。

３２はカセットｌＯＯのスケジュール情報およびステー
ジ１のステージ情報を記憶するとともに、これらの情報
に従って各部を制御するカセット管理手段である。カセ
ット管理手段３２は、例えば次に示すようなテーブルに
情報を記憶して管理している。すなわち、第１表に示す
ロット情報管理テーブルでは、個々のカセット１０１〕
のスケジュール情報、すなわち、そのカセット１００の
ロット名、そのロッ１〜の処理開始時間などが記憶され
、このｆｌ！！にそのロットの状態、および゛そのカセ
ッ１〜１００のセットされているステージ番号などが記
憶されている。また、第２表に示すステージ管理テーブ
ルでは、ステージ情報、すなわち、ステージｌの番号、
そのステージ１の状態、そのステージ１のロット名など
が管理されている。

第１表 第２表 また、カセット管理手段３２が行う動作は、次に示すよ
うになっている。

■ロット情報管理テーブルに基づくカセソ１〜１００に
閃する情報の管理 ■カセッ？−１００の状態の管理 ■カセット１００に対してなされた処理履歴の処理履歴
記憶手段３７への書き込み ■工程スケジュール管理計算機３００から受は取ったカ
セット１００のスケジュール情報の解釈、および受は収
ったスケジュール情報がロット情報管理テーブルと論理
的に矛盾しないかの論理チエツク、例えば、スケジュー
ル情報の重複、処理時間の逆転などがないかどうかのチ
ーツク ■ステージ管理テーブルに基づくステージ１の管理 （ａ）ステージ１の状態管理 （ｂ）ステージエへのカセット１００の割り付け■カセ
ットｌＯＯの装填、回収指令の解釈（ａ）指令の妥当性
チエツク （ｂ）ロボット制御管理手段３５へ搬送指示の送出（ど
のステージからどこへ、どこからどのステージへ）など
、 （ｃ）工程スゲジュール管理計算機３００への搬送結果
のメツセージの送信 ３３はカセット管理手段３２の指示に従ってカセット１
００の状態をデイスプレィ装置３８に表示するカセット
状態表示手段である。

３４はカセット管理手段３２からの指示に従ってカセッ
ト１００の投入、取り出しを指示する情報をデイスプレ
ィ装置３８に表示することによ１て作業者に指示を与え
るカセット入出力指示手段である。また、このカセット
入出力指示手段３４は、入力装置３つにおいてカセット
１００の投入。

取り出しを確認するキー操作かなされたことを認識する
ようになっている。また、カセットＩ００の投入、取り
出しかなされた結果、カセット１００およびステージ１
の状態が変化したことをカセット管理手段３２に通知す
るようになっている。

３５はカセット装填ロボット２を制御するロボット制御
管理手段であり、カセット管理手段３２からカセッＩ・
の搬送指示を受けて対ロボット通信手段３６および通信
回線４０を介してロボットコントローラ２１に具体的な
ロボット制御のコマンドを送り、カセットをカセットロ
ータ２０１に装填および回収する搬送動作のシーケンス
を制御実行するようになっている。また、全てのシーケ
ンスが終了して搬送指示で指示された搬送動作か終了す
ると、カセット管理手段３２に搬送終了を通知するよう
になっている。もし、搬送動作の途中でカセット装填ロ
ボット２にエラーか発生した場合には、異常が発生した
ことをカセット管理手段３２に通知するようになってい
る。

対ロボット通信手段３６は通信回線４０を介してロボッ
トコントローラ２１と制御情報の送受信を実行するよう
になっている。

処理履歴記憶手段３７はカセット１００に対してなされ
た処理の情報を記憶するようになっている。

第３図はこの実施例によるカセットの自動装填の処理の
概略を示すフローチャートである。以下第上図−第３図
を参照して自動装填処理の動作について概略を説明する
。

まず、あらかじめ製造装置２００で処理するカセットに
対応するスケジュール情報は、工程スゲジュール管理計
算機３００から通信手段３１を介してカセット管理手段
３２に送信される。このスゲジュール情報としては種々
考えられるが、代表的な例としては、カセット１に収納
されているウェハのロフト名、処理開始予定時間、およ
び処理の担当者名などである。カセット管理手段３２は
送られてきたスケジュール情報の内容について論理的チ
エ・γり、すなわち、ロフト名の重複、処理開始予定時
間の重複がないかなどチエツクを行う。

この結果、スケジュール情報に論理的な誤りがなければ
、このスケジュール情報を受は付けてロット情報管理テ
ーブルに書き込む。一方、スゲジュール情報に論理的な
誤りがあれば、このスケジュール情報は受付けず、スケ
ジュール情報に誤りがあることを工程スケジュール管理
計算機３００に通知するや工程スケジヱール管理計算機
３００は工程管理の担当者に対して上記誤りの内容を通
知する。これを認識した担当者はスケジュールデータの
修正を行う（ステップ５ｔＯ）。

次に、カセット管理手段３２は送られてきたスケジュー
ル精根によって指示されるロフト名のカセット１００を
どのステージに置くかをステージ情報管理テーブルのス
テージ情報を基にして決定し、そのステージを予約状態
にする（ステップＳ１１〉。

一方、カセット状態表示手段３３は、複数のステージ１
のカセット１００の状態をカセット管理手段３２で管部
しているスケジュール情報を基にデイスプレィ装置３８
に表示する。例えば、複数のステージ１のそれぞれにつ
いて、「空きＪ「予約中」、「処理中」、「処理終了１
などと表示する。また、予約中、処理中、処理終了につ
いては、ロット名、状態が変わった時刻、担当者などに
ついても表示する。

カセット入出力指示手段３４はカセット管理手段３２に
作業者に指示すべきスケジュール情報をカセット管理手
段３２に問い合わせて入手する。

そして、入手したスケジュール情報、すなわち、次に投
入するカセット１．００のロット名、およびセットする
ステージ■のステージ番号をデイスプレィ装置３８に表
示して作業者に指示する。作業者は、デイスプレィ装置
３８に表示された指示に従ってカセット１．００の投入
作業を行う。そして、この投入作業か終了した後、投入
作業の完了を通知するために人力装置３つの所定のキー
をキーインする。上記所定のキーがキーインされたこと
は、カセットｌＯＯの投入の処理を実行しているカセッ
ト入出力指示手段３４に通知される。これによりカセッ
ト入出力指示手段３４は、指示されたカセットｌＯＯの
投入動作が行われたと判断する９ステージｌには、カセ
ットの有無を検出する検出センサ（図示せず）か設置さ
れており、上記キー人力がなされた時点でこの検出セン
サはカセット１００が置かれているか否かを検出してカ
セット入出力指示手段３４に通知するようになっている
。

もし、指定しｔ：ステージ番号にカセットＬＯＯが正し
く置かれていないことがカセット入出力指示手段３４に
通知されると、カセット入出力指示手段３４はデイスプ
レィ装置３８上に警告のメツセージを表示するとともに
、カセット１．００がステージ１に置かれたと認めない
で投入処理を中ｌ枡する（ステップＳ］２）。

製造装置２００による処理開始時刻になると、カセッＩ
・管理手段３２は、工程スケジ、１−ル管理計算機３０
０から通信回線５０および通信手段３１−を介して送信
されたカセッ）・の装填指令を受信する。この装填指令
はカセット１００の０７１〜名を指定しており、カセッ
ト管理手段３２ではこの指定されたロフト名のカセット
の有無や処理の重複がないか否かをチエツクする。この
チエツクの結果、論理的に矛盾があれば、装填動作を実
行（７ないで、誤指令であることを通信手段３１により
工程スゲジュール管理計算機３００へ通知する。

指定されたロット名のカセット１００のカセットロータ
２０１への装填動作は、ロボット制御管理手段３５で制
御される。ロボット制御管理手段３５は、装填するカセ
ット１００の有無やカセットロータ２０１上のカセット
の有無を確認して動作が可能と判断すれば、ロボットコ
ントローラ２Ｌに通信回線４０を介して制御コマンドを
送信するとともに、その動作の終了通知をロボットコン
トローラ２１から受信してカセット装填ロボット２の動
作を制御する。この結果、カセット装填ロボット２は、
指定されたカセット１００をステージ１から把持し、カ
セットロータ２０１の位置まで移動し、カセットロータ
２０１上でカセット１００の把持を解放するという一連
の動作を実行してカセットＩ００の装填を実行する（ス
テップＳ１３〉。

装填されたカセットｌＯＯのウェハの処理が製造装置２
００で終了した後、工程スケジュール管理計算機３００
は管理制御装置３にカセットｌＯＯのロット名を指定し
た回収指令を送信する。この結果、カセットの装填時と
同様な手順でカセット１００の回収がなされる（ステッ
プ５１４）。

装填すべき処理待ち状態のカセット１００が残っている
場合にはステップ３１３から同様の動作を繰り返し、予
約が無い場合には次のステップＳ１６に進む（ステップ
５１５）。

製造装置２００での処理の終了後、ステージ↓に戻され
たカセットｔ００はカセット管理手段３２゜カセット状
態表示手段３３によりデイスプレィ装置３８上に処理か
終了したことを表示する。作業者はこの表示を見て処理
の終了したカセット１００をステージ（から取り出すが
、取り出しの手順は、カセット■００の投入の場合と同
様で、カセット入出力指示手段３４の指示に従って行わ
れる。

すなわち、収り出しを行うべきカセット■００のロフト
名とステージｌのステージ番号を指示し、指示されたス
テージ番号のステージ］からカセットｌＯＯが取り出さ
れたかどうかをチエ７りする。

このチエツクは、ステップＳＬ２で述べたようにカセッ
ト１００の存在を検出する検出センサがステージ■にカ
セット１００がないことを検出して、カセット入出力指
示手段３４に通知することによってなされる（ステップ
８１６）。

処理履歴記憶手段３７は、上述の処理履歴、すなわち、
カセットｌＯＯの状態と状態の変化した時間、処理した
担当者名などの情報をカセット管理手段３２の指令に従
って記憶する。このため、何か異常が生じた場合でも、
処理履歴記憶手段３７に記憶されている情報を見ること
により、速やかに異常の生じる前の状態に復旧すること
が可能である（ステップＳ　］−７）　。

次に、上述した第３図の各ステップにおける詳細な動作
を第４図（ａ）〜（ｇ）を参照して説明する。

（ａ）スケジュール情報の受信 第４図（ａ）は第３図のステップＳ１０の詳細なフロー
チャートである。

カセット管理手段３２は、工程スゲジスール管理計算＠
３００からスケジュール情報を受信すると、まずチータ
フオーマットのチエツクを行ない（ステップ５ＩＯ１，
）、フォーマットエラーを検出した場合、工程スケジュ
ール管理計算機３００にフォーマットエラーの発生を通
知しくステ・・ｌプ５１０２）、データフォーマットの
エラーを検出しない場合、ロット情報管理テーブルの内
容を読み出し、上記受信したスケジュール情報と照会し
て重複がないかチエツクするくステラ７Ｓ１０３）。

スケジュール情報に重複があれば、工程スケジュール管
理計算機３００にロットの重複があった旨の通知を行い
（スゲ・ツブ５１０４）　、スゲジュール情報に重複が
なければ、受信したスケジュール情報をロフト情報管理
テーブルに書き込む（ステップ５１０５　）。

（ｂ）ステージの割り当ておよび予約 第４図（ｂ）は第３図のステップＳｌｌの詳細なフロー
チャー１・である。

前述の動作によって、新たにスケジュール情報がロット
情報管理テーブルに書き込まれると、カセット管理手段
３２はステージ管理テーブルの内容を読み出して空ステ
ージがあるか否かを照会しくステップ５ｉｌｌ）　、空
ステージかある場合、ステージ番号の若い順にロットを
割り当て（ステップ５ｌ１２）　、空ステージがない場
合はステップ５ｌｉｔに戻る。そして、ロットの割り当
てが終わったら、ステージ管理テーブルの状態の項目を
「予約中」に変更するとともに、ロフト情報管理テーブ
ルの状態の項目を「空き」から「投入待ち」に変更する
（ステ・ツブ５１１３）つ 全てのロフトの予約が完了したか否かを調べ、予約が完
了するまで上述のステップ５ｌｔｌ〜５１１３を繰り返
す（ステップ５Ｌ１４）。

（Ｃ）カセットの投入、作業者への指示、確認第４図（
Ｃ）は第３図のステラ７Ｓ１２の詳細なフローチャート
である。

カセット入出力指示手段３４は、カセット管理手段３２
のロット情報管理テーブルのスケジュール情報を読み出
して投入待ちのロットが有るか否かを調べくステップ５
１２１）、投入待ちのロフトがある場合、カセット入出
力指示手段３４はロット名および予約ステージ番号をデ
イスプレィ装置３８に表示して投入を指示しくステップ
５Ｌ２２）　、投入待ちのロットがない場合、投入すべ
きカセットがない旨の表示をデイスプレィ装置３８に表
示する（ステップ５Ｌ２３）　ｘ また、カセット入出力指示手段３４は、入力装置３つの
投入確認のキー人力がなされたか否かをチエツクしくス
テップ５１２４）　、投入確認のキー人力がなされた場
合、当該ステージの検出センサかカセットを検出してオ
ン状態になっているが否がを調べ（ステップ５１２６＞
　、検出センサがオンであれば、カセット管理手段３２
に対して投入の完了を通知する。これにより、カセット
管理手段３２は当該ステージに相当するロット情報管理
テーブルの状態の項目を「投入待ち」がら「処理待ち」
に変更させろくステップ３１．２７）。

一方、検出センサがオンでなければ、デイスプレィ装置
３８に当該ステージにカセ・１トが置かれていない旨の
警告を表示してステップ５１２４に戻る（ステップ１２
５）。

（（ｉ）カセットロータへのカセットの装ｊ眞第４図（
ｄ＞は第３図のステップ３１３の詳細なフローチャート
である。

製造装置２００による処理開始時刻になると、工程スケ
ジュール管理計算機３００から通信回線を介してカセッ
ト管理手段３２に口・ント番号を指定したカセットの装
填指令が送信される。

カセット管理手段３２は、この装填指令によって指定さ
れたロットが処理待ちのものか否をロット情報管理テー
ブルをデータを読み出して調べ（ステップ５１３１＞、
指定されたロットか処理待ちであった場合、当該ロット
の置かれているステージ番号をロット情報管理テーブル
から読み取り（ステップ５１３２）　、指定されたロッ
Ｉ・が処理待ちでない場合、工程スゲジュール管理計算
Ｒ３００に装填不可通知を送出する（ステップ５Ｌ３３
）。

ロボット制御管理手段３５に当該ステージ番号を指定し
た搬送指示を送出するくステップ５ｔ３４） カセット管理手段３２は、ロボット制御管理手段３５か
ら送出された搬送動作の終了通知を受信すると、ロット
情報管理テーブルの状態の項目を「処理中」に変更する
とともに、工程スケジュール管理計算Ｆ１３００に装填
終了を通知する（ステラ７”５１３５．５１３６）。

（ｅ）カセットロータからのカセットの回収第４図（ｅ
）は第３図のステップＳ１・１の詳細なフローチャート
である。

製造装置２００によるウェハの処理が終了すると、工程
スケジュール管理計算機３００がら通信四線を介してカ
セット管理手段３２にロット番号を指定したカセットの
回収指令が送信される。

カセット管理手段３２は、この回収指令によって指定さ
れたロットが処理中のものが否がをロット情報管理テー
ブルのデータを読み出して謂へくステップ５Ｌ４１）　
、指定されたロットが処理中であった場合、当該ロット
を戻すべきステージ番号をロフト情報管理テーブルから
読み取り（ステップＳＬ４．２＞　、指定されたロット
が処理中でない場合、工程スケジュール管理計算機３０
０に回収小町通知を送出する（ステップ５１４３）。

そして、ロボット制御管理手段３５に当該ステージ番号
を指定した搬送指示を送出する（ステップ５Ｉ４４．）
。

カセット管理手段３２は、ロボット制御管理手段３５か
ら送出された搬送動作の終了通知を受信すると、ロフト
情報管理テーブルの状態の項目を「処理待ち」から「処
理終了」に変更するとともに、工程スゲジュール管理計
算機３００に回収終了を通知する←ステップ５１４５．
５１４６）　。

（「）カセットの取り出し、作業者への指示、確認第４
図（ｆ）は第３図のステップＳ１６の詳細なフローチャ
ートである。

第３図のステップＳ１５において、処理待ちカセットが
なく、全てのカセットの処理が終了した場合、カセット
入出力指示手段３４はカセットの取り出し、および作業
者へ力指示、確認を選択する。

カセット入出力指示手段３４は、カセット管理手段３２
に対して処理終了のロットがあるか否かを問い合わせる
。カセット管理手段３２は、ロット情報管理テーブルの
状態の項目を調べ、処理終了のロットの有無を回答し、
処理終了のロットのロット名およびそのロットのカセッ
トが置かれているステージのステージ番号をカセット入
出力指示手段３４に問答１通知する（ステップ５１６１
　）。

処理終了のロットがある場合、カセット入出力指示手段
３４はカセット管理手段３２から受は取ったロフト名３
よびステージ番号をデイスプレィ装置３８に表示して操
作者に対してカセットの取り出しを指示するくステップ
５１６２）。操作者はデイスプレィ装置３８に表示され
た指示に従ってカセットの取り出しを行う。

一方、処理終了のロットが無い場合、カセット入出力指
示手段３４は、デイスプレィ装置３８に収り出すべきカ
セットがない旨を表示する（ステップ３１６Ｂ）　、入
力装置３９の取り出し確認のキー人力がなされたか否か
をチエツクする（ステップ５１６４）。取り出し確認の
キー人力がなされた場合、カセット入出力指示手段３４
は当該ステージの検出センサがカセットがなくなった状
態を検出してオフ状態になっているか否かを調べ（ステ
ップ５１６５）　、検出センサがオフであれば、カセッ
ト管理手段３２に対して取り出しの完了を通知しくステ
ップ５１６７）　、検出センサがオフでなければ、デイ
スプレィ装置３８に当該ステージにカセットが置かれて
いる旨の警告を表示してステップ５１６４に戻る（ステ
ップ１６６）。

（ｇ）　ロットの履歴の記録 第４図（ｇ）は第３図のステップＳ１７の詳細なフロー
チャー１〜である。

カセット管理手段３２は、カセット入出力指示手段３４
からロフトの取り出しの完了の通知を受けると、当該ロ
ットの履歴、すなわち、処理状態の遷移の記録を処理履
歴記憶装置３７に書き込むくステップ５１７１）。

続いて、カセット入出力指示手段３４は、当該ロフトの
情報をロフト情報管理テーブルから消去するとともに、
ステージ管理テーブルにおける当該ロットのカセットを
取り出したステージの情報を「空き」に変更する（ステ
ップ５１７２．３１７３）。

なお、この実施例では、処理のスケジュール情報、およ
びカセットの装填指令および回収指令の送信元を工程ス
ゲジェール管理計算機３００として説明したが、製造装
置２００を管理する計算機で処理のスゲジューｌしを生
威し、実行を制御できるものであれば、製造装置制御計
算機２２０を送信元とすることも可能である。また、ス
ケジュール情報は工程スケジュール管理計算機３００か
ら送信し、カセットの装填指令および回収指令は製造装
置制御計算！ｉ％２２＋）から送信する方法も可能であ
る９さらに、この実施例では、作業者によるカセットの
投入および収り出し動作の際、確認のために入力装置３
つでキー人力するようになっているか、例えば、バーコ
ードリーダなどのように自動的にカセット１００のロッ
ト名を識別する装置を用いれば、さらにカセットの投入
および取り出し動作の確認を行うことが確実になること
はいうまでもない。

［発明の効果１ 以上説明したように、この発明のカセット自動装填装置
によれば、工程スケジュール管理をする工程スケジュー
ル管理計算機、製造装置制御管理計算機などの外部手段
からスケジュール情報を受信し、このスケジュール情報
に基づいてカセットおよびそのカセッ１〜を投入すべき
ステージを作業者に指示することにより、作業者に対し
て確実な操作指示を与えることができる。

また、外部手段からの装填指令および回収指令に従って
カセット装填ロボソ１へを駆動制御することにより、指
定したカセッ１〜を製造装置に自動装填、自動回収する
ことかできる。

また、カセットの処理履歴が記憶されているので、カセ
ット装填ロボットや製造装置に異常が生じた場合、上記
処理履歴を確認することによりカセッ１〜を異常発生前
の状態に復旧させることが可能となる。

したがって、きわめて信頼性の高い口・１１〜管理のも
とでカセットの自動装填および自動回収を行うことかで
きる。さらに、多品種少量生産の半導体製造において、
作業者のミスによる歩留りの低ｒが改善されるとともに
、半導体製造装置の稼働率の向上、省力化を図ることか
できる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明のカセット自動装填装置の一実施例を
示す構成図、第２図は同実施例の管理制御装置を詳細に
示す構成図、第３図は同実施例における動作の概略を示
すフローチャート、第４図（ａ）〜（９）は同実施例の
詳細な動作を示すフローチャート、第５図は従来のカセ
ット装填装置の構成図、第６図は従来のカセット装填装
置の動作を示すフローチャートである。 １・・・ステージ、２・・・カセット装填ロボ・・ｌト
、２１・・・ロボットコン１〜ローラ、３・・・管理制
御装置、３１・・・通信手段、３２・・・カセット管理
手段、３３・・・カセット状態表示手段、３４・・・カ
セット入出力指示手段、３５・・・ロボット制御管理手
段、３７・・処理履歴記憶手段、１００・・・カセット
、２００・・・製造装置、２０１・・−カセツ１〜ロー
ダ、２１０・・・製造装置制量計算機、３００・・・工
程スケジュール管理計算機。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ウェハなどを収納したカセットを置くステージと、装填
   指令および回収指令に従ってカセットを製造装置のカセ
   ットロータに装填するとともに、カセットを製造装置の
   カセットロータから回収するカセット装填ロボットと、
   カセット装填ロボットの搬送制御を行う管理制御装置と
   を有するカセット自動装填装置であって、 この管理制御装置は、 スケジュール情報、装填指令、および回収指令を外部手
   段から受信するとともに、装填指令および回収指令に応
   じてなされたカセットの装填動作および回収動作の終了
   結果を外部手段に送信する通信手段と、前記スケジュー
   ル情報に従ってカセットをステージに投入する投入指示
   およびカセットをステージから取り出す取り出し指示を
   ディスプレイ装置に表示するカセット入出力指示手段と
   、 前記スケジュール情報、装填指令、および回収指令に従
   ってステージ上のカセットの処理状態を表示する状態表
   示手段と、 前記装填指令および回収指令に応じた制御コマンドをカ
   セット装填ロボットを制御するロボットコントローラに
   送信するロボット制御管理手段と、 カセットに対してなされた処理履歴を記憶する処理履歴
   記憶手段と を有することを特徴とするカセット自動装填装置。